SU1471069A1 - Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces - Google Patents

Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces Download PDF

Info

Publication number
SU1471069A1
SU1471069A1 SU864069019A SU4069019A SU1471069A1 SU 1471069 A1 SU1471069 A1 SU 1471069A1 SU 864069019 A SU864069019 A SU 864069019A SU 4069019 A SU4069019 A SU 4069019A SU 1471069 A1 SU1471069 A1 SU 1471069A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
lens
radiation
beam splitter
focused
geometric parameters
Prior art date
Application number
SU864069019A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Георгий Георгиевич Земсков
Юрий Львович Бессонов
Саулюс Клеменсович Каушинис
Виталий Николаевич Макухин
Нина Дмитриевна Морозова
Повилось Адольфо Скролис
Сергей Евгеньевич Солодов
Original Assignee
Завод-втуз при Московском автомобильном заводе им.И.А.Лихачева
Физический Институт Ан Ссср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Завод-втуз при Московском автомобильном заводе им.И.А.Лихачева, Физический Институт Ан Ссср filed Critical Завод-втуз при Московском автомобильном заводе им.И.А.Лихачева
Priority to SU864069019A priority Critical patent/SU1471069A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1471069A1 publication Critical patent/SU1471069A1/en

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть применено в машиностроении при изготовлении и контроле изделий сложной формы. Цель изобретени  - упрощение, повышение чувствительности и точности за счет устранени  погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе объектива путем использовани  пространственной модул ции светового пучка с помощью системы регистрации. Излучение источника 1 оптического излучени  коллимируетс  объективом 2. С помощью объектива 3 излучение фокусируетс  на поверхности объекта, установленного на платформе 4. Отраженное излучение через светоделитель 6 и объектив 7 фокусируетс  на систему 8 регистрации. Результат измерени  регистрируетс  с помощью осциллографа 10 и цифрового мультиметра 11. 1 ил.The invention relates to a measuring technique and can be applied in mechanical engineering in the manufacture and control of products of complex shape. The purpose of the invention is to simplify, increase sensitivity and accuracy by eliminating the errors of setting a point aperture in the focus of the lens by using spatial modulation of the light beam using a recording system. The radiation of the optical radiation source 1 is collimated by the lens 2. Using the lens 3, the radiation is focused on the surface of an object mounted on platform 4. The reflected radiation through the beam splitter 6 and the lens 7 is focused on the recording system 8. The measurement result is recorded using an oscilloscope 10 and a digital multimeter 11. 1 sludge.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть применено в машиностроении при изготовлении и контроле изделий сложной формы.The invention relates to measuring equipment and can be applied in mechanical engineering in the manufacture and control of products of complex shape.

Цель изобретения - упрощение,увеличение чувствительности и повышение точности за счет устранения погрешностей установки точечной диафрагмы в фокусе модуляции светового пуч- Ю ка с помощью системы регистрации.The purpose of the invention is to simplify, increase sensitivity and improve accuracy by eliminating the errors in the installation of a point aperture in the focus of modulation of the light beam using a registration system.

На .чертеже приведена блок-схема устройства для измерения геометрических параметров поверхностей.The drawing shows a block diagram of a device for measuring the geometric parameters of surfaces.

Устройство содержит источник 1 15 оптического излучения, первый 2 и второй 3 объективы, платформу 4,предназначенную для установки на ней ' объекта измерения, оптический столик 5, светоделитель 6, третий ·. 20 объектив 7, систему 8 регистрации4 усилитель 9, осциллограф Ю, цифровой мультиметр 11, источник I2 питания, генератор 13 импульсов.The device contains a source of 1 15 optical radiation, the first 2 and second 3 lenses, a platform 4 intended for installation on it 'of the measurement object, an optical table 5, a beam splitter 6, the third ·. 20 lens 7, recording system 8, 4 amplifier 9, Yu oscilloscope, digital multimeter 11, power supply I2, 13 pulse generator.

Излучение источника 1 оптическо- 25 го излучения (промышленный лазер ИЛПН-204} коллимируется первым объективом 2 (ЛОМО 9 х 0,20) и фокусируется объективом 3 (ЛОМО 20/1,5) на эталонные пластинки, установлен- 30 ные на платформе 4, размещенной на оптическом столике 5, при этом обеспечивается перемещение объекта измерения вдоль оптической оси луча.Светоделитель 6 направляет часть отра- 35 женного излучения, собранного объективом 3,·на объектив 7 (ЛОМО 9 х х 0,20),The radiation of source 1 of the optical 25th radiation (industrial laser ILPN-204} is collimated by the first lens 2 (LOMO 9 x 0.20) and is focused by lens 3 (LOMO 20 / 1.5) onto the reference plates mounted on platform 4 30 placed on the optical table 5, this ensures the movement of the measurement object along the optical axis of the beam. The beam splitter 6 directs part of the reflected radiation collected by the lens 3 to the lens 7 (LOMO 9 x x 0.20),

Эта часть светового потока .фокусируется -в активную область системы 40 8 регистрации, выполненной в виде инжекционного лазера, работающего в фотодиодном режиме. Фототок этого лазера усиливается усилителем 9 и регистрируется осциллографом 10 и цифровым мультиметром 11. Питание лазера осуществляется источником 12 постоянного-тока и генератором,обеспечивающим модуляцию излучения.This part of the light flux is focused into the active region of the registration system 40 8, made in the form of an injection laser operating in the photodiode mode. The photocurrent of this laser is amplified by an amplifier 9 and is recorded by an oscilloscope 10 and a digital multimeter 11. The laser is powered by a direct current source 12 and a generator providing radiation modulation.

В качестве источника 1 оптического излучения и системы 8 регистрации могут быть использованы инжекционные лазеры ИЛПН-204, первого объектива - объектив ЛОМО 9 х 0,20, второго объектива - ЛОМО 20/1,5, третьего объектива - ЛОМО 9 х 0,20, усилителя 9 - У2-9, осциллографаAs a source 1 of optical radiation and registration system 8, injection lasers ILPN-204 can be used, the first lens is a LOMO 9 x 0.20 lens, the second lens is LOMO 20 / 1.5, the third lens is LOMO 9 x 0.20, amplifier 9 - U2-9, oscilloscope

- 01-68, цифрового мультиметра- 01-68, digital multimeter

- 1Ц4300,- 1Ts4300,

Claims (1)

Формула изобретенияClaim Устройство для измерения геометрических параметров поверхностей, содержащее источник излучения, установленные по ходу светового луча первый объектив, светоделитель и второй ‘объектив, оптически связанные со светоделителем и последовательно установленные третий объектив и систему регистрации, отличающееся тем, что, с целью упрощения, увеличения чувствительности и повышения точности, система регистрации выполнена в виде инжекционного лазера с апертурой,-равной апертуре источника излучения, и установлена Чз фокусе третьего объектива на расстоянии от светоделителя, равном расстоянию от источника излучения до светоделителя.A device for measuring the geometric parameters of surfaces, containing a radiation source, a first lens, a beam splitter and a second 'lens, optically connected with a beam splitter and sequentially mounted a third lens and a recording system, characterized in that, in order to simplify, increase the sensitivity and to improve accuracy, the registration system is made in the form of an injection laser with an aperture, an equal aperture of the radiation source, and it is installed at the focus of the third lens at a distance from the beam splitter equal to the distance from the radiation source to the beam splitter.
SU864069019A 1986-04-10 1986-04-10 Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces SU1471069A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864069019A SU1471069A1 (en) 1986-04-10 1986-04-10 Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU864069019A SU1471069A1 (en) 1986-04-10 1986-04-10 Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1471069A1 true SU1471069A1 (en) 1989-04-07

Family

ID=21238255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU864069019A SU1471069A1 (en) 1986-04-10 1986-04-10 Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1471069A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент СИЛ № 3550839, кл. 250-222, 1970. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5616802A (en) Method and unit for measuring electro-optically dimension,position and form of object
JPS5759107A (en) Method and device for measuring plate thickness
ATE81907T1 (en) OPTICAL MEASUREMENT DEVICES.
DE3778406D1 (en) OPTICAL HEAD DEVICES FOR TURNTABLE.
JPS62201301A (en) Laser interference length measuring machine
SU1471069A1 (en) Arrangement for measuring geometric parameters of surfaces
ATE105402T1 (en) POSITION MEASUREMENT DEVICE.
JPS5767815A (en) Measuring method for position of reflector using light
SU1370456A1 (en) Method of fixing position of object outlines
JPS56156937A (en) Optical pickup device
JP2546277B2 (en) Optical semiconductor measuring device
DE3778615D1 (en) OPTICALLY WORKING SURFACE Tester.
JPH07503547A (en) Interferometric probe for distance measurement
JPS571956A (en) Setting device for gain in reading radiation picture information
SU1562704A1 (en) Apparatus for measuring displacements of diffusely reflecting surface of object
SU1523921A1 (en) Photoimpact method of measuring linear dimensions
SU1552004A1 (en) Optical sensor of object displacements
RU1789851C (en) Device for checking whickness of flat objects
SU1479821A2 (en) Apparatus for monitoring linear dimensions
SU1281950A1 (en) Device for determining focal plane of lens
JPH01147304A (en) Evaluating device for light emission point position
SU1619031A1 (en) Optical electric device for forming and space following modulated optical beam
Chang Real time error analysis of high speed camera by laser and position sensing system
SU1677520A1 (en) Photoelectric measuring device
KR880004297Y1 (en) Optical sensor for focusing control