SU1247809A1

SU1247809A1 - Компенсационный объектив дл контрол формы вогнутых асферических поверхностей

Info

Publication number: SU1247809A1
Application number: SU843831926A
Authority: SU
Inventors: Даниил Трофимович Пуряев; Надежда Николаевна Кулакова
Original assignee: МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority date: 1984-12-27
Filing date: 1984-12-27
Publication date: 1986-07-30

Abstract

Изобретение относитс к оптическому приборостроению и позвол ет увеличить апертуру контролируемых поверхностей. Объектив содержит фокусирующий компонент из исправленного на сферическую аберрацию объектива 1 и выпукло-плоской линзы 2, за которым установлена менискова линза 3. Задний фокус фокусирующего компонента расположен на плоской поверхности линзы 2. При контроле поверхностей определ ют форму волнового фронта, образованного отраженными от поверхности лучами 4. Объектив применим дл контрол асферических поверхностей высших пор дков с апер- турным углом 60&deg;. 1 ил. (Л ю оо о со

Description

Изобретение относитс к оптическому приборостроению , в частности к устройствам дл интерференционного контрол формы асферических поверхностей оптических деталей .

Цель изобретени - увеличение апертуры контролируемых поверхностей.

На чертеже изображен компенсационный объектив, схема его применени и ход лучей в нем.

На схеме обо значены: 1 - компонент, исправленный на сферическую аберрацию (.объектив); 2 - выпукло-плоска линза; 3 - менискова линза; 4 - контролируема асферическа поверхность; F - задний фокус системы, состо щей из первого компонента и выпукло-плоской линзы; а - апертурный угол; Z, О, Y - начало координат дл асферической поверхности.

Компенсационный объектив действует следующим образом.

Первый компонент 1 (объектив) формирует сферический волновой фронт, апертура которого увеличиваетс в п раз (п - показатель преломлени линзы 2) после выхода лучей из линзы 2. Конструктивные параметры объектива 1 и линзы 2 выбраны так, что задний фокус F фокусирующего компонента, состо щего из компонентов 1 и 2, располагаетс на плоской поверхности линзы 2. Лучи, вышедшие из точки F , поступают на менисковую линзу 3 и направл ютс по нормал м к контролируемой поверхности 4, после отражени от которой повтор ют свой путь в обратном направлении . Лучи, отраженные от поверхности 4, создают анализируемый волновой фронт, форму которого определ ют либо по результату взаимодействи с волновым фронтом срав

нени , либо по эталонному волновому фронту , создаваемому интерферометром, либо с помощью вспомогательных оптических элементов .

Например, у компенсационного объектива дл контрол асферической поверхности, меридиональный профиль которой задан уравнением вида

f Az + Bz -f Сг

крайн нормаль к асферической поверхности наклонена к оптической оси на угол 51°; апертурный угол а 54°, относительное отверстие первого компонента равно 1:2. Остаточна волнова аберраци всей системы в двойном ходе лучей не превышает 0,07л, где А, 632,8 им - длина волны. Изобретение может использоватьс дл контрол асферических поверхностей высших пор дков с апертурным углом а 60°, G частности дл контрол эллиптических по- верхностей, образованных вращением эллипса вокруг малой оси.

5

0

Claims

Формула изобретени

Ко.мпенсационный объектив дл контрол формы вогнутых асферических поверхностей , содержащий фокусирующий компонент из исправленного на сферическую аберрацию объектива и выпукло-плоской линзы, отличающийс тем, что, с целью увеличени апертуры контролируемых поверхностей, за фокусирующим ко.мпонентом установлена менискова линза, обращенна вогнутостью к выпукло-плоской линзе, а задний фокус фокусирующего компонента совмещен с плоской поверхностью выпукло-плоской линзы.