SU543039A1 - Устройство дл окислени полых цилиндрических катодов в тлеющем разр де - Google Patents
Устройство дл окислени полых цилиндрических катодов в тлеющем разр деInfo
- Publication number
- SU543039A1 SU543039A1 SU2031638A SU2031638A SU543039A1 SU 543039 A1 SU543039 A1 SU 543039A1 SU 2031638 A SU2031638 A SU 2031638A SU 2031638 A SU2031638 A SU 2031638A SU 543039 A1 SU543039 A1 SU 543039A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- oxidation
- hollow cylindrical
- glow discharge
- cylindrical cathodes
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
толщине и свойствам окиспой пленки иа граиице катода 4 держатель 3 катода выполнен из материала катода и имеет одинаковый с внутренний диаметр.
Вакуумный колнак 1 имеет отверети дл подеоединени к системам дл откачки и напуска газа.
Устройство работает следующим образом.
Катод 4 устанавливают в держатель 3, надевают вакуумный колнак 1 и осун1,ествл ют откачку до давлени пор дка 1-10 мм рт. ст. Затем производ т напуск окисл ющей среды в камеру до давлени 1-3 мм рт. ст. и зажигают разр д. В пронессе окислеии поддерживаетс посто нный ток разр да.
Предлагаемое устройство обеспечивает получение равномерной по толщине к свойствам окнсной пленки на внутренней новерхности катода .
Claims (2)
1.Устройство дл окислени полых цилиндрических катодов в тлеюнхем разр де, содержащее вакуумную камеру, анод, катод-обрабатываемое изделие, держатель катода, системы дл откачки и напуска газа, отличающеес тем, что, с целью получени равномерной по толщине и свойствам окисной пленки на внутренней поверхности катода, анод расположен коаксиально внутри катода и равноудален от его поверхности, а держатель катода имеет центральное отверстие с диаметром , равным диаметру внутренней полости
катода, и боковые отверсти , расноложенные по окружности центрального отверсти .
2.Устройство по п. 1, отличающеес тем, что держатель катода вынолнен из материала катода.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2031638A SU543039A1 (ru) | 1974-05-29 | 1974-05-29 | Устройство дл окислени полых цилиндрических катодов в тлеющем разр де |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2031638A SU543039A1 (ru) | 1974-05-29 | 1974-05-29 | Устройство дл окислени полых цилиндрических катодов в тлеющем разр де |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU543039A1 true SU543039A1 (ru) | 1977-01-15 |
Family
ID=20586982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2031638A SU543039A1 (ru) | 1974-05-29 | 1974-05-29 | Устройство дл окислени полых цилиндрических катодов в тлеющем разр де |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU543039A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2525856C1 (ru) * | 2013-04-16 | 2014-08-20 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха" (ОАО "НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха") | Технологический прибор для обработки полого холодного катода в газовом разряде |
-
1974
- 1974-05-29 SU SU2031638A patent/SU543039A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2525856C1 (ru) * | 2013-04-16 | 2014-08-20 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха" (ОАО "НИИ "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха") | Технологический прибор для обработки полого холодного катода в газовом разряде |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1396987A (en) | Method of producing artificial diamonds | |
| ES443060A1 (es) | Perfeccionamientos introducidos en una fuente de iones. | |
| SU543039A1 (ru) | Устройство дл окислени полых цилиндрических катодов в тлеющем разр де | |
| JPS55116249A (en) | Electron arresting type detector | |
| GB1385608A (en) | Means for ensuring starting of a gas laser | |
| FR2271652A2 (en) | Gas blast cct. breaker - has aperture partitions, each with piston coupled to moving contact and having nozzle port | |
| JPS55101853A (en) | Method of fabricating comparison electrode with fet | |
| SU1011730A1 (ru) | Электролизер высокого давлени дл получени гремучего газа | |
| GB1450591A (en) | Gas laser | |
| JPS5214202A (en) | Mechanical fuel pump | |
| JPS52122284A (en) | Sputtering device having bias electrode | |
| JPS5732637A (en) | Dry etching apparatus | |
| JPS5524941A (en) | Dry etching apparatus | |
| SU595808A1 (ru) | Анод магниторазр дного насоса | |
| SU497756A1 (ru) | Электродуговой нагреватель газа | |
| JPS5593976A (en) | Plunger type pressure pump for supplying paint | |
| SU801165A1 (ru) | Способ инициировани электрическогоРАзР дА B жидКОСТи | |
| SU473240A1 (ru) | Адсорбционноразр дный насос | |
| SU496890A1 (ru) | Устройство дл нагрева плазмы | |
| JPS52122283A (en) | Sputtering device having bias mechanism | |
| SU566958A1 (ru) | Криосиорционный насос | |
| JPS5253513A (en) | Vacuum pump | |
| SU471056A1 (ru) | Газоразр дный импульсный прибор | |
| JPS527175A (en) | Low pressure mercury vapor lamp | |
| JPS56134790A (en) | Gas laser device |