SU1434305A1 - Компенсатор дл контрол формы параболических поверхностей вращени - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к испытани м оптических приборов и м.б. использовано дл  бесконтактного контрол  формы параболических поверхностей вращени . Цель изобретени  - упрощение конструкции, повьшение точности и расширение диапазона параметров при контроле выпуклых параболических поверхностей . Гомоцентрический сход щийс  пучок лучей преобразуетс  компенсатором , выполненным в виде одиночного отрицательного мениска 1, в негомоцентрический пучок, лучи которого  вл ютс  нормал ми к теоретически правильной параболической по- верхности. После отражени  от реальной контролируемой поверхности 2 компенсатором формируетс  пучок, форма волнового фронта которого характеризует степень отличи  поверхности 2 от теоретической. Приведены выражени  дл  на :ождени  радиусов мениска 1. 1 ил. § С/)

Description

j Изобретение относитс  к испытанию Ьптической аппаратуры и предназначен   бесконтактного контрол  формы вы клых параболических поверхностей йращени .

; Целью изобретени   вл етс  упрощение конструкции, повышение точности, Также расптрение диапазона параметров при контроле выпукльйс параболи- ческих поверхностей.

На чертеже изображен конпенсатор н схема его применени  дл  контрол  выпуклых параболических поверхностей

На чертеже позици ми обозначены конпенсатор 1 в виде отрицательного мениска; контролируема  асферическа  поверхность 2; параметры компенсатора: Е и г - радиусы кривизны сферических поверхностей; d - толщина; п - показатель преломлени ; С, и С - центры кривизны поверхностей компенсатора; F - передний фокус компенсатора; Н, Н - главные точки компенсатора; f - переднее Фокусное эассто ние компенсатора; г - параметр контролируемой поверхности; CQ - центр кривизны при вершине пара- Золической поверхности; С - центр кривизны зоны; Л - вершина гомоцент рическог.о пучка лучей. Контролируема  поверхность устанавливаетс  так, чтобы ее вершина располагалась между главными точками и Н компенсатора.

{ Компенсатор работает следующим бразом.

} Гомоцентрический сход щийс  пучок лучей, идущих из точного монохроматического источника излучени , располо Ценного в точке А, преобразуетс  компенсатором 1 в негомоцентрический лучи которого  вл ютс  нормал ми к iпapaбoличecкoй контролируемой поверхности 2, Отразившись от контро- лируемой поверхности, лучи вновь проход т через компенсатор, формиру  гомоцентрический пучок с центром в точке А. Таким образом, назначение компенсатора заключаетс  в формиро- вании волнового фронта, форма которого совпадает с теоретической формой контролируемой поверхности. Это обеспечиваетс  за счет определенной конструкции компенсатора и его уста- новки относительно контролируемой поверхности и точечного источника

5

Q

5 0 5

0 5 0

излучени . При использовании компенсатора в системе лазерного инфро- метра процесс исследовани  сводитс  к анализу формы волнового фронта, вьш1едшего из компенсатора. Если форма контролируемой поверхности не соответствует теоретической, то отраженный фронт получит искажени : фронт, вьш1едший из компенсатора в обратном ходе лучей, будет несферическим . Величину его несферичности определ ют по виду интерференционной картины, возникшей в результате взаимодействи  данного волнового м фронта с эталонным сферическим фрон- том.

в качестве примера конкретной реализации рассчитаны три варианта компенсатора дл  контрол  трех разных параболоидов и относительным отверстием 4:1. Остаточна  волнова  раци  компенсатора при автоколлимационном ходе лучей составл ет 0,06- 0,3 длин волн, что позвол ет в схеме лазерного интерферометра аттестовать форму параболической поверхности с точностью до долей микрометра.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Компенсатор дл  контрол  формы параболических поверхностей вращени , содержащий одиночный мениск, отличающийс  тем, что, с целью упрощени  конструкции, повышени  точности и расширени  диапазона параметров при контроле выпуклых поверхностей , мениск вьтолнен отрицательным со сферическими поверхност ми и обращен вогнутостью к контролируемой поверхности, при этом конструктивные параметры мениска выбраны из соотношений

   0,9 -11-9- - 1,2;

   п - 1 . ---f.

   г,, г Рэдиусы кривизны поверхностей;

   d - толщина по оптической оси;

   f - переднее фокусное рассто ние;

   п - показатель преломлени .