SU1545112A1 - Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани - Google Patents
Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани Download PDFInfo
- Publication number
- SU1545112A1 SU1545112A1 SU884393120A SU4393120A SU1545112A1 SU 1545112 A1 SU1545112 A1 SU 1545112A1 SU 884393120 A SU884393120 A SU 884393120A SU 4393120 A SU4393120 A SU 4393120A SU 1545112 A1 SU1545112 A1 SU 1545112A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- getter
- chamber
- sensor
- pressure
- current
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано дл повышени точности измерени и надежности. С этой целью в датчик введены электрические гермовыводы 9, св занные токоподводами с геттерным узлом 7. Геттерный узел выполнен в виде диэлектрической подложки с нанесенной на ее поверхности пленкой из геттерного материала. Дл уменьшени времени откачки и контрол остаточного давлени воздух откачивают производ т с одновременным контролем тока, протекающего через геттерный узел. 3 ил., 2 с.п.ф-лы.
Description
Фиг.г
6а/еуу №ые/ foxc
JN
110
40
Фи93
Ю
t(#u)
Claims (2)
- Форм ул а и з о б р давления, разделенный на сообщае101. Датчик абсолютного содержащий полый корпус, чувствительным элементом мую с измеряемой средой камеру и вакуумированную камеру с размещенным в ней. соосно с загерметизированным отверстием в корпусе геттерным узлом, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения и надежности, в него введены электрические гермовыводы, связанные токо15 подводами с геттерным узлом, выполненным в виде диэлектрической под. ложки с нанесенной на ее поверхности пленкой из геттерного материала, контактирующей с токоподводами гермовыу вода. *
- 2. Способ вакуумирования датчика абсолютного давления, заключающийся в откачке воздуха из опорной камеры датчика, помещенного в вакумный бокс, герметизация опорной камеры и после20.дующем нагреве совместно с размещенным в опорной камере датчика геттерным узлом, отличающийся тем, что, с целью повышения произ30 водительности и надежности за счет уменьшения времени откачки и контроля остаточного давления в опорной камере, откачку.воздуха производят с. одновременным контролем тока, проте-< кающего через геттерный узел, до тех 1,5 пор, пока ток не достигнет постоянного значения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884393120A SU1545112A1 (ru) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884393120A SU1545112A1 (ru) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1545112A1 true SU1545112A1 (ru) | 1990-02-23 |
Family
ID=21361569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884393120A SU1545112A1 (ru) | 1988-03-17 | 1988-03-17 | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1545112A1 (ru) |
-
1988
- 1988-03-17 SU SU884393120A patent/SU1545112A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 1362971, кл. G 01 L 7/00, 1987. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6735845B2 (en) | Method of producing an integrated reference pressure sensor element | |
| US4008619A (en) | Vacuum monitoring | |
| GB1484364A (en) | Transducer | |
| US4804450A (en) | Apparatus for fusing cells | |
| US4393434A (en) | Capacitance humidity sensor | |
| IT1090849B (it) | Complesso ad elettrodi per misurare la pressione parziale di ossigeno in sanuge arterioso | |
| JPH04290936A (ja) | 容量式マノメータのためのセンサ | |
| FR2559898A1 (fr) | Detecteur capacitif de pression absolue | |
| JPH03113338A (ja) | 容量性圧力変換器 | |
| SU1545112A1 (ru) | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани | |
| JPH0755617A (ja) | 容量式圧力変換器 | |
| EP0055269A4 (en) | ELECTROCHEMICAL GAS DETECTORS, ELECTRODES THEREFOR AND METHOD FOR PRODUCING SUCH SENSORS AND ELECTRODES. | |
| US3453438A (en) | Particle counter with liquid responsive start and stop means | |
| SU1209953A1 (ru) | Вакуумна присоска | |
| SU1036206A1 (ru) | Жидкостный резистор | |
| SU1668879A1 (ru) | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани | |
| US2411089A (en) | Electrolytic type of periodic circuit interrupter | |
| SU1460422A1 (ru) | Устройство дл заливки центробежного насоса | |
| SU543039A1 (ru) | Устройство дл окислени полых цилиндрических катодов в тлеющем разр де | |
| US1130827A (en) | Apparatus for generating ozone. | |
| JPH10111163A (ja) | 水没型水圧式水位センサ | |
| SU1605145A1 (ru) | Датчик абсолютного давлени и способ его вакуумировани | |
| Knipp | A Convenient Form of Quartz Tube Mercury Lamp | |
| JPS54141587A (en) | Production of semiconductor absolute pressure transducer | |
| FR2432164A1 (fr) | Dispositif de lecture a distance du niveau d'un liquide dans une capacite, notamment pour les cuves de pulverisateur a usage agricole |