SU1348640A1

SU1348640A1 - Method of non-contact measurement of profile of polished aspherical surfaces of revolution

Info

Publication number: SU1348640A1
Application number: SU864074491A
Authority: SU
Inventors: Борис Алексеевич Чунин
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6681
Priority date: 1986-01-31
Filing date: 1986-01-31
Publication date: 1987-10-30

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике. Цель изобретени - измерение профил поверхностей большой крутизны, обе фокальные точки которых наход тс внутри измер емой поверхности типавьшуклого эллипсоида или вогнутого гиперболоида. Луч света от источника 1 проекционной системой с объективом 2 направл етс в наход щуюс внутри измер емой поверхности 3 ее первую фокальную точку 4. Отраженный от поверхности луч создает в ее второй фокальной точке 5 мнимое изображение, которое положительной линзой 6 переноситс на шкалу 7 от- счетной наблюдательной системы и рассматриваетс через окул р 8 глазом 9 наблюдател . Дл обеспечени последовательной засветки участков измер емой крутой поверхности проекционную систему поворачивают в направлении, указанном стрелкой А, вокруг оси, проход щей через первую фокальную точку 7 поверхности 3. Дл наблюдени отраженных пучков наблюдательную систему с линзой поворачивают вокруг оси, проход щей через вторую фокальную точку 5 поверхности 3, в направлении , указанном стрелкой Б. Такое вращение обеспечивает измерение отклонений формы асферической поверхности при большой ее крутизне, когда апертурньй угол « , образованный крайними положени ми отраженных от нее пучков, превьштает апертурный угол j объектива наблюдательной системы. При этом предел измерени по крутизне может достигать 90 и более. При измерении вогнутых поверхностей производитс встречное вращение систем. 1 ил. с S (Л со 4: 00 О) This invention relates to a measurement technique. The purpose of the invention is to measure the profile of high-steep surfaces, both focal points of which are located inside the measured surface of a convex ellipsoid or concave hyperboloid. The light beam from the source 1 by the projection system with lens 2 is directed to its first focal point 4 located inside the measured surface 3. The beam reflected from the surface creates in the second focal point 5 a virtual image that is transferred to the scale 7 by a positive lens 6. the counting observation system and is viewed through the ocular by an 8 eye 9 observer. To provide consistent illumination of areas of the measured steep surface, the projection system is rotated in the direction indicated by arrow A around the axis passing through the first focal point 7 of the surface 3. To observe reflected beams, the observation system with a lens is rotated around the axis passing through the second focal point 5 surface 3, in the direction indicated by arrow B. This rotation provides a measurement of deviations of the shape of the aspherical surface with its large steepness, when the aperture angle “Formed by the extreme positions of the beams reflected from it, exceeds the aperture angle j of the objective lens of the observation system. At the same time, the measurement limit for steepness can reach 90 or more. When measuring concave surfaces, counter-rotating systems are produced. 1 il. with S (L with 4: 00 O)

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано дл бесконтактного измерени профил полированных асферических поверхностей вращени .The invention relates to a measurement technique and can be used for contactless measurement of the profile of polished aspherical surfaces of rotation.

Цель изобретени - измерение профил поверхностей больрой крутизны (50-60°, до 90), обе фокальные точки которых наход тс внутри измер емой поверхности типа выпуклого эллипсоида или вогнутого гиперболоида.The purpose of the invention is to measure the profile of the surfaces of the bolra steepness (50-60 °, up to 90), both of which have focal points inside the measured surface, such as a convex ellipsoid or a concave hyperboloid.

На чертеже изображена принципиальна схема реализации способа.The drawing shows a schematic diagram of the implementation of the method.

Луч света от источника 1 проекционной системой (не показана) с объективом 2 направл етс в наход щуюс внутри измер емой поверхности 3 ее первую фокальную точку 4. Отраженный от поверхности луч создает в ее второй фокальной точке 5 мнимое изображение , которое положительной линзой переноситс на шкалу 7 отсчетной наблюдательной системы (не показана) и рассматриваетс через окул р 8 глазом 9 наблюдател .The light beam from the source 1 by the projection system (not shown) with the lens 2 is directed to its first focal point 4 located inside the measured surface 3. The beam reflected from the surface creates in the second focal point 5 a virtual image that is transferred by a positive lens to the scale 7 of the reference observing system (not shown) and viewed through the ocular by 8 with the eye of the 9 observer.

Дл обеспечени последовательной засветки участков измер емой крутой поверхности пр.оекционную систему поворачивают в направлении, указанном стрелкой А, вокруг оси, проход щей через первую фокальную точку 4 по- верхности 3. Дл наблюдени отраженных пучков наблюдательную систему с линзой 6 поворачивают вокруг оси, проход щей через вторую фокальную точку 5 поверхности 3, в направлении , указанном стрелкой В. Такое вращение обеспечивает измерение отклоСоставитель Л. Лобзова Редактор И. Касарда Техред М.Ходанич Корректор Н. КорольTo ensure consistent illumination of areas of the measured steep surface, the projectile system is turned in the direction indicated by arrow A around the axis passing through the first focal point 4 of the surface 3. To observe reflected beams, the observation system with lens 6 is turned around the axis through the second focal point 5 of the surface 3, in the direction indicated by the arrow B. Such a rotation provides a measurement of the deviating factor Compiler L. Lobzova Editor I. Casard Tehred M. Khodanich Proofreader N. Korol

Заказ 5178/39 Тираж 676ПодписноеOrder 5178/39 Circulation 676 Subscription

ВНИИПИ Государственного комитета СССРVNIIPI USSR State Committee

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5for inventions and discoveries 113035, Moscow, Zh-35, Raushsk nab., 4/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4Production and printing company, Uzhgorod, st. Project, 4

5five

00

5five

00

5five

нений формы асферической поверхности при большой ее крутизне, когда апер- турный уголс - , образованный крайними положени ми отраженных от нее пучков, превышает апертурный угол объектива наблюдательной системы. При этом предел измерени по крутизне ограничиваетс только конструктивньш решением реализуемого устройства и может достигать 90° и более. При измерении вогнутых поверхностей производитс встречное вращение систем.when the aperture angle - formed by the extreme positions of the beams reflected from it exceeds the aperture angle of the objective lens of the observation system. In this case, the measurement limit on the slope is limited only by the constructive solution of the device being implemented and can reach 90 ° or more. When measuring concave surfaces, counter-rotating systems are produced.

Claims

Invention Formula

A method of contactless measurement of the profile of polished aspherical surfaces of rotation, which consists in scanning the surface with an optical beam so that the beam or its continuation passes through the first focal point of the surface, and determine the angular deviations of the surface from the specified profile for the SC: characterized in that, in order to measure the profile of high-steep surfaces, both focal points of which are located within a measurable surface such as a convex ellipsoid or the concave hyperboloid, the image of the second focal point of the surface is transferred with the help of a positive lens to the scale of the reference observation system and this system with the lens is rotated around an axis passing through the second focal point of the surface.