SU1610248A1 - Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических деталей - Google Patents
Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических деталей Download PDFInfo
- Publication number
- SU1610248A1 SU1610248A1 SU884475693A SU4475693A SU1610248A1 SU 1610248 A1 SU1610248 A1 SU 1610248A1 SU 884475693 A SU884475693 A SU 884475693A SU 4475693 A SU4475693 A SU 4475693A SU 1610248 A1 SU1610248 A1 SU 1610248A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- compensator
- curvature
- lens system
- lens
- center
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл высокоточного контрол формы выпуклых поверхностей оптических деталей, в частности дл контрол формы сферических поверхностей линз и зеркал большого диаметра. Цель изобретени - расширение диапазона значений радиусов кривизны контролируемых поверхностей. Излучение, создаваемое источником 4, направл етс коллиматором 5, светоделителем 6 и объективом 7 к компенсатору 1, выполненному в виде афокальной системы с совмещенными главными плоскост ми. Компенсатор вносит в пучок сферическую аберрацию, величина которой определ етс рассто нием между точкой F1 и компенсатором. Компенсатор устанавливаетс в положение, соответствующее компенсации аберраций линзовой системы 2. Это положение контролируетс с помощью плоского зеркала 8 при выключении экрана 9 из хода лучей. После настройки интерферометра зеркало 8 перекрывают экраном 9, а деталь 13 устанавливают таким образом, чтобы центр Cк кривизны оказалс совмещенным с центром C кривизны эталонной поверхности 12. При контроле детали с другим значением радиуса кривизны поворачивают линзовую систему 2 на 180° вокруг оси, перпендикул рной оси пучка. При этом эталонной поверхностью станет поверхность 14. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к контрольно- измерительной технике и предназначено дл высокоточного контрол формы выпуклых поверхностей оптических деталей, в частности дл контрол формы сферических поверхностей линз и зеркал большого диаметра .
Цель изобретени - расширение диапазона значений радиусов кривизны контролируемых поверхностей.
На чертеже представлена схема интерферометра .
Интерферометр содержит компенсатор 1, линзовую систему 2, основание 3, на котором размещены источник 4 монохроматического когерентного излучени , коллиматор 5, светоделитель 6, фокусирующий объектив 7, плоское зеркало 8, непроз- рачный экран 9, регистратор 10 интферограмм, и шкалу 11. На чертеже прин ты следующие обозначени : F - задний фокус объектива 7; С - центр кривизны эталонной поверхности 12; Ск - центр кривизны контролируемой поверхности 13. Стрелками показаны направлени вращени линзовой системы и перемещени компенсатора и основани .
Интерферометр работает следующим образом.
Монохроматическое когерентное излучение , создаваемое источником 4, направл етс коллиматором 5, светоделителем 6 и фокусирующим объективом 7 к компенсатору 1. Задний фокус Р объектива 7 вл етс вершиной гомоцентрического пучка лучей и одновременно изображением точки С, построенным линзовой системой 2 в обратном ходе лучей. Так как компенсатор 1 представл ет собой афокальную систему с совмещенными главными плоскост ми, то параксиальные лучи, вышедшие из точки F и прошедшие через него, вновь фокусируютс в этой же точке F .
Компенсатор не измен ет числовой апертуры пучка, проход щего через него, а только вносит сферическую аберрацию, величина которой зависит от рассто им между точкой F и компенсатором. При перемещении компенсатора вдоль оси обеспечиваетс плавное изменение величины вносимых им аберраций , которые в двух определенных позици х компенсатора равны по величине и обратны по знаку аберраци м линзовой системы, установленной в обе рабочие позиции. Линзова система имеет две вогнутые эталонные поверхности 12 и 14, радиусы кривизны которых различны. Путем поворота линзовой системы в сторону контролируемой детали 13 обращают ту из эталонных поверхностей
радиус кривизны которой ближе по значению к радиусу кривизны контролируемой поверхности. В процессе работы интерферометра на эталонную и контролируемую поверхности должно обеспечиватьс нормальное падение лучей. Афокальный компенсатор и линзова система сообща преобразуют гомоцентрический пучок, выход щий из объектива 7, в гомоцентриче- 0 ский пучок, вершина которого совмещена с точками С и Ск, где располагаютс центры кривизны эталонной и контролируемой поверхностей 12 и 13 соответственно. Рабоча интерференционна картина образуетс в 5 результате взаимодействи волновых фронтов , отраженных от поверхностей 13 и 12, причем поверхность 12 выполн ет функцию пробного стекла, установленного на рассто нии . В случае разворота линзовой системы 0 на 180° функцию пробного стекла выполн ет эталонна поверхность 14.
Claims (2)
- После поворота линзовой системы необходимо установить основание 3 с расположенными на нем оптическими 5 элементами так, чтобы точки F и С были оптически сопр жены. Кроме того, необходимо установить компенсатор в позицию, соответствующую компенсации аберраций линзовой системы, ориентированной опре- 0 деленным образом, например так, как показано на чертеже. Эту операцию выполн ют путем перемещени основани 3 и компенсатора 1 вдоль оси линзовой системы 2. Критерием правильности установки служит 5 настроечна интерференционна картина, котора образуетс в результате взаимодействи волновых фронтов, отраженных от поверхности 12 линзовой системы и поверхности плоского зеркала 8 (экран 9 вы- 0 ключен из хода лучей, а контролируема деталь 13 отсутствует). Пор док настройки следующий. Компенсатор 1 устанавливают относительно линзовой системы 2 приблизительно в номинальное положение, которое 5 отмечено на шкале 11 механизма его перемещени . Затем перемещением основани 3 совмещают точку F с изображением центра С кривизны эталонной поверхности 12. В этом случае волновой фронт, прошедший через ком- 50 пенсатор и линзовую систему, отражаетс от поверхности 12 и, пройд вновь линзовую систему , компенсатор и фокусирующий объектив , вступает во взаимодействие с плоским фронтом, отраженным от зеркала 8. Так как 55 компенсатор установлен приблизительно, то фронт, взаимодействовавший с элементами 1, 2 и 7 системы, искажаетс недокомпенсиро- ванными аберраци ми системы,.состо щей из элементов 1 и
- 2. Настроечна интерференционна картина в этом случае имеет вид множества концентрических колец. Окончательную компенсацию аберраций выполн ют путем продольного перемещени компенсатора 1 при наблюдении динамики изменени вида настроечной интерференционной картины. При идеальной компенсации аберраций интерференционна картина должна иметь вид бесконечно широкой полосы (ровное поле). После выполнени настройки зеркало 8 перекрывают экраном 9, а деталь 13 устанавливают таким образом, чтобы центр Ск кривизны контролируемой поверхности оказалс совмещенным с центром С кривизны эталонной поверхности 12. В этом случае интерференционна картина, возникша при взаимодействии волновых фронтов, отраженных от поверхностей 13 и 12, несет информацию об ошибках поверхности 13. Формула изобретени Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических дета050лей, содержащий осветитель, выполненный в виде источника когерентного излучени и коллиматора,светоделитель, объектив, компенсатор , оптическую систему и регистратор интерферограмм, оптически св занный с объективом через светоделитель, отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона значений радиусов кривизны контролируемых поверхностей, компенсатор выполнен в виде афокальной оптической системы с совмещенными главными плоскост ми и установлен по ходу излучени после объектива с возможностью перемещени вдоль оптической оси, оптическа система выполнена в виде системы линз, перва и последн оптические поверхности которой выполнены эталонными и имеют различный радиус кривизны, и установлена по ходу излучени после компенсатора с возможностью ее поворота на угол 180° вокруг оси, перпендикул рно й ее оптической оси и проход щей через центр т жести.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884475693A SU1610248A1 (ru) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических деталей |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884475693A SU1610248A1 (ru) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических деталей |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1610248A1 true SU1610248A1 (ru) | 1990-11-30 |
Family
ID=21396256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884475693A SU1610248A1 (ru) | 1988-04-22 | 1988-04-22 | Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических деталей |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1610248A1 (ru) |
-
1988
- 1988-04-22 SU SU884475693A patent/SU1610248A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Лазерна измерительна техника в машине- и приборостроении: Обзор М 1759. М.; ЦНИИТИ, 1978, с. 28-29. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100225923B1 (ko) | 이상 회절 간섭계 | |
US5064286A (en) | Optical alignment system utilizing alignment spot produced by image inverter | |
JPH102714A (ja) | 測定方法及び装置 | |
US3614238A (en) | Bright line reticle apparatus and optical alignment methods | |
Burge | Fizeau interferometry for large convex surfaces | |
US4762417A (en) | Fringe scanning point diffraction interferometer by polarization | |
US5155554A (en) | Large aperture reflective interferometer for measuring convex spherical surfaces | |
US5410407A (en) | Large aperture mirror testing apparatus and method | |
SU1610248A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических деталей | |
US4673292A (en) | Monochromator with a telecentric dispersive lens | |
RU183150U1 (ru) | Автоколлимационное интерферометрическое устройство для центрировки оптических элементов | |
US3162713A (en) | Interference microscope | |
JP2003269909A (ja) | 形状測定方法及び干渉測定装置、並びに投影光学系の製造方法及び投影露光装置 | |
JPH06288735A (ja) | 放物面鏡形状検査測定用の位相共役干渉計 | |
US8743373B1 (en) | Metrology of optics with high aberrations | |
SU523274A1 (ru) | Интерферометр дл контрол качества выпуклых гиперболических зеркал телескопа кассегрена | |
EP0137976A2 (en) | Interferometric metrology of surface figures | |
JPS6365882B2 (ru) | ||
US2684011A (en) | Method and apparatus for measuring angles between reflecting surfaces | |
SU1067909A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических деталей | |
RU2803879C1 (ru) | Способ измерения формы внеосевой асферической оптической детали | |
SU1247809A1 (ru) | Компенсационный объектив дл контрол формы вогнутых асферических поверхностей | |
RU2114390C1 (ru) | Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых гиперболических зеркал | |
SU1343242A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы сферических поверхностей | |
RU2082992C1 (ru) | Космический телескоп (его варианты) |