SU1471069A1 - Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces - Google Patents
Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces Download PDFInfo
- Publication number
- SU1471069A1 SU1471069A1 SU864069019A SU4069019A SU1471069A1 SU 1471069 A1 SU1471069 A1 SU 1471069A1 SU 864069019 A SU864069019 A SU 864069019A SU 4069019 A SU4069019 A SU 4069019A SU 1471069 A1 SU1471069 A1 SU 1471069A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- radiation
- beam splitter
- focused
- geometric parameters
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и может быть применено в машиностроении при изготовлении и контроле изделий сложной формы. Цель изобретени - упрощение, повышение чувствительности и точности за счет устранени погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе объектива путем использовани пространственной модул ции светового пучка с помощью системы регистрации. Излучение источника 1 оптического излучени коллимируетс объективом 2. С помощью объектива 3 излучение фокусируетс на поверхности объекта, установленного на платформе 4. Отраженное излучение через светоделитель 6 и объектив 7 фокусируетс на систему 8 регистрации. Результат измерени регистрируетс с помощью осциллографа 10 и цифрового мультиметра 11. 1 ил.The invention relates to a measuring technique and can be applied in mechanical engineering in the manufacture and control of products of complex shape. The purpose of the invention is to simplify, increase sensitivity and accuracy by eliminating the errors of setting a point aperture in the focus of the lens by using spatial modulation of the light beam using a recording system. The radiation of the optical radiation source 1 is collimated by the lens 2. Using the lens 3, the radiation is focused on the surface of an object mounted on platform 4. The reflected radiation through the beam splitter 6 and the lens 7 is focused on the recording system 8. The measurement result is recorded using an oscilloscope 10 and a digital multimeter 11. 1 sludge.
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть применено в машиностроении при изготовлении и контроле изделий сложной формы.The invention relates to measuring equipment and can be applied in mechanical engineering in the manufacture and control of products of complex shape.
Цель изобретения - упрощение,увеличение чувствительности и повышение точности за счет устранения погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе модуляции светового пуч- Ю ка с помощью системы регистрации.The purpose of the invention is to simplify, increase sensitivity and improve accuracy by eliminating the errors in the installation of a point aperture in the focus of modulation of the light beam using a registration system.
На .чертеже приведена блок-схема устройства для измерения геометрических параметров поверхностей.The drawing shows a block diagram of a device for measuring the geometric parameters of surfaces.
Устройство содержит источник 1 15 оптического излучения, первый 2 и второй 3 объективы, платформу 4,предназначенную для установки на ней ' объекта измерения, оптический столик 5, светоделитель 6, третий ·. 20 объектив 7, систему 8 регистрации4 усилитель 9, осциллограф Ю, цифровой мультиметр 11, источник I2 питания, генератор 13 импульсов.The device contains a source of 1 15 optical radiation, the first 2 and second 3 lenses, a platform 4 intended for installation on it 'of the measurement object, an optical table 5, a beam splitter 6, the third ·. 20 lens 7, recording system 8, 4 amplifier 9, Yu oscilloscope, digital multimeter 11, power supply I2, 13 pulse generator.
Излучение источника 1 оптическо- 25 го излучения (промышленный лазер ИЛПН-204} коллимируется первым объективом 2 (ЛОМО 9 х 0,20) и фокусируется объективом 3 (ЛОМО 20/1,5) на эталонные пластинки, установлен- 30 ные на платформе 4, размещенной на оптическом столике 5, при этом обеспечивается перемещение объекта измерения вдоль оптической оси луча.Светоделитель 6 направляет часть отра- 35 женного излучения, собранного объективом 3,·на объектив 7 (ЛОМО 9 х х 0,20),The radiation of source 1 of the optical 25th radiation (industrial laser ILPN-204} is collimated by the first lens 2 (LOMO 9 x 0.20) and is focused by lens 3 (LOMO 20 / 1.5) onto the reference plates mounted on platform 4 30 placed on the optical table 5, this ensures the movement of the measurement object along the optical axis of the beam. The beam splitter 6 directs part of the reflected radiation collected by the lens 3 to the lens 7 (LOMO 9 x x 0.20),
Эта часть светового потока .фокусируется -в активную область системы 40 8 регистрации, выполненной в виде инжекционного лазера, работающего в фотодиодном режиме. Фототок этого лазера усиливается усилителем 9 и регистрируется осциллографом 10 и цифровым мультиметром 11. Питание лазера осуществляется источником 12 постоянного-тока и генератором,обеспечивающим модуляцию излучения.This part of the light flux is focused into the active region of the registration system 40 8, made in the form of an injection laser operating in the photodiode mode. The photocurrent of this laser is amplified by an amplifier 9 and is recorded by an oscilloscope 10 and a digital multimeter 11. The laser is powered by a direct current source 12 and a generator providing radiation modulation.
В качестве источника 1 оптического излучения и системы 8 регистрации могут быть использованы инжекционные лазеры ИЛПН-204, первого объектива - объектив ЛОМО 9 х 0,20, второго объектива - ЛОМО 20/1,5, третьего объектива - ЛОМО 9 х 0,20, усилителя 9 - У2-9, осциллографаAs a source 1 of optical radiation and registration system 8, injection lasers ILPN-204 can be used, the first lens is a LOMO 9 x 0.20 lens, the second lens is LOMO 20 / 1.5, the third lens is LOMO 9 x 0.20, amplifier 9 - U2-9, oscilloscope
- 01-68, цифрового мультиметра- 01-68, digital multimeter
- 1Ц4300,- 1Ts4300,
Claims (1)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864069019A SU1471069A1 (en) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU864069019A SU1471069A1 (en) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1471069A1 true SU1471069A1 (en) | 1989-04-07 |
Family
ID=21238255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU864069019A SU1471069A1 (en) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1471069A1 (en) |
-
1986
- 1986-04-10 SU SU864069019A patent/SU1471069A1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент СИЛ № 3550839, кл. 250-222, 1970. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS5616802A (en) | Method and unit for measuring electro-optically dimension,position and form of object | |
JPS5759107A (en) | Method and device for measuring plate thickness | |
ATE81907T1 (en) | OPTICAL MEASUREMENT DEVICES. | |
DE3778406D1 (en) | OPTICAL HEAD DEVICES FOR TURNTABLE. | |
JPS62201301A (en) | Laser interference length measuring machine | |
SU1471069A1 (en) | Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces | |
ATE105402T1 (en) | POSITION MEASUREMENT DEVICE. | |
JPS5767815A (en) | Measuring method for position of reflector using light | |
SU1370456A1 (en) | Method of fixing position of object outlines | |
JPS56156937A (en) | Optical pickup device | |
JP2546277B2 (en) | Optical semiconductor measuring device | |
DE3778615D1 (en) | OPTICALLY WORKING SURFACE Tester. | |
JPH07503547A (en) | Interferometric probe for distance measurement | |
JPS571956A (en) | Setting device for gain in reading radiation picture information | |
SU1562704A1 (en) | Apparatus for measuring displacements of diffusely reflecting surface of object | |
SU1523921A1 (en) | Photoimpact method of measuring linear dimensions | |
SU1552004A1 (en) | Optical sensor of object displacements | |
RU1789851C (en) | Device for checking whickness of flat objects | |
SU1479821A2 (en) | Apparatus for monitoring linear dimensions | |
SU1281950A1 (en) | Device for determining focal plane of lens | |
JPH01147304A (en) | Evaluating device for light emission point position | |
SU1619031A1 (en) | Optical electric device for forming and space following modulated optical beam | |
Chang | Real time error analysis of high speed camera by laser and position sensing system | |
SU1677520A1 (en) | Photoelectric measuring device | |
KR880004297Y1 (en) | Optical sensor for focusing control |