SU148700A1 - Способ травлени германи - Google Patents
Способ травлени германиInfo
- Publication number
- SU148700A1 SU148700A1 SU741683A SU741683A SU148700A1 SU 148700 A1 SU148700 A1 SU 148700A1 SU 741683 A SU741683 A SU 741683A SU 741683 A SU741683 A SU 741683A SU 148700 A1 SU148700 A1 SU 148700A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- germanium
- etching
- etching method
- electrolyte
- germanium etching
- Prior art date
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
В отличие от известных способов, травление германи предложено осуществл ть электрохимическим путем в ортофосфорной кислоте, примен реверсирование тока. В результате удаетс достигнуть равномерности этого процесса и получить поверхность германи , травленую до зеркального блеска.
Травлению подвергают монокристаллы германи «-типа. Электролитом служит раствор ортофосфориой кислоты удельного веса 1,52. Режим электролиза: плотность тока 15-20 температура раствора 20°С.
Пластинку из германи -типа с припа нным к ней никелевым контактом помещают в электролит на анод. При этом контакт и никелевую проволоку, тщательно изолируют органической пленкой, чтобы предотвратить взаимодействие их с электролитом. В качестве катода используют платиповую проволоку. Периодичность изменени пол рности тока составл ет 3 сек при анодной пол ризации пластинки и 1/4 сек - при катодной. Травление идет равномерно по всей поверхности , со скоростью 60-70 мк/час. Готова поверхность получаетс без фигур травлени , имеет зеркальный блеск.
Способ может быть использован при мерном и локальном травлении по заданному рисунку с применением органических пленок сравнительно невысокой химической стойкости. Так, рисунки на основе фотоэмульсии из поливинилового спирта выдерживают травление в указанном электролите около 2 час.
Электролит безвреден, недефицитен, сравнительно не агрессивен и поэтому не требует применени особо стойкой химической аппаратуры .
: jr,
№ 148700
К преимуществам способа относ тс легка управл емость процесса и точность контрол травлени . Он может найтн применение в радиотехнической промышленности при производстве различных микромодулей , а также при металлографическом контроле монокристаллов германи .
Предмет изобретени
Способ травлени германи , отличающийс тем, что, с целью равномерности травлени и получени зеркального блеска поверхности , травление осуществл ют электрохимически в ортофосфорнойKHCJ-OTe с применением реверсировани тока.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU741683A SU148700A1 (ru) | 1961-08-14 | 1961-08-14 | Способ травлени германи |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU741683A SU148700A1 (ru) | 1961-08-14 | 1961-08-14 | Способ травлени германи |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU148700A1 true SU148700A1 (ru) | 1961-11-30 |
Family
ID=48303935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU741683A SU148700A1 (ru) | 1961-08-14 | 1961-08-14 | Способ травлени германи |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU148700A1 (ru) |
-
1961
- 1961-08-14 SU SU741683A patent/SU148700A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Kakihana et al. | Diffusion current at microdisk electrodes—Application to Accurate Measurement of Diffusion Coefficients | |
| KR860001218A (ko) | 고전압 캐패시터용 알루미늄 양극박막 및 그 에칭공정 | |
| BR7201555D0 (pt) | Um eletrodo para uso em processos eletroquimicos e processo para a fabricacao do mesmo e celula processo eletroquimico para a eletrolise de solucoes de cloreto de metal alcalino usando este eletrodo | |
| IT8021623A0 (it) | Elemento conduttore di corrente catodica per cella di produzione dell'alluminio mediante riduzione elettrolitica dell'allumina esimili impieghi. | |
| SU148700A1 (ru) | Способ травлени германи | |
| GB883603A (en) | Improvements in or relating to the surface treatment of silicon carbide | |
| CH485336A (de) | Verfahren zur Herstellung von Elektroden für galvanische Hochtemperatur-Brennstoffzellen mit festem Elektrolyt | |
| GB1472028A (en) | Process for the manufacture of electrodes for electrolytic purposes and electrodes so manufactured | |
| GB1156079A (en) | Surface Treatment of Sheet Copper. | |
| GB1373611A (en) | Lead dioxide electrode | |
| ATA29376A (de) | Diaphragmazelle zur elektrolyse einer wasserigen alkalimetallschloridlosung | |
| KR850001314A (ko) | 알루미늄 커패시터 박막 및 그 전해 에칭공정 | |
| GB1408352A (en) | Electrolytic methods of etching thin films | |
| DD131043A5 (de) | Verfahren zur herstellung von elektroden fuer elektrolysezellen | |
| SE7612965L (sv) | Fergning av aluminium | |
| Barbier et al. | Electrochemical study of tellurium oxido-reduction in aqueous solutions | |
| Dillard | A study of the diffusion of cathodic hydrogen in iron using the electrochemical detection technique(Electrochemical method and effect of iron purity on cathodic hydrogen diffusion through iron membrane) | |
| US3531378A (en) | Process for oxidizing tellurium | |
| SU145825A1 (ru) | Электрохимический способ нанесени шкал на измерительные инструменты | |
| SU136584A1 (ru) | Способ катодного травлени шлифов металлов | |
| JPS5461982A (en) | Evaluation method of sensitization by electrochemical techniques of steel materials | |
| JPS5615396A (en) | Manufacture of alminum support substance for lithographic plate | |
| SU378761A1 (ru) | ||
| SU67239A1 (ru) | Способ электролитической полировки меди и медных сплавов | |
| SU127266A1 (ru) | Способ изготовлени рельефной формы |