SU1543276A1 - Компенсатор дл контрол формы асферических поверхностей - Google Patents
Компенсатор дл контрол формы асферических поверхностей Download PDFInfo
- Publication number
- SU1543276A1 SU1543276A1 SU884376080A SU4376080A SU1543276A1 SU 1543276 A1 SU1543276 A1 SU 1543276A1 SU 884376080 A SU884376080 A SU 884376080A SU 4376080 A SU4376080 A SU 4376080A SU 1543276 A1 SU1543276 A1 SU 1543276A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- compensator
- homocentric
- shape
- rays
- mirror
- Prior art date
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к оптическому контролю формы асферических зеркал и может быть использовано в интерферометрических схемах контрол . Цель изобретени - расширение функциональных возможностей за счет обеспечени контрол выпуклых поверхностей и расширение диапазона параметров контролируемых поверхностей. Гомоцентрический пучок лучей с центром в точке А преобразуетс плосковогнутой линзой 1 и положительным мениском 2 в негомоцентрический, лучи которого вл ютс нормал ми к теоретически точной поверхности 3 зеркала. После отражени от реальной поверхности 3 зеркала лучи снова проход т мениск 2 и линзу 2. Отличие выходного пучка от идеального гомоцентрического характеризует степень отклонени поверхности 3 от теоретически точной поверхности и регистрируетс в схеме лазерного интерферометра. Относительное отверстие контролируемых зеркал до 1:0,25. 1 ил.
Description
Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для контроля формы выпуклых асферических поверхностей вращения.
Цель изобретения - расширение функциональных возможностей за счет обеспечения контроля выпуклых поверхностей и рашсирение диапазона параметров контролируемых поверхностей,
На чертеже изображена принципиальная схема компенсатора.
Компенсатор содержит плоско-вогнутую линзу, положительную менисковую Динзу 2 и контролируемую поверхность 15
3. Буквой А обозначена вершина гомоцентрического пучка лучей; S - расстояние от точки А до первой поверхности компенсатора; Со - центр кривизны при вершине асферической по- ’ 20
Церхности; С - точка пересечения Крайней нормали с оптической осью; б - апертурный угол крайнего луча уходящего пучка.
Компенсатор работает следующим 25 рбразом.
Гомоцентрический пучок лучей, идущих из точечного монохроматического источника излучения, расположенного в точке А, ж преобразуется линзами 1 30 и 2 компенсатора в негомопентрический, лучи которого являются нормалями к контролируемой асферической поверхности 3. Отразившись от контролируемой поверхности, лучи вновь проходят через компенсатор, формируя гомоцентрический пучок лучей с центром в точке А.
Таким образом, компенсатор формирует волновой фронт, форма которого до совпадает с теоретической формой контролируемой поверхности. Это обеспечивается за счет указанной конструкции компенсатора и его установки относительно контролируемой поверхности и 45 источника излучения, описанных выше. При использовании компенсатора в системе лазерного интерферометра процесс контроля формы поверхности 3 сводится к анализу формы волнового фрон- gQ та, вышедшего из компенсатора. Если форма контролируемой поверхности не совпадает с теоретической, то отраженный волновой фронт получит искажения: фронт, вышедший из компенсатора в обратном ходе лучей, будет несферическим. Величину его несферичности определяют по виду интерференционной картины, возникающей fi результате взаимодействия данного волнового фронта с эталонным сферическим фронтом.
В конкретном примере выполнения компенсатор используется для контроля формы выпуклого зеркала, асферическая поверхность которого задана уравнением
..· х2 + у2 - 48z - 1,6z? = 0.
Остаточные волновые аберрации данной системы при автоколлимационном ходе лучей не превышают 1 мкм, что позволяет при идеально выполненной асферической поверхности наблюдать интерференционную картину в виде 1,5 колец, что на порядок ниже допуска на форму таких поверхностей.
В данном случае относительное отверстие контролируемой гиперболической поверхности D:f' = 1:0,25 и ее контроль известными способами и средствами с такой же точностью практически невозможен.
Claims (1)
- Формула изобретенияКомпенсатор для контроля формы асферических поверхностей, содержащий две линзы, вторая из которых положительный мениск, отличающийс я тем, что, с целью расширения функциональных возможностей за счет обеспечения контроля выпуклых поверхностей и расширения диапазона параметров контролируемых поверхностей, первая линза выполнена плосковогнутой и обращена вогнутой поверхностью к положительному мениску, при этом положительный мениск обращен вогнутостью к контролируемой поверхности.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884376080A SU1543276A1 (ru) | 1988-02-11 | 1988-02-11 | Компенсатор дл контрол формы асферических поверхностей |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU884376080A SU1543276A1 (ru) | 1988-02-11 | 1988-02-11 | Компенсатор дл контрол формы асферических поверхностей |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1543276A1 true SU1543276A1 (ru) | 1990-02-15 |
Family
ID=21354708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU884376080A SU1543276A1 (ru) | 1988-02-11 | 1988-02-11 | Компенсатор дл контрол формы асферических поверхностей |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1543276A1 (ru) |
-
1988
- 1988-02-11 SU SU884376080A patent/SU1543276A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР р 746232. кл. G 01 М 11/00, 1978. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4818108A (en) | Phase modulated ronchi testing of aspheric surfaces | |
| US6327038B1 (en) | Linear and angular retroreflecting interferometric alignment target | |
| US4762417A (en) | Fringe scanning point diffraction interferometer by polarization | |
| US4810895A (en) | Method and apparatus for optical examination of an object particularly by moire ray deflection mapping | |
| US4925301A (en) | Method and apparatus for sensing the figure of optical elements | |
| SU1543276A1 (ru) | Компенсатор дл контрол формы асферических поверхностей | |
| US4693604A (en) | Interference method and interferometer for testing the surface precision of a parabolic mirror | |
| US1824668A (en) | Interferometer for the testing of optical elements | |
| US4541720A (en) | Apparatus for phase symmetrizing optical wave fronts | |
| SU523274A1 (ru) | Интерферометр дл контрол качества выпуклых гиперболических зеркал телескопа кассегрена | |
| SU1153235A1 (ru) | Компенсатор дл контрол качества астрономических зеркал | |
| SU149910A1 (ru) | Интерферометр дл контрол качества поверхностей вращени второго пор дка | |
| RU2114390C1 (ru) | Интерферометр для контроля формы поверхности выпуклых гиперболических зеркал | |
| Kohno et al. | Figure measurement of concave mirror by fiber-grating Hartmann test | |
| RU203510U1 (ru) | Устройство юстировки двухзеркальной центрированной оптической системы | |
| RU2803879C1 (ru) | Способ измерения формы внеосевой асферической оптической детали | |
| EP0137976A2 (en) | Interferometric metrology of surface figures | |
| SU662795A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы астрономических зеркал | |
| RU2082992C1 (ru) | Космический телескоп (его варианты) | |
| SU1434305A1 (ru) | Компенсатор дл контрол формы параболических поверхностей вращени | |
| SU953451A2 (ru) | Интерферометр дл контрол вогнутых сферических поверхностей | |
| Meinel et al. | Optical testing of off-axis parabolic segments without auxiliary optical elements | |
| SU848999A1 (ru) | Интерферометр дл контрол изменени АбЕРРАций лиНз и зЕРКАл пРи зАКРЕплЕНиииХ B ОпРАВы | |
| SU143557A1 (ru) | Способ контрол точности обработки несферических поверхностей | |
| SU448347A1 (ru) | Интерферометр дл контрол формы поверхности выпуклых сферических поверхностей линз большого диаметра |