SU156714A1

SU156714A1 -

Info

Publication number: SU156714A1
Application number: SU729180A
Authority: SU

Description

Известные интерферометры дл контрол сферических и асферическнх поверхностей, снабженные нробным стеклом и оптической головкой , не позвол ют измер ть профиль поверхностей с большим углом раскрыти . Кроме того, из-за искажени интерференционной картины ири наблюдении ее через пробное стекло невозмолчио наблюдать интерференцию при углах падени света, больших критического, так как при этом происходит полное внутреннее отражение света.The known interferometers for monitoring spherical and aspherical surfaces, equipped with an ice-glass and an optical head, do not allow measuring the profile of surfaces with a large opening angle. In addition, due to the distortion of the interference pattern and observing it through the test glass, it is impossible to observe the interference at angles of incidence of light greater than the critical one, since this causes total internal reflection of light.

В предлагаемом интерферометре измерение профил поверхностей с большим углом раскрыти (больше 180) достигнуто тем, что пробное стекло выполнено в виде мениска, а оптическа головка снабжена поворотным механизмом, служащим дл врашени головки вокруг центра кривнзиы мениска, с которым совмеш;ен центр кривизны исследуемой поверхности.In the proposed interferometer, the measurement of the profile of surfaces with a large opening angle (greater than 180) is achieved by the fact that the test glass is made in the form of a meniscus, and the optical head is equipped with a rotating mechanism that serves to move the head around the center of the meniscus curvature with which the center of curvature of the test surface is combined .

На чертеже приведена оптическа схема описывае.мого интерферометра .The drawing shows the optical scheme of the interferometer.

Лучи света от монохроматического источника / конденсором 2 направл ютс в точечную диафрагму 3, наход шуюс в фокусе объектива 4. Отразившись от полупрозрачного зеркала 5 и зеркала 5, лучи проход т объектив - и в виде параллельного пучка отражаютс от зеркал 7 и 5 и дают изображение диафрагмы в точке 16, расположенной rj фокальной плоскости объектива 9.Rays of light from a monochromatic source / condenser 2 are directed to a point aperture 3, located in the focus of the lens 4. Reflected from the translucent mirror 5 and mirror 5, the rays pass the lens and in the form of a parallel beam are reflected from mirrors 7 and 5 and produce an image the diaphragm at point 16, located rj the focal plane of the lens 9.

Пробное сферическое стекло 10, выполненное в виде мениска, располагаетс таким образом, чтобы центр кривизны его рабочей поверхности был совмещен с точкой 16. Исследуема поверхность // устанавливаетс так, чтобы цеитр кривизны ее вершины (или любой зоны) былTrial spherical glass 10, made in the form of a meniscus, is positioned so that the center of curvature of its working surface is aligned with point 16. The test surface // is set so that the curvature center of its vertex (or any zone) is