SU1456772A1 - Адаптивный интерферометр - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измери тельной технике и может быть испаль . зовано дл  измерени  линейных и угловых (перемещений. Цель изобретени  - повьшрение помехоустойчивости достигаетс  за счет измерени  профил  оптической поверхности, С помощью акустооптических модул торов 2 и 4 осуществл етс  управление оптическими длинами интерферометра, образованного источником 1 монохроматического света, светоделителем 13, светосоединител мк 9 и 11 и светодвлительным кубиком 6, Отрицательна  обратна  св зь, котора  осуществл етс  за счет подстройки второго генератора 15, св занного с - вторым акустооптическим модул тором 4, позвол ет стабилизировать оптическую длину эталонного плеча интерферометра в услови х воздействи  вибрации. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к измериельной технике и может быть использовано дл  измерений угловых и инейных перемещений, а также дл 

контрол  качества поверхностей разичных оптических элементов в услови х воздействи  производственных помех и вибраций.

Цель изобретени  - повьшение. по- ю мехоустойчивости за счет уменьшени  воздействи  вибрации путем использовани  отрицательной обратной св зи, стабилизирующей оптическую разность хода плеч интерферометра,15

На чертеже представлена структурна  схема предлагаемого интерферометра .

Адаптивный интерферометр содержит ИСТОЧ1ШК 1 монохроматического света, 20 акустооптический модул тор 2, генератор 3, второй акустооптический модул тор 4, диафрагму 5, светоделитель- ный кубик 6, объектив 7, зеркало 8, первый светосоединитель 9, первый25

фотоприемник 10, второй светосоеди- иитать 11, второй фотоприемннк 12, светоделитель 13, днффере1щиальный усилитель 14, уп1 авл емьй генератор 15...30

Адаптивный интерферометр работает следующим образом.

Световой поток от источника 1 монохроматического света поступает на первый акустооптический модул тор 2, 35 к которому подключен генератор 3 генерирующий сигнал с частотой fre, на выходе первого акустооптического модул тора образуютс  два световых потока, продифрагированный с часто- 40 той font frEH и непродифрагирован- ный с частотой fonr

Последний, пройд  через второй акустооптический мод ул тор 4, также образует два световых потока с час- 45 тотами font, и fonr + f-CEt, Световой поток с частотой fonr отсекаетс  диафрагмой 5, пропускающей световой поток, имеюпдай частоту fonT + ген который далее направл етс  на свето-- делительшш кубик 6. Светоделитель- ньй кубик 6 раздел ет пришедший световой поток на два. Первый проходит объектив 7, ВЫПОЛНЯЮ1ВДЙ функции преобразовател  волнового фронта, и по- 55 падает на зеркало 8, поверхность которого необходимо измерить, установленное в фокальной плоскости объектива 7, отразившись от зеркала 8 в обратном направлении, отражаетс  от светоделительного кубика 6 и через светосоединитель 9 попадает на первый фотоприемник 0, образу  измерительное гшечо интерферометра. Второй световой , отраженный от кубика 6, а затем через светосоединитель 11 попадает на второй фотоприемник 12, образу  эталонное плечо интерферометра . Световой поток, продифрагированный в первом акустооптическом модул торе 2 и имеющий частоту + , попадает на светоделитель 13, раздел етс  на два, один из них, пройд  через светосоединитель 9, интерферирует с измерительным световым потоком в измерительном ппече и образует интерференционную картину на первом фотоприемнике 10, котора  отражает рельеф контролируемой поверхности зеркала 8, второй световой поток , образованнйй светоделителем 13, проходит через светосоединитель 11, интерферирует с опорным световым потоком в опорном плече и образует ин- терференциО1::ную картину на втором фотоприемнике 12, котора   вл етс  зталонно й. При наличии внешних воздействий возникнет разность частот интерферируюрщх световых потоков на величину допперовского сдвига, при

этом сигналы И и П с выхода фотоприемников 10 и 12 начинают измен тьс , а на выходе дифференциального усилител  14 по вл етс  сигнал, под действием которого измен етс  частота управл емого генератора 15, подключенного к второму акустоопти- ческому модул тору 4, причем знак и амплитуда этого сигнала таковы, что происходит выравнивание частот интерферируюпдих световых потоков, т.е. изменение частоты одного светового потока компенсируетс  изменением частоты управл емого генератора 15, В результате этого, интерференционна  картина остаетс  неподвижной

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Адаптивный интерферометр, содер- жаидай оптически св занные источник монохроматического света, первый и второй акустооптические модул торы, соответственно с первым и вторым генераторами , подключенными к ним, светоделитель, первый и второй фотоприемники и зеркало, отличающийс  тем, что, с целью повыше31456772

   ни  помехоустойчивости, он снабжентосоединитель и первый фотоприемник первым и вторым светоделител ми,установлены последовательно по ходу светоделительным кубиком, диафраг-первого светового луча, второй све- мой, объективом и дифференциальным тосоединитель и второй фотоприемник усилителем, источник монохроматичес-установлены последовательно по ходу кого излучени , первый и второй акус-второго светового луча, первый и вто- тооптические модул торы, диафрагма,рой выходы светоделительного кубика светоделительный кубик, объектив иоптически св заны с входами соответ- зеркало установлены последовательно юственного первого и второго светосо- по ходу светового луча, светодели-единителей, выходы первого и второго тель установлен по ходу продифрагиро-фотоприемников соединены соответст- ванного луча первого акустооптичес- -венно с первым и вторым входами диф- кого модул тора и предназначен дл ференциального усилител , выход кото- разделени  светового пучка на первой 15рого соединен с входом второго гене- и второй световые лучи, первый све-paTojffe.