SU1476404A1 - Phase meter - Google Patents

Phase meter Download PDF

Info

Publication number
SU1476404A1
SU1476404A1 SU874326307A SU4326307A SU1476404A1 SU 1476404 A1 SU1476404 A1 SU 1476404A1 SU 874326307 A SU874326307 A SU 874326307A SU 4326307 A SU4326307 A SU 4326307A SU 1476404 A1 SU1476404 A1 SU 1476404A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
output
input
electrical
optical
prism
Prior art date
Application number
SU874326307A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Аркадий Гайкович Данелян
Юрий Суренович Манукян
Виктор Николаевич Анисимов
Людмила Львовна Склифосовская
Борис Кузьмич Кочергин
Николай Николаевич Подорожняк
Николай Николаевич Ставцев
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6348
Войсковая часть 62728
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6348, Войсковая часть 62728 filed Critical Предприятие П/Я Р-6348
Priority to SU874326307A priority Critical patent/SU1476404A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1476404A1 publication Critical patent/SU1476404A1/en

Links

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к технике фазовых измерений и предназначено дл  использовани  в калибраторах фазы и фазометрах. Фазометрическое устройство содержит преобразователь 2 электрического напр жени  в световой поток, электрический вход которого соединен с первым входом устройства, а оптический выход сопр жен с первым светоделителем 3, первый выход которого через оптический клин 4 и первую призму 5 сопр жен с оптическим входом первого фотопреобразовател  6, электрический выход которого подключен к первому выходу устройства . Второй выход светоделител  3 через переменную оптическую задержку, состо щую из последовательно оптически св занных подвижной призмы 7, механически соединенной с интерфференционным лазерным измерителем перемещений 8, и неподвижной призмы 9, сопр жен со вторым светоделителем 10, первый выход которого через вторую призму 11 сопр жен с оптическим входом второго фотопреобразовател  12, электрический выход которого подключен ко второму выходу устройства . Второй выход светоделител  10 сопр жен с оптическим входом фотоприемника 13, электрическим выходом подключенного к нуль-индикатору 14. С целью упрощени  и повышени  надежности устройства в него введен переключатель 1, выход которого через последовательно соединенные усилитель 16 и фазоинвертор 15 подключен к электрическому управл ющему входу фотоприемника 13. Каждый из четырех входов переключател  1 соединен с одним из входов или выходов устройства . Введение элементов 1,15,16 с их функциональными св з ми позвол ет исключить из оптической схемы устройства дл  источника модулированного излучени , п ть светоделителей, шесть зеркал и три пол ризатора. 1 ил.The invention relates to a technique for phase measurement and is intended for use in phase calibrators and phase meters. The phasometric device contains an electrical voltage converter 2 into a luminous flux, the electrical input of which is connected to the first input of the device, and the optical output is coupled to the first beam splitter 3, the first output of which is coupled to the optical input of the first photoconverter 6 through the optical wedge 4 whose electrical output is connected to the first output of the device. The second output of the splitter 3 through a variable optical delay consisting of successively optically coupled movable prism 7, mechanically connected to an interferential laser displacement meter 8, and a fixed prism 9, conjugated to the second splitter 10, the first output of which through the second prism 11 is conjugated with the optical input of the second PV 12, the electrical output of which is connected to the second output of the device. The second output of the splitter 10 is coupled with the optical input of the photodetector 13, the electrical output connected to the null indicator 14. To simplify and increase the reliability of the device, a switch 1 is inserted into it, the output of which is connected through an serially connected amplifier 16 and phase inverter 15 to the electrical control input photodetector 13. Each of the four inputs of the switch 1 is connected to one of the inputs or outputs of the device. The introduction of elements 1,15,16 with their functional connections allows to exclude from the optical scheme of the device for the source of modulated radiation, five beam splitters, six mirrors and three polarizers. 1 il.

Description

му управл ющему входу фотоприемника 13. Каждый из четырех входов переключател  1 соединен с одним из входов или выходов устройства. Введение элементов 1, 15, 16 с их функциональными св з ми позвол ет исключить из оптической схемы устройства два источника модулированного излучени , п ть светоделителей, шесть зеркал и три пол ризатора, 1 ил.The control input of the photodetector 13. Each of the four inputs of the switch 1 is connected to one of the inputs or outputs of the device. The introduction of elements 1, 15, 16 with their functional connections allows one to exclude from the optical scheme of the device two sources of modulated radiation, five beam splitters, six mirrors and three polarizers, 1 sludge.

1one

Изобретение относитс  к технике фазовых измерений и может использоватьс  дл  получени  двух электрических сигналов, сдвинутых один отно- ,сительно другого по фазе на заданную величину, а также дл  измерени  относительных фазовых сдвигов двух : электрических сигналов.The invention relates to a technique of phase measurements and can be used to obtain two electrical signals shifted one relative to the other in phase by a predetermined value, as well as to measure the relative phase shifts of two: electrical signals.

Цель изобретени  - упрощение и noвышение надежности фазометрического устройства.The purpose of the invention is to simplify and improve the reliability of the phase meter device.

На чертеже изображена структурно- функциональна  схема фазометрического устройства.The drawing shows a structural-functional diagram of the phase meter device.

Фазометрическое устройство содержит преобразователь 1, первый вход которого соединен с объединенными первым входом устройства и входом преобразовател  2 электрического на- пр жени  в световой поток, а второй вход переключател  1 соединен со вторым входом устройства. Преобразователь 2 через первый светоделитель 3, оптический клин 4 и призму 5 оптически сопр жен с первым фотопреобразователем 6, выход которого соединен с первым выходом устройства и третьим входом переключател  1. Светоделитель 3 также оптически сопр жен с пе ременной (регулируемой) оптической задержкой, состо щей из подвижной призмы 7, котора  механически соединена с интерференционным лазерным измерителем 8 перемещений, оптически сопр женной с последовательно установленной неподвижной призмой 9. i Переменна  регулируема  оптичес- .ка  задержка через выход призмы 9 оптически сопр жена последовательно с вторым светоделителем 10, призмой 11 и вторым фотопреобразователем 12, выход которого соединен со вторым выходом устройства и четвертым входом переключател  1. Светоделитель 10 также сопр жен с оптическим входомThe phase meter device contains a converter 1, the first input of which is connected to the combined first input of the device and the input of the converter 2 of the electric voltage to the light flux, and the second input of the switch 1 is connected to the second input of the device. Converter 2 through the first beam splitter 3, the optical wedge 4 and the prism 5 is optically coupled to the first phototransducer 6, the output of which is connected to the first output of the device and the third input of the switch 1. The splitter 3 is also optically coupled to the variable (adjustable) optical delay, of a movable prism 7, which is mechanically connected to an interference laser measuring instrument 8 displacements, optically conjugated with a fixed fixed prism 9 in sequence. i The variable adjustable optics- The delay through the output of the prism 9 is optically connected in series with the second beam splitter 10, the prism 11 and the second photovoltage converter 12, the output of which is connected to the second output of the device and the fourth input of the switch 1. The light splitter 10 is also coupled to the optical input

Q Q

5five

0 5 0 Q 0 5 0 Q

5five

5five

фотоприемника (лавинного фотодиода) 13, электрический выход которого соединен с нуль-индикатором 14, а элект рический управл ющий вход (вход напр жени  смещени ) лавинного фотодиода 13 через фазоинвертор 15 и усилитель 16 соединен с выходом переключател  1.photodetector (avalanche photodiode) 13, the electrical output of which is connected to the null indicator 14, and the electrical control input (bias voltage input) of the avalanche photodiode 13 through the phase inverter 15 and the amplifier 16 is connected to the output of the switch 1.

Фазометрическое устройство работает следующим образом.Phasometric device operates as follows.

В режиме автоповерки производитс  устранение ошибок, вносимых положением подвижной призмы 7 переменной оптической задержки и положением призм 5 и 11, и осуществл етс  контроль соответстви  нулей переменной оптической задержки и нуль-индикатора 14.In the auto-verification mode, the errors introduced by the position of the movable prism 7 of the variable optical delay and the position of the prisms 5 and 11 are eliminated, and the correspondences of the zeros of the variable optical delay and the null indicator 14 are monitored.

Переключатель 1 устанавливаетс  в положение, при котором усилитель 16 соедин етс  с объединенными первым входом устройства и входом преобразовател  2. На вход преобразовател  2 подаетс  напр жение с первого вхо- да устройства. Выход щий из преобразовател  2 модулированный по интенсивности световой поток, отража сь от первого светоделител  3, проходит призмы 7 и 9 переменной оптической задержки и, пройд  второй светоделитель 10,попадает на оптический вход лавинного фотодиода 13, сигнал с которого поступает на нуль-индикатор 14.The switch 1 is set to a position in which the amplifier 16 is connected to the combined first input of the device and the input of the converter 2. The input of the converter 2 is energized from the first input of the device. The light intensity modulated from the converter 2, reflected from the first beam splitter 3, passes the prisms 7 and 9 of the variable optical delay and, after passing the second beam splitter 10, hits the optical input of the avalanche photodiode 13, the signal from which goes to the null indicator 14 .

Напр жение с первого входа устройства через переключатель 1, усилитель 16 и фазоинвертор 15 подаетс  также на электрический вход f вход напр жени  смещени  ., лавинного фотодиода 13,чувствительность которого очень сильно зависит от напр жени  смещени .The voltage from the first input of the device through the switch 1, the amplifier 16 and the phase inverter 15 is also supplied to the electrical input f input bias voltage input, avalanche photodiode 13, the sensitivity of which is very much dependent on the bias voltage.

Перемещением подвижной призмы 7 переменной оптической задержки добиваютс  минимального показани  нульBy moving the movable prism 7 of the variable optical delay, a minimum reading of zero is obtained.

индикатора 14. Положение призмы 7 фиксируетс  при этом, как соответствующее нулевому показанию нуль-индикатора 14.indicator 14. The position of the prism 7 is fixed in this case, as corresponding to the zero reading of the zero indicator 14.

Затем переключатель 1 устанавливаетс  в положение, при котором усилитель 16 соедин етс  с объединенными выходом фотопреобразовател  6 и первым выходом устройства. На вход преобразовател  2 подаетс  напр жение с первого входа устройства. Выход щий из преобразовател  2 световой поток, пройд  первый светоделитель 3, оптический клин 4 и призму 5, поступает на вход первого фотопреобразовател  6. Сигнал с выхода первого фотопреобразовател  6 подаетс  на первый выход устройства, а затем через переключатель 1, усилитель 16 и фазоинвертор 15, поворачивающий фазу сигнала на 180 , поступает на вход напр жени  смещени  лавинного фотодиода 13, сигнал которого регистрируетс  нуль-индикатором 14. i i Then, the switch 1 is set to a position in which the amplifier 16 is connected to the combined output of the photovoltage converter 6 and the first output of the device. The input of the converter 2 is supplied from the first input of the device. The light output from the converter 2, the first beam splitter 3, the optical wedge 4 and the prism 5, pass to the input of the first phototransducer 6. The output from the first phototransducer 6 is fed to the first output of the device, and then through switch 1, the amplifier 16 and the phase inverter 15 turning the signal phase by 180 is fed to the bias voltage input of the avalanche photodiode 13, the signal of which is recorded by the null indicator 14. ii

Отраженный от светоделител  3 световой поток проходит призмы 7 и 9 переменной оптической задержки и светоделитель 10 и попадает на другой вход лавинного фотодиода 13. Нуль-индика- тор 14 регистрирует показание, отличное от минимального. Перемещением призмы 5 добиваютс  минимального показани  нуль-индикатора 14. Положение призмы 5 регистрируетс  при этом как нулевое.The light flux reflected from the beam splitter 3 passes the prisms 7 and 9 of the variable optical delay and the beam splitter 10 reaches the other input of the avalanche photodiode 13. The zero indicator 14 registers a reading other than the minimum. By moving the prism 5, the minimum indication of the zero-indicator 14 is obtained. The position of the prism 5 is recorded as zero.

Затем переключатель 1 устанавливаетс  в положение, при котором вход усилител  16 соедин етс  с объединенными вторым входом устройства и выходом второго фотопреобразовател  12. На вход преобразовател  2 подаетс  напр жение с первого входа устройства , и выход щий из преобразовател  2 световой поток, отража сь от первого светоделител  3, проходит призмы 7 и 9 переменной оптической задержки и второй светоделитель 10 и попадает на оптический вход лавинного фотодиода 13, сигнал с которого поступает на нуль-индикатор 14. Отраженный от второго светоделител  10 световой поток, пройд  призму 11, подаетс  на вход второго фотопреобразовател  12, сигнал с выхода которого поступает на второй выход устройства , а затем через переключатель 1, усилитель 16 и фазоинвертор 15 - на электрический вход лавинного фотоSwitch 1 is then set to a position in which the input of amplifier 16 is connected to the combined second input of the device and the output of the second phototransducer 12. The input of the converter 2 is energized from the first input of the device and the light flux from the first 2 the beam splitter 3, passes the prisms 7 and 9 of the variable optical delay and the second beam splitter 10 and enters the optical input of the avalanche photodiode 13, the signal from which arrives at the null indicator 14. Reflected from the second light 10 elitel luminous flux after passing the prism 11 is input to the second photoconverter 12, the output signal of which is fed to a second output device, and then through the switch 1, the amplifier 16 and the phase inverter 15, - an electrical input avalanche photo

00

5five

0 5 0 5

о about

5five

00

5five

00

5five

диода 13. Перемещением призмы 11 снова добиваютс  минимального показани  нуль-индикатора 14. Положение призмы 11 регистрируетс  при этом, как нуле вое.diode 13. By moving the prism 11 again, the minimum indication of the zero indicator 14 is obtained. The position of the prism 11 is recorded as zero.

Б режиме калибратора фазы переключатель 1 устанавливаетс  в положение, при котором усилитель 16 соедин етс  с объединенными первым входом устройства и входом преобразовател  2.In the phase calibrator mode, the switch 1 is set to a position in which the amplifier 16 is connected to the combined first input of the device and the input of the converter 2.

На первый вход устройства подаетс  гармоническое напр жение необходимой частоты, в результате чего на выходе преобразовател  2 по вл етс  модулированный по интенсивности световой сигнал, который на первом светоделителе 3 делитс  на два потока: .проход щий и отраженный. Проход щий 1поток направл етс  на оптический клин 4 (позвол ющий регулировать интенсивность светового потока при настройке ), после прохождени  которого вводитс  в призму 5, а затем регистрируетс  первым фотопреобразователем 6, Электрический сигнал с выхода фото- преобразовател  6 поступает на пер- i вый выход устройства. A harmonic voltage of the required frequency is applied to the first input of the device, with the result that an intensity-modulated light signal appears at the output of converter 2, which is divided into two streams at the first beam splitter 3: the forward and the reflected. The transmitted 1 stream is directed to the optical wedge 4 (allowing to adjust the intensity of the luminous flux during tuning), after passing through which it is introduced into the prism 5 and then recorded by the first phototransducer 6, the electrical signal from the output of the phototransducer 6 goes to the first output devices.

Отраженный от первого светоделител  3 световой поток попадает в переменную оптическую задержку, состо щую из подвижной призмы 7, величина перемещени  которой регистрируетс  интерференционным лазерным измерителем 8 перемещений, и неподвижной призмы 9. Выход щий из призмы 9 световой поток попадает на второй светоделитель 10 и, отразившись от него , проходит призму 11, а затем регистрируетс  вторым фотопреобразова- телем 12, с выхода которого электрический сигнал поступает на второй выход устройства.Reflected from the first beam splitter 3, the light flux enters a variable optical delay consisting of a moving prism 7, the displacement amount of which is recorded by an interference laser displacement meter 8, and a fixed prism 9. The light flux coming out of the prism 9 hits the second beam splitter 10 and, having reflected from it, passes a prism 11, and then registers with a second phototransducer 12, from the output of which an electrical signal is fed to the second output of the device.

Таким образом, формируемые на выходах фотопреобразователей 6 и 12 электрические сигналы подаютс  на первый и второй выходы устройства. Перемещением подвижной призмы 7 вдоль направлени  Ш при определении величины перемещени  интерференционным лазерным измерителем 8 перемещений задаетс  желаемый фазовый сдвиг, обусловленный задержкой светорого потока . Оптический клин 4 позвол ет выровн ть интенсивности световых сигналов , поступающих на входы фотопре- образователеи 6 и 12.Thus, the electrical signals generated at the outputs of the photoconverters 6 and 12 are fed to the first and second outputs of the device. By moving the movable prism 7 along the direction W in determining the magnitude of the displacement, the interference laser displacement meter 8 sets the desired phase shift due to the delay in the light flux. Optical wedge 4 allows to equalize the intensities of light signals arriving at the inputs of the photoconverter 6 and 12.

В режиме измерител  фазового сдвига работа устройства происходит еле-In the phase shift meter mode, the device operates at

5151

дующим образом. Переключатель I устанавливаетс  в положение, при котором усилитель 16 соедин етс  со вторым входом устройства. На первый и второ входы устройства подаютс  электрические сигналы, фазовый сдвиг между которыми необходимо измерить. На вход преобразовател  2 подаетс  электрический сигнал с первого входа устройства . Выход щий из преобразовател  2 модулированный по интенсивности световой поток, отража сь от первого светоделител  3, попадает в подвижную призму 7 переменной оптической задержки, причемвеличина перемещени  этой призмы регистрируетс  интерференционным лазерным измерителем 8 перемещений. Пройд  неподвижную призму 9 и второй светоделитель 10, световой поток регистрируетс  лавинным фотодиодом 13, сигнал которого поступает на нуль-индикатор 14. На электрический вход (вход напр жени  смещени ) лавинного фотодиода 13 через фазоинвертор 15 и усилитель 16 подаетс  электрический сигнал со второго входа устройства.blowing way. The switch I is set to a position in which the amplifier 16 is connected to the second input of the device. Electrical signals are supplied to the first and second inputs of the device, the phase shift between which must be measured. An electrical signal is applied to the input of converter 2 from the first input of the device. The light intensity modulated from the transducer 2, reflected from the first beam splitter 3, enters the movable prism 7 of the variable optical delay, and the amount of movement of this prism is recorded by an interference laser meter 8 of displacements. Passing a fixed prism 9 and a second beam splitter 10, the light flux is recorded by an avalanche photodiode 13, the signal of which is fed to a zero indicator 14. An electrical input from the second input of the device is supplied to the electrical input (bias voltage input) of the avalanche photodiode 13 .

Наличие фазового сдвига между исследуемыми электрическими сигналами, подаваемыми на первый и второй входы устройства приводит к уходу от минимального напр жени , регистрируемого нуль-индикатором 14, так как чувствительность лавинного фотодиода зависит от напр жени  смещени , т.е. минимальное значение выходного тока лавинного фотодиода 13 будет регистрироватьс  нуль-индикатором 14 лишь при равенстве фаз сигналов.The presence of a phase shift between the studied electrical signals applied to the first and second inputs of the device leads to a departure from the minimum voltage detected by the null indicator 14, since the sensitivity of the avalanche photodiode depends on the bias voltage, i.e. The minimum value of the output current of the avalanche photodiode 13 will be registered by the zero-indicator 14 only with equal phases of the signals.

Дл  компенсации этого фазового сдвига подвижную призму 7 регулируемой оптической задержки перемещают вдоль направлени  MN до тех пор, пока на нуль-индикаторе 14 не будет зарегистрировано минимальное показание По величине перемещени  подвижной призмы 7, регистрируемой интерференционным лазерным измерителем 8 перемещений , определ етс  величина фазового сдвига между исследуемыми электрическими сигналами.To compensate for this phase shift, the movable prism 7 of the adjustable optical delay is moved along the direction MN until a minimum indication is recorded on the null indicator 14. The displacement amount of the movable prism 7 detected by the interference laser meter 8 displacements determines the magnitude of the phase shift between investigated electrical signals.

Исключение двух источников модулированного оптического излучени , представл ющих собой, как правило, полупроводниковые лазерные диоды с соответствующими электронными схемаElimination of two sources of modulated optical radiation, which are, as a rule, semiconductor laser diodes with appropriate electronic circuitry.

ми накачки, стабилизации мощности, температурной стабилизации и соответ- |ствующими оптическими коллиматорами или газовые лазеры с электрооптичес-| кими модул торами и коллимирующими системами, а также исключение четырех затворов и оптических элементов с высоким значением интенсивности отказов: п ти светоделителей, всех п ти ; отражающих зеркал, двустороннего зеркала и трех пол ризаторов позвол ет (по сравнению с прототипом) повысить надежность предлагаемого фазо- метрического устройства за счет его упрощени .pumping, power stabilization, temperature stabilization and appropriate optical collimators or gas lasers with electro-optical | Kimi modulators and collimating systems, as well as the exclusion of four gates and optical elements with a high failure rate: five beam splitters, all five; reflecting mirrors, double-sided mirrors and three polarizers allows (compared to the prototype) to increase the reliability of the proposed phase-measuring device by simplifying it.

Claims (1)

Формула изобретени Invention Formula Фазометрическое устройство, содержащее преобразователь электрического напр жени  в световой поток, вход которого соединен с первым входом устройства , а выход оптически св зан сA phasometric device containing an electrical voltage converter into a light flux, the input of which is connected to the first input of the device, and the output is optically coupled to первым светоделителем, первый выход которого4 оптически св зан через оптический клин и первую призму с первым фотопреобразователем, электрический выход которого подключен к первому выходу устройства, второй выход первого светоделител  оптически св зан через переменную регулируемую оптическую задержку, механически св занную с интерференционным лазерным измерителем перемещений, с вторым светоделителем, первый выход которого оптически св зан через вторую призму с вторым фотопреобразователем, электрический выход которого подключен к второму выходу устройства, и фотоприемник , электрический выход которого соединен с входом нуль-индикатора, отличающеес  тем, что, с целью упрощени  и повышени  надежности устройства, в него введены дополнительно фазоинвертор, усилитель и переключатель, причем первый вход переключател  соединен с первым входом устройства, второй вход - с вторым входом устройства, третий вход - сthe first beam splitter, the first output of which4 is optically coupled through the optical wedge and the first prism to the first phototransducer, the electrical output of which is connected to the first output of the device, the second output of the first beam splitter is optically coupled through a variable adjustable optical delay mechanically coupled to an interference laser displacement meter, with the second beam splitter, the first output of which is optically coupled through the second prism to the second phototransducer, whose electrical output is connected It is connected to the second output of the device, and a photodetector, the electrical output of which is connected to the input of a null indicator, characterized in that, in order to simplify and increase the reliability of the device, an additional phase inverter, amplifier and switch are added to it, the first input of the switch is connected to the first input devices, the second input is with the second input of the device, the third input is with первым выходом устройства, четвертый вход - с вторым выходом устройства, а выход переключател  через усилитель и фазоинвертор подключен к управл ющему электрическому входу фотоприемника , оптический вход которого cor the first output of the device, the fourth input with the second output of the device, and the output of the switch through the amplifier and phase inverter is connected to the control electrical input of the photodetector, the optical input of which is cor пр жен с вторым выходом второго тоделител .wives with the second output of the second todelitel. свеswee
SU874326307A 1987-09-29 1987-09-29 Phase meter SU1476404A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874326307A SU1476404A1 (en) 1987-09-29 1987-09-29 Phase meter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874326307A SU1476404A1 (en) 1987-09-29 1987-09-29 Phase meter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1476404A1 true SU1476404A1 (en) 1989-04-30

Family

ID=21335506

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874326307A SU1476404A1 (en) 1987-09-29 1987-09-29 Phase meter

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1476404A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Данел н А.Г. и др. Образцовый двухфазный оптоэлектронный генератор. - Измерительна техника, 1980, № 7, с. 51-52. Авторское свидетельство СССР . № 1275322, кл. G 01 R 25/04, 1986. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0640846B1 (en) Optical measuring apparatus
KR900002117B1 (en) Method and apparatus for measuring distance by laser beam
US4600299A (en) Optical distance measuring instrument
JPH0439038B2 (en)
SU1476404A1 (en) Phase meter
JPH07190712A (en) Interferometer
CN108627084A (en) A kind of laser wavelength calibration system based on static Michelson's interferometer
JP2935325B2 (en) Multi-probe displacement measuring device
JPH0682552A (en) Electrooptical distance measurement
SU1137403A1 (en) Device for touch-free measuring of current
SU1185073A1 (en) Arrangement for measuring linear and angular movements of an object
KR970003746B1 (en) Automatic system of laser density
SU1275322A1 (en) Phase measuring device
SU1283529A1 (en) Light range finder
SU834396A1 (en) Light range finder
SU1458707A1 (en) Apparatus for measuring amplitudes of small periodical linear displacements
SU1695127A1 (en) Normalizing unit for a meter with laser pump generator and four-patch quadrant photodetector
SU1262392A1 (en) Magnetooptical method for measuring current and device for effecting same
SU1179103A1 (en) Interferometer for distance measurement
SU877325A1 (en) Interferentional displacement meter
SU1645818A1 (en) Phasic light distance finder
SU175271A1 (en) TWO-CHANNEL COMPENSATION PHOTOMETER
SU1345056A1 (en) Light range finder
SU1566870A1 (en) Method of determining mutual displacement object point
SU506755A1 (en) Device for measuring phase shifts of infrared radiation