SU269527A1

SU269527A1 - INTERFEROMETER FOR QUALITY CONTROL OF FLAT OPTICAL SURFACES

Info

Publication number: SU269527A1
Application number: SU1145859A
Authority: SU
Original assignee: Ю. П. Контиевский

Description

В основном авт. св. № 180376 оиисан интерферометр дл контрол качества плоских оптических поверхностей, характерной особенностью которого вл етс введение призмы Дове объективом наблюдательной системы и контролируемой поверхностью, наложенной на эталонную новерхность, причем главное сечение и отражающа грань призмы Дове параллельны оптической оси объектива наблюдательной системы.Basically auth. St. No. 180376 designed an interferometer for monitoring the quality of flat optical surfaces, a characteristic feature of which is the introduction of the Dowe prism by the objective lens of the observation system and the controlled surface superimposed on the reference surface, with the main section and the reflecting edge of the Dowe parallel to the optical axis of the objective lens.

Предлагаемый интерферометр отличаетс от известного тем, что в нем дл одновременного контрол всей провер емой поверхности наблюдательна система содержит второй оптический канал с включенным в него блоком из равноотсто щих призм Дове, отражающие грани которых параллельны друг другу.The proposed interferometer differs from the known one in that, for simultaneous monitoring of the entire tested surface, the observational system contains a second optical channel with a block of Dowe pristas equally spaced, reflecting the faces of which are parallel to each other.

На чертеже изображена схема предлагаемого интерферометра с бинокул рной наблюдательной системой.The drawing shows a diagram of the proposed interferometer with a binocular observational system.

Прибор состоит из источника 1 монохроматического излучени , конденсора 2, диафрагмы 3, расположенной в фокальной плоскости объектива 4, светоделительной пластины 5, пробного стекла 6, контролируемой детали 7, диафрагм 8 и 9, расположенных в фокальных плоскост х объективов 10 и //, имеюп :их одинаковые фокусные рассто ни , светоделительной пластины 12, зеркал 13-15, блока 16 призм Дове, ромбических призм J7 и 18.The device consists of a monochromatic radiation source 1, a condenser 2, a diaphragm 3 located in the focal plane of the lens 4, a beam-splitting plate 5, a test glass 6, a test piece 7, a diaphragm 8 and 9 located in the focal planes of the lenses 10 and / /, have : their identical focal lengths, beam-splitting plate 12, mirrors 13-15, block 16 Dove prisms, rhombic prisms J7 and 18.

Световой поток от источника / монохроматического излучени через конденсор 2 освещает диафрагму 3. Параллельный пучок лучей , выйд из объектива 4 и отразивщись от светоделительной пластины 5, падает нормально на эталонную поверхность пробного стекла 6. Отраженные от поверхности стекла 6 и от поверхности контролируемой детали 7 лучи, интерфериру друг с другом, образуют интерференционную картину, локализованную в воздушном промежутке между поверхност ми стекла 6 и детали 7.The light flux from the source / monochromatic radiation through the condenser 2 illuminates the diaphragm 3. A parallel beam of light coming out of the lens 4 and reflected from the beam-splitting plate 5 falls normally on the reference surface of the test glass 6. The rays reflected from the surface of the glass 6 and from the surface of the tested part 7 interfere with each other, they form an interference pattern localized in the air gap between the surfaces of the glass 6 and the part 7.

Интерференционна картина, представл юща полосы равной толщины, наблюдаетс двум глазами через диафрагмы 5 и 9. Лучи направл ютс в бинокул рную систему с помощью светоделительной пластины 12 и зеркал 13-15. В одну из ветвей наблюдательнойThe interference pattern, representing bands of equal thickness, is observed by two eyes through diaphragms 5 and 9. The rays are directed into the binocular system using a beam-splitting plate 12 and mirrors 13-15. In one of the branches of the observant

-системы в параллельном ходе лучей перед объективом // введен блок 16 призм Дове. Отражающие грани призм Дове параллельны и расположены на равном рассто нии друг от друга. Размер отражающих граней призм в-systems in a parallel course of rays in front of the lens // a block of 16 Dove prisms is introduced. The reflecting edges of the Dove prisms are parallel and located at equal distances from each other. The size of the reflecting faces of prisms in

направлении, перпендикул рном оптической оси, перекрывает световой диаметр объектива //. Ромбические призмы 17 TI 18 регулируют рассто ние между выходными зрачками. При работе воздущный клин между пробным стекthe direction perpendicular to the optical axis overlaps the light diameter of the lens //. Rhombic prisms 17 TI 18 regulate the distance between the exit pupils. When operating, the air wedge between test stack