SU1421266A3 - Емкостный датчик давлени - Google Patents

Емкостный датчик давлени Download PDF

Info

Publication number
SU1421266A3
SU1421266A3 SU823453803A SU3453803A SU1421266A3 SU 1421266 A3 SU1421266 A3 SU 1421266A3 SU 823453803 A SU823453803 A SU 823453803A SU 3453803 A SU3453803 A SU 3453803A SU 1421266 A3 SU1421266 A3 SU 1421266A3
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
membrane
sensor
pressure
diaphragm
chamber
Prior art date
Application number
SU823453803A
Other languages
English (en)
Inventor
Леонард Фрик Роджер
Original Assignee
Роузмаунт Инк (Фирма)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Роузмаунт Инк (Фирма) filed Critical Роузмаунт Инк (Фирма)
Application granted granted Critical
Publication of SU1421266A3 publication Critical patent/SU1421266A3/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и позвол ет повысить точность устройства. Корпус чувствительного элемента 2, закрепленный в опорной раме 1, разделен электропровод щей мембраной 16 на две полости 14, 15. В этих полост х размещены изол ционные вставки 26, 28, подвод щие каналы которых сообщены трубопроводами 12, 13 с соответствук цими под- мембранными полост ми 10 и-11 разделительных узлов 3, 4, Кажда  вставка вьшолнена в формб усеченного конуса с углом 25-27° между образунздей конуса и плоскостью мембраны. Полости узлов 3, 4 и чувствительного элемента 2 заполнены жидкостью. Разность давлений , воздействук цих в направлени х 5, 6, приводит к отклонению мембраны 16 несоответственно, к изменению ем-- кости конденсатора, образованного мембраной 16 и сло ми 31 и 32 эле-,- ктропровод щего материала, 1 з,п. ф-лы, 6 ил.

Description

6t/ JO S3 SI
Изобретение относитс  к констру- ирова}шю изолирующих устройств и.узлов дл  установки диафрагм емкостных датчиков давлени .
Целью изобретени   вл етс  повышение точности.
На фиг. 1 представлен датчик давлни , сечение; на фиг. 2 - корпус чувствительного элемента датчика давле- :ШШ, сечение; на фиг. 3 - график результатов испытаний датчика, на котором покааана величина ошибки (в дес тых дол х процента) в зависимости -от перепада давлений дл  п ти разхшчных градуировок, с избыточным давлением 0-200 фунтов на кв. дюйм, или 0-140, 62 кг/см ; на фиг. 4 - График зависимости выходного рт- клонени  от переменного давлени  в линии и температуры; на фиг. 5 - схема чувствительного элемента при отсутствии статического давлени ; на фиг. 6 - схема деформации чувствительного элемента при наличии ста- тического давле1и  в линии.
Датчик содержит опорную раму 1, служащую опорой дл  корпуса 2 чувствительного элемента и двух разделительных узлов 3 и 4. Разделительны узлы 3 и 4 могут быть встроены в корпус либо располагатьс  на рассто нии от него. Стрелками 5 и 6 обозначены давлени  на входных отверсти х датчика , Диафрагь4Ы 7 и 8 разделительных узлов вьшолтнены гибкими (в лыми) с гофрами 9. Камеры 10 и 11 образованы мембранами 7 и 8 разделительных узло 3 и 4 и сообщены трубопроводами 12 и 13, выполненными, например, из не- ржавеклцей стали.
Корпус 2 чувствительного элемента изготовлен из нержавеющей стали, например аустенитной стали марки 304. Корпус 2 образован из двух одинаковы частей 14 и 15, раздапенных чувствительной мембраной 16, кра  которой зажаты. Мембрана 16 может деформироватьс  под воздействием перепада давлений, причем при сборке предва- рительно подвергаетс  определенному радиальному нат жению. В части корпуса 14 образована центральна  коническа  полость 17 с расточками 18 И 19, а в части корпуса 15 образован така  же центральна  коническа  по- лость 20 с расточками 21 и 22. В част х корпуса 14 и 15 имеютс  трубопроводы 23 и 24, сообщенные с трубопроводами 12 и 13 соответственно. Внутренние полости тгубопроводов 23 и 24 представл ют собой продолжени  полостей трубопроводов 12 и 13 и соединены с камерой 25, образованной в части 14 диафрагмой 16 и изол ционной вставкой 26, и с камерой 27, образованной в части 15 мембраной 16 и изол ционной вставкой 28 соответственно. Через отверстие 18 в камеру 17 введен электрический проводник 29, а через отверстие 21 в камеру 20 - такой же электрический проводник 30. Проводники 29 и 30 могут быть выполнены в виде металлических трубок, обеспечивающих заполнение чувствительных камер несжимаемой жидкостью.
Электропровод щие участки корпуса . 2 изолированы от металлических труб 12 и 13 и от проводников 29 и 30. Изолирующий непористый материал вставок 26 и 28, например стекло, керамика , заполн ет полости 17 и 20, растоки 18 и 21 и закреплен на поверхност х частей корпуса 14 и 15, образующих угол 9 по отношению к плоскости мембраны. Центральные части изол гщо ных вставок 26 и 28, центральные зоны частей корпуса 14 и 15, а также внутренние торцы проводников 29 и 30 обработаны на станке и образуют вогнутую рабочую поверхность дл  чувствительной мембраны 16, когда она отклон етс  под воздействием повышенного перепада давлений, воздействукг- щего на изолирукшще диафрагмы. Трубопроводы 23 и 24 могут быть выполнены в виде единого цилиндра или множества небольших щшиндров, чтобы создать опору дл  мембраны 16 в услови  воздействи  на нее повышенного давлени .
На внутреннюю поверхность изол ционных вставок 26 и 28 нанесен соот ветствуюнщй электропровод щий материал 31 и 3,2, образунщий электроды, обращенные в сторону чунствитапьной мембраны 16 и соединенные с проводниками 29 и 30. Чувствительна  мембрана 16 выполнена из электропроводного материала и закреплена между част ми корпуса 14 и 15 и сло ми 31 и 32 сплошным сварным швом 33, благодар  чему она образует с каждьм из этих слоев конденсатор с eMivO- ст ми С, и С соответственно. Про- воддагк соединен с корпусом 2, кото 14
рый имеет тот-же потенциал, что и мембрана 16. Мембрана 16 может быть также выполнена из непровод щего материала и иметь провод щий участок который будет общей пластиной дл  чувствительного конденсатора, а проводник в таком случае должен быть соединен с этим участком. Дл  воспри ти  усилий, возникающих от давлени  на корпус 2, предусмотрены болты 34.
По обе стороны от мембраны 16 в камеру, образованную частью корпуса 14 и диафрагмой 16, ив изолирующую камеру 10, а также в камеру, образованную частью корпуса 15 и мембраной 16, и в изолирующую камеру 11 через проводники 29 и 30 заливают несжимаемую жидкость, например силиконовое масло. Когда указанные полости заполнены, концы проводников 29 и 30 отрезают и присоедин ют к ним соответствующие электрические провода.
Расположение разделительных мембран 7 и 8 на удалении от чувствительной мембраны 16 показано условно , поскольку местоположение этих мембран не столь важно при условии, что они расположены так, что не подвержены воздействию нежелательных механических нагрузок кроме давлени  несжимаемой жидкости на корпус чувствительного элемента 2. Хот  корпус чувствительного элемента 2 предпочтительно крепитс  к опорной раме 1 неподвижно, он не об зательно должен быть закреплен жест- со, например сваркой. Как показано на фиг. 1, он удерживаетс  упругими полосами 35, вьшолненными из электрически непровод щего материала, изоли рук цими корпус 2 чувствительного элемента от рамы 1 и служащими опорой корпусу 2.
Вариант вьшолнени  датчика изображен на фиг. 2. Одинаковые элементы обозначены на фиг. 2 теми же цифрами , что и на фиг. 1, но с добавление буквы а. Здесь корпус 2а чувствительного элемента несколько шире, чем в устройстве, показанном на фиг. 1, а расточки 19а и22а несколько глубже, че расточки 19 и 22, и частично заполнены материалом 26а и 28а, образую- изол ционные вставки, Угол в представл ет собой угол между мемб- раной в ее среднем полйкении и коии0
5
0
266
ческой поверхностью, образующей полость в соответствующей части корпуса , заполненную материалом 26а и 28а. Этот угол определ ет эффективную глубину материала 26а, 28а (26, 28 в первом варианте выполнени ), служащего электродами конденсатора 31а и 32а (31 и 32). Хот  в обоих вариантах вьшолнени  устройства угол 0 составл ет примерно 45°, было установлено, что повьш1енную стабильность , а следовательно, и повьщ енную . точность обеспечивают углы в пределах 25. -70 . Угол может быть также измерен относительно центральной оси корпуса чувствительного элемента, котора  перпендикул рна плоскости мембраны 16а (16), в ее среднем положении .
Датчик работает следующим образом .
Когда камеры 10 и 11, трубопроводы 12 и 13 (включа  отверсти  трубо5 проводов 23 и 24) и камеры между электродами 30 и 32 и мембраной 16 заполнены несжимаемой жидкостью, разница между давлени ми, обозначенными стрелками 5 и 6, заставл ет мембрану 16 .отклон тьс  пропорционально перепад.у этих давлений, вследствие чего измен етс  емкость конденсатора, образованного этими сло ми и мембраной .
Од.ним из преимуществ датчика  в л етс  уменьшение воздействи  статического давлени  на диапазон давлений датчика.
Если толщина изолирукнцего материала мала или если поверхность раздела изолирующий материал - металл по существу параллельна опорной оси мембраны (перпендикул рна плоскости мембраны), то такие поверхности раздела (св зи) 36 и 37 (Зба и 37а) подвергаютс  воздействию срезающих усилий , которые могут вызвать ослабле- ние или разрущение св зи. Если усилие прикладываетс  к нарушенной св зи, оно вызывает смещение изолирукнцего материала в направлении от мембраны, Смещение изолирующего материала создает нежелательные изменени  емкости, не представл ющие собой величину определ емого давлени , что приводит к увеличению ошибки, вызьшаемой статическим давлением в линии. Если датчик выполнен согласно изобретению, то св аи 36 и 37 (Зба и 37а) испыты0
0
5
0
5
15
51421266
вают в основном сжимающие нагрузки   гораздо меньше подвержены разрушению .
При удалении изол торов от боковой стороны корпуса чувствительного эле- мента пространство конденсаторной пластины по обеим сторонам мембраны 16 увеличиваетс  с увеличением статичес- к ого давлени  в линии 5 и 6 благодар  ,„ небольшому наружному перемещению участков чувствительного элемента по отношению к чувствительной мембране. Такое увеличение статического давлени  в линии заставл ет также части 14 и 15 перекоситьс  относительно их соответствующих нейтральных осей (на фиг. 2, 3 и 6 эти оси обозначены Х-Х), в то врем  как обе части корпуса стрем тс  сжатьс  близ мембраны, как показано стрелками 38 на фиг. 2 и 6 (на фиг. 5 и 6 изолирующий материал не обозначен, на них показаны конфигурации, получаемьте на фиг. 1 и 2). Такой перекос может бьггь лучше всего объ снен фиг. 5, где показаны части 14 и 15 в ненагруженном состо нии , и на фиг. 6, где показано состо ние перекоса, вызьшаемое увеличением статического давлени  в линии . При увеличении статического давлени  в линии конденсаторное пространство d (фиг. 5) между мембраной 16 и конденсаторными пластинами 31 и 32 увеличиваетс  до размера d
О
СН + CL
Xf
X/
f.
где О - выходной сигнал емкостн  чейки перепада давлени емкость большего из Конд
СН CL X . On
саторов С или С2; емкость меньшего из конд саторов С, или отклонение мембраны под ствием перепада давлени конденсаторное простран при нулевом статическом лении; нат жение диафрагмы.
20
25
30
Упрощенно формула выгл дит т
О - Х.сГ,
Если датчик выполнен согласн бретению, при увеличении статич кого давлени  в линии конденсат пространство X о увеличиваетс  д мера XQ , Вьиержива  произведени практически равным , по существу посто нным, можно о спечить величину отклонени  мемб X р в зависимости от приложенно к ней перепада давлени , в резул величина выходного сигнала О не дет зависеть от величины статич го дaвлeFШ  в линии.
Бьши проведены испытани  под действием действительных рабочих
(фиг. 6), однако такое увеличение не V 35 грузок датчика, выполненного по
изобретению согласно фиг. 1 и 2 но с цилиндрической поверхност раздела металл-изолирующий мате поверхность раздела бьта сначал
представл ет собой увеличение перепада давлени . В соответствии с изобретением увеличение емкости, вызванное подобным перекосом, в значительной степени компенсируетс  уменьшением радиального нат жени  мембраны, вызьшаемым сжатием близ нее. Радиальное предварительное нат жение, приложенное к мембране в момент изготовлени  датчика, а также соответствующий подбор . размеров и материалов обеспечивают уменьшение эластичности мембраны с увеличением статического давлени . Прелпочтительнь1м материалом дл  мембраны  вл етс  высокопрочна  сталь с высокой упругостью . Указанна  компенсаци  имеет место при всех величинах стати50 не вли ет на результаты испытани . В остальном испытываемое устройство бьпо выполнено согласно изобретению, т.е. разделительные узщ,: 3 и 4 были отделены от корпуса 2 чувствительческого давлени  в линии, однако наиболее  рко она про вл етс  при давле- 55 ного элемента, имелась компенсапик ни х выше 500 фунтов на кв. дюйм искривлени  корпуса 2 чувствительно- (-vSS кг/см ).го элемента и предварительное нат Приведенное ниже уравнение по сн ет компенсацию статического давлени :
жение мембраны 16. Толщина мембраны 16 составл ла 1,8 мт1л (1 мил
СН + CL
Xf
X/
f.
где О - выходной сигнал емкостной  чейки перепада давлени ; емкость большего из КонденСН
CL X . On
саторов С или С2; емкость меньшего из конденсаторов С, или отклонение мембраны под действием перепада давлени ; конденсаторное пространство при нулевом статическом давлении; нат жение диафрагмы.
Упрощенно формула выгл дит так:
О - Х.сГ,
Если датчик выполнен согласно изобретению , при увеличении статического давлени  в линии конденсаторное пространство X о увеличиваетс  до размера XQ , Вьиержива  произведение практически равным , т.е., по существу посто нным, можно обет спечить величину отклонени  мембраны X р в зависимости от приложенного к ней перепада давлени , в результате величина выходного сигнала О не будет зависеть от величины статического дaвлeFШ  в линии.
Бьши проведены испытани  под воздействием действительных рабочих на
грузок датчика, выполненного по
изобретению согласно фиг. 1 и 2, но с цилиндрической поверхностью раздела металл-изолирующий материал поверхность раздела бьта сначала
выполнена перпендикул рной мембране 16 ( 9 равен 90), затем практически параллельной ( б равен нулю). Причем испытьшаемый датчик не имел пре,цложек- ной, сглмаемой св зи, а имел известную срезаемую св зь. Улучшенна  св зь помогает избежать разрушени  соединени , но поскольку быпо устанокпе- но, что такое разрушение не происходит , следовательно, вид соединени 
не вли ет на результаты испытани . В остальном испытываемое устройство бьпо выполнено согласно изобретению, т.е. разделительные узщ,: 3 и 4 были отделены от корпуса 2 чувствительного элемента, имелась компенсапик искривлени  корпуса 2 чувствительно- го элемента и предварительное нат ного элемента, имелась компенсапик искривлени  корпуса 2 чувствительно- го элемента и предварительное нат жение мембраны 16. Толщина мембраны 16 составл ла 1,8 мт1л (1 мил 71А212668
25,4 мкм), диаметр - примерно Бьшо проведено также испытание 1,12 дюйма ( - 28,5 мм), предваритель- дл  демонстрации улучшенного ненов нат жение составило 105000 фунтов на кв. дюйм (7380 кг/см), хот  могут, - быть использованы величины предварительного нат жени  от 50000 до 200000 фунтов на кв. дюйм (3515-14062 кг/см), на фиг. 4. Иeкo meнcиpoвaнным воз- мембрана была вьпюлнена из материала действием  вл етс  ошибка, имеюща  Nispan С, материалом изол ционных вставок 27 и 28 (27аи 28а) бьшо стекло марки Оуэнс 0120 (Owens) корпус чувствительного элемента бып выполнен из материала Nispan С и имел 1,250
компенсированного теьшературного воздействи  по отношению к стабильности выходного сигнала предлагаемого датчика , результаты которого приведены
фиг. 4 представл ет отдельньш отсчет. Было вьтолнено несколько таких отсчетов , из них на фиг. 4 показано
,0 место до какой-либо компенсации электрического сигнала. Компенсаци  электрического сигнала обычно используетс  дл  уменьшени  дальнейших ошибок , однако наиболее предпочтительно дюйма в диаметре (/- 31,75 мм). Кон- 15 иметь устройство с малой некомпенси- денсаторное пространство Х было рав- рованной ошибкой. Кажда  крива  на Ho-wO,0075 дюйма (0,19 мм) в центре. Изол торы 3 и 4 были вьшолнены из нержавеющей стали марки 304SST, имели примерно 3 дюйма (76,2 мм) в дна- 20 семь. Кривые показьгоают, что предложенна  конфигураци  обеспечивает превосходную стабильность и весьма низкий тепловой гистерезис,поскольку отклонение значени  емкости дл  25 трех отсчетов при 100 F составило менее ,18%. Тепловой гистерезис имеет отношен 1е к разнице результатов отсчетов при заданной температуре в зависимости от того, приход т к
метре и были соединены с камерами 25 и 27 при помощи трубопроводов 12 и 13 из нержавеющей стальной трубки с наружным диаметром 1/16 дюйма ( 1,46 мм) .
Результаты испытаний приведены на фиг. 3.
Как видно из графика, все отклонени  испытательных точек под воздействием статического давлени  в линли ЗО этому отсчету от более высокой или не превышали 0,2% в диапазоне перепа- низкой температуры.
Бьшо проведено также испытание дл  демонстрации улучшенного нена фиг. 4. Иeкo meнcиpoвaнным воз- действием  вл етс  ошибка, имеюща 
компенсированного теьшературного воздействи  по отношению к стабильности выходного сигнала предлагаемого датчика , результаты которого приведены
фиг. 4 представл ет отдельньш отсчет. Было вьтолнено несколько таких отсчетов , из них на фиг. 4 показано
место до какой-либо компенсации электрического сигнала. Компенсаци  электрического сигнала обычно используетс  дл  уменьшени  дальнейших ошибок , однако наиболее предпочтительно иметь устройство с малой некомпенси- рованной ошибкой. Кажда  крива  на семь. Кривые показьгоают, что предложенна  конфигураци  обеспечивает превосходную стабильность и весьма низкий тепловой гистерезис,поскольку отклонение значени  емкости дл  трех отсчетов при 100 F составило менее ,18%. Тепловой гистерезис имеет отношен 1е к разнице результатов отсчетов при заданной температуре в зависимости от того, приход т к
да давлени  от О до 240 дюймов вод ного столба (0-609 см), в диапазоне статического давлени  от О до 2000 фунтов на кв. дюйм (0-140 кг/см). Крив ые на фиг. 3 имеют очень небольшой механический гистерезис. Такой механический гистерезис не  вл етс  необычным и зависит не только от мгновенного значени  нагрузки, вызванной перепадом давлени  и статическим давлением в линии, но и от предварительной величины такой нагрузки. Преимуществом изобретени   вл етс  то, что нулевой запас устойчивости датчика, который измен етс  в зависимости от температуры и статического давлени , улучшен благодар  тому, что корпуса изол торов не имею непосредственного контакта с корпусо чувствительного элемента. В непосредственном контакте с корпусом чувствительного элемента наход тс  лишь трубки, образующ11е трубопроводы 12 и 13, но эти трубки могут воспринимать нагрузки на изол торы и их изменени  вследствие изменени  температуры без передачи этих усилий на корпус 2 чувствительного элемента.
Бьшо успешно испытано множество образцов, изготовленных .из различных материалов и имевших разные размеры, при этом в опытах использовали мембраны , изготовленные из стали марки Havar фирьы Хэмилтон Индрастриз (Hamilton Industries) или сплава марки Elgiloy фирмы Элджилой Ко (Elgiloy Со.), в качестве материала изол ционных вставок 26 н 28 примен ли щелочное свинцовое стекло, а именно стекло марки Корнинг 1990, а корпус чувствительного элемента изготавливали из аустенитной нержавеющей стали.
Кроме того, преимуществом данного изобретегш   вл етс  то, что поскольку мембраны 7 и 8 разделительных узлов 3 и 4 соответственно, не составл ют часть корпуса чувствительного элемента, размер их может быть больше размера этого корпуса. Такое увеличение размера может быть весьма важным дл  снижени  вли ни  температуры и прочих факторов на работу датчика.
Так как корпус 2 чувствительного элемента изолирован от опорной рамы
1, упрощаетс  схема датчика, когда требуетс  электрическа  изол ци , что происходит достаточно часто в промьштенных измерени х давлени .
формула изобретени

Claims (2)

1. Емкостный датчик давлени , содержащий корпус чувствительного элемента , имеющий центральную камеру, разделенную электропроводной мембраной на две полости, в каждой из которых выполнена изол ционна  вставка с подвод щим каналом по центру и вог- ;нутой рабочей поверхностью, снабженной электродом, обращенным в сторону мембраны, и два разделительных узла ;с разделительными мембранами, причем полости узлов и чувствительного элемента заполнены жидкостью, отличающийс  тем, что, с це-
1421266 О
льюповышени  точности, он снабжен опор нойрамой, внутри которой закреплен кор- , пус чувствительного элемента, а под- g мембранна  полость каждого разделительного узла соединена с соответствующим подвод щим каналом изол ционной вставки при помощи введенного в датчик трубопровода, при этом кажда  10 изол ционна  вставка вьтопнена в форме усеченного конуса с углом 25- 27 между образующей конуса и плоскостью мембраны.
2. Датчик по п. 1, отличающийс  тем, что в. нем два разделительных узла удалены на рассто ние от корпуса чувствительного элемента и прикреплены к раме, при этом корпус, чувствительного элемента закреплен внутри рамы с помощью неэлектропроводных опор.
Ж1
Фи.2.
tf%
fo
50
too
a/f.J
110 ifo
о tfSI6 fWOPlIf
a MoPSJf ieooKie д leaafsif
rOO 150 Фие.
ZOO
250
Ifi
38
fff
SU823453803A 1980-10-06 1982-06-04 Емкостный датчик давлени SU1421266A3 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/194,758 US4370890A (en) 1980-10-06 1980-10-06 Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1421266A3 true SU1421266A3 (ru) 1988-08-30

Family

ID=22718806

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823453803A SU1421266A3 (ru) 1980-10-06 1982-06-04 Емкостный датчик давлени

Country Status (18)

Country Link
US (1) US4370890A (ru)
EP (1) EP0061488B1 (ru)
JP (1) JPH046889B2 (ru)
AU (1) AU551166B2 (ru)
BR (1) BR8108830A (ru)
CA (1) CA1164240A (ru)
FI (1) FI72809C (ru)
GB (1) GB2099587B (ru)
HK (1) HK89885A (ru)
HU (1) HU190799B (ru)
IL (1) IL64028A (ru)
IN (1) IN154802B (ru)
IT (1) IT1193784B (ru)
MX (1) MX154961A (ru)
SU (1) SU1421266A3 (ru)
WO (1) WO1982001250A1 (ru)
YU (1) YU41525B (ru)
ZA (1) ZA816837B (ru)

Families Citing this family (99)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3213320A1 (de) * 1982-04-06 1983-10-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Druck- oder druckdifferenz-messumformer
US4425799A (en) * 1982-06-03 1984-01-17 Kavlico Corporation Liquid capacitance pressure transducer technique
USRE33518E (en) * 1983-04-29 1991-01-15 Baxter International, Inc. Pressure transducer assembly
US4539998A (en) * 1983-04-29 1985-09-10 American Hospital Supply Corporation Pressure transducer assembly
US4502003A (en) * 1983-07-29 1985-02-26 Rosemount Inc. Two wire circuit having an adjustable span
US4612812A (en) * 1985-08-15 1986-09-23 Rosemount Inc. Stress reducing stop for unstretched pressure sensing diaphragm
JPH043244Y2 (ru) * 1985-11-29 1992-02-03
IL82194A (en) * 1986-04-23 1992-03-29 Rosemount Inc Measurement circuit
US5083091A (en) * 1986-04-23 1992-01-21 Rosemount, Inc. Charged balanced feedback measurement circuit
US4791352A (en) * 1986-07-17 1988-12-13 Rosemount Inc. Transmitter with vernier measurement
US4745810A (en) * 1986-09-15 1988-05-24 Rosemount Inc. Flangeless transmitter coupling to a flange adapter union
US4798089A (en) * 1987-03-12 1989-01-17 Rosemount Inc. Isolator apparatus
US4760859A (en) * 1987-05-18 1988-08-02 Rosemount Inc. Modular pressure instrument
US4833922A (en) * 1987-06-01 1989-05-30 Rosemount Inc. Modular transmitter
US4818994A (en) * 1987-10-22 1989-04-04 Rosemount Inc. Transmitter with internal serial bus
US5062302A (en) * 1988-04-29 1991-11-05 Schlumberger Industries, Inc. Laminated semiconductor sensor with overpressure protection
JP2639159B2 (ja) * 1989-04-14 1997-08-06 富士電機株式会社 静電容量式差圧検出器
US4949581A (en) * 1989-06-15 1990-08-21 Rosemount Inc. Extended measurement capability transmitter having shared overpressure protection means
US5022270A (en) * 1989-06-15 1991-06-11 Rosemount Inc. Extended measurement capability transmitter having shared overpressure protection means
US4970898A (en) * 1989-09-20 1990-11-20 Rosemount Inc. Pressure transmitter with flame isolating plug
US5134887A (en) * 1989-09-22 1992-08-04 Bell Robert L Pressure sensors
DE3933512A1 (de) * 1989-10-06 1991-04-18 Endress Hauser Gmbh Co Differenzdruckmessgeraet
US5163326A (en) * 1991-03-08 1992-11-17 Rosemount Inc. Line pressure compensator for a pressure transducer
US5184514A (en) * 1991-07-12 1993-02-09 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
US5230248A (en) * 1991-07-12 1993-07-27 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
US5237285A (en) * 1991-10-18 1993-08-17 Rosemount Inc. Method and apparatus for capacitance temperature compensation and manufacturability in a dual plate capacitive pressure transmitter
US5271277A (en) * 1991-12-23 1993-12-21 The Boc Group, Inc. Capacitance pressure transducer
US5329818A (en) * 1992-05-28 1994-07-19 Rosemount Inc. Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition
US5596147A (en) * 1995-11-17 1997-01-21 Wilda; Douglas W. Coplanar pressure sensor mounting for remote sensor
US5757608A (en) * 1996-01-25 1998-05-26 Alliedsignal Inc. Compensated pressure transducer
US5741975A (en) * 1996-07-31 1998-04-21 Motorola, Inc. Media isolated differential pressure sensor and fluid injection method
US6047244A (en) * 1997-12-05 2000-04-04 Rosemount Inc. Multiple range transition method and apparatus for process control sensors
US6038961A (en) * 1998-03-02 2000-03-21 Rosemount Inc. Flush mount remote seal
US6295875B1 (en) 1999-05-14 2001-10-02 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
US6328647B1 (en) 2000-04-06 2001-12-11 Jon E. Traudt Pressure differential detecting system, and method of use
DE10050300A1 (de) * 2000-10-10 2002-04-11 Endress Hauser Gmbh Co Druckmeßzelle
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
FR2830612B1 (fr) * 2001-10-10 2004-01-23 Bosch Gmbh Robert Capteur de course, servomoteur pneumatique integrant ce capteur et installation de freinage comportant un tel servomoteur
DE10152681A1 (de) * 2001-10-19 2003-04-30 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmittler mit Trennmembran und Verfahren zu dessen Herstellung
JP4163880B2 (ja) * 2002-03-05 2008-10-08 長野計器株式会社 差圧検出器、その差圧検出器を備えた流量計および液面計
US6839546B2 (en) 2002-04-22 2005-01-04 Rosemount Inc. Process transmitter with wireless communication link
US6843133B2 (en) * 2002-06-18 2005-01-18 Rosemount, Inc. Capacitive pressure transmitter
DE10229703A1 (de) * 2002-07-02 2004-01-15 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Kapazitiver Drucksensor
DE102004006383A1 (de) * 2004-02-09 2005-08-25 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran
CN1954138B (zh) * 2004-03-02 2011-02-16 罗斯蒙德公司 具有改进电能产生的过程设备
DE102004017580A1 (de) * 2004-04-07 2005-12-01 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdruckaufnehmer mit dynamischem Überlastschutz
US8538560B2 (en) * 2004-04-29 2013-09-17 Rosemount Inc. Wireless power and communication unit for process field devices
US8145180B2 (en) * 2004-05-21 2012-03-27 Rosemount Inc. Power generation for process devices
US7262693B2 (en) * 2004-06-28 2007-08-28 Rosemount Inc. Process field device with radio frequency communication
US8160535B2 (en) * 2004-06-28 2012-04-17 Rosemount Inc. RF adapter for field device
US7213464B1 (en) 2004-10-25 2007-05-08 Traudt Jon E System for visually monitoring pressure in an enclosed space
US7680460B2 (en) * 2005-01-03 2010-03-16 Rosemount Inc. Wireless process field device diagnostics
US9184364B2 (en) * 2005-03-02 2015-11-10 Rosemount Inc. Pipeline thermoelectric generator assembly
US7334484B2 (en) * 2005-05-27 2008-02-26 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor
CA2602758C (en) 2005-06-27 2016-03-15 Rosemount Inc. Field device with dynamically adjustable power consumption radio frequency communication
US7379792B2 (en) * 2005-09-29 2008-05-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter with acoustic pressure sensor
US7415886B2 (en) * 2005-12-20 2008-08-26 Rosemount Inc. Pressure sensor with deflectable diaphragm
US7308830B2 (en) * 2006-01-26 2007-12-18 Rosemount Inc. Pressure sensor fault detection
US7913566B2 (en) 2006-05-23 2011-03-29 Rosemount Inc. Industrial process device utilizing magnetic induction
US8188359B2 (en) * 2006-09-28 2012-05-29 Rosemount Inc. Thermoelectric generator assembly for field process devices
ITMI20070191A1 (it) * 2007-02-05 2008-08-06 Abb Service Srl Trasmettitore di pressione per il rilevamento di una variabile relativa ad un fluido di processo.
US8898036B2 (en) * 2007-08-06 2014-11-25 Rosemount Inc. Process variable transmitter with acceleration sensor
US7624642B2 (en) * 2007-09-20 2009-12-01 Rosemount Inc. Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter
US7484416B1 (en) 2007-10-15 2009-02-03 Rosemount Inc. Process control transmitter with vibration sensor
US7578194B1 (en) * 2008-02-11 2009-08-25 Sensata Technologies, Inc. Differential fluid pressure measurement apparatus
US8191424B2 (en) * 2008-02-14 2012-06-05 Kulite Semiconductor Products, Inc. Low differential pressure transducer
US7743662B2 (en) * 2008-02-14 2010-06-29 Kulite Semiconductor Products, Inc. Low differential pressure transducer
WO2009154748A2 (en) * 2008-06-17 2009-12-23 Rosemount Inc. Rf adapter for field device with low voltage intrinsic safety clamping
US8250924B2 (en) 2008-04-22 2012-08-28 Rosemount Inc. Industrial process device utilizing piezoelectric transducer
CN102067048B (zh) 2008-06-17 2017-03-08 罗斯蒙特公司 用于具有可变压降的现场设备的rf适配器
US8929948B2 (en) * 2008-06-17 2015-01-06 Rosemount Inc. Wireless communication adapter for field devices
US8694060B2 (en) * 2008-06-17 2014-04-08 Rosemount Inc. Form factor and electromagnetic interference protection for process device wireless adapters
JP5232299B2 (ja) * 2008-06-17 2013-07-10 ローズマウント インコーポレイテッド ループ電流バイパスを備えるフィールド機器のためのｒｆアダプター
US7977924B2 (en) * 2008-11-03 2011-07-12 Rosemount Inc. Industrial process power scavenging device and method of deriving process device power from an industrial process
US7954383B2 (en) * 2008-12-03 2011-06-07 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using fill tube
US7870791B2 (en) * 2008-12-03 2011-01-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal
US8327713B2 (en) 2008-12-03 2012-12-11 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using magnetic property
US9674976B2 (en) * 2009-06-16 2017-06-06 Rosemount Inc. Wireless process communication adapter with improved encapsulation
US8626087B2 (en) * 2009-06-16 2014-01-07 Rosemount Inc. Wire harness for field devices used in a hazardous locations
US8371175B2 (en) * 2009-10-01 2013-02-12 Rosemount Inc. Pressure transmitter with pressure sensor mount
US8429978B2 (en) 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor
US8234927B2 (en) 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement
US8132464B2 (en) 2010-07-12 2012-03-13 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors
US10761524B2 (en) 2010-08-12 2020-09-01 Rosemount Inc. Wireless adapter with process diagnostics
US8384915B2 (en) 2010-10-01 2013-02-26 Rosemount Inc. Test block for use in a welding process
US9310794B2 (en) 2011-10-27 2016-04-12 Rosemount Inc. Power supply for industrial process field device
DE102012103585A1 (de) * 2012-04-24 2013-10-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Druckmessaufnehmer
US8752433B2 (en) 2012-06-19 2014-06-17 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor
US9048901B2 (en) 2013-03-15 2015-06-02 Rosemount Inc. Wireless interface within transmitter
RU2545085C1 (ru) * 2013-11-12 2015-03-27 Закрытое акционерное общество Промышленная группа "Метран" Конструкция бипланарного емкостного датчика перепада давления
US9316553B2 (en) * 2014-03-26 2016-04-19 Rosemount Inc. Span line pressure effect compensation for diaphragm pressure sensor
US9857259B2 (en) * 2014-09-30 2018-01-02 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with high pressure capabilities
DE102015117222A1 (de) * 2014-10-10 2016-04-14 Steering Solutions Ip Holding Corporation Zweikanaliger Drucksensor mit einer einzigen Verbindungsöffnung
DE102014119407A1 (de) 2014-12-22 2016-06-23 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdrucksensor und Differenzdruckmessaufnehmer mit einem solchen Differenzdrucksensor
US10126193B2 (en) 2016-01-19 2018-11-13 Rosemount Aerospace Inc. Compact or miniature high temperature differential pressure sensor capsule
CN107976279A (zh) * 2017-12-15 2018-05-01 北京创昱科技有限公司 一种真空测量装置
WO2019222598A1 (en) 2018-05-17 2019-11-21 Rosemount Inc. Measuring element and measuring device comprising the same
US11041773B2 (en) * 2019-03-28 2021-06-22 Rosemount Inc. Sensor body cell of a pressure sensor
CN110553763B (zh) * 2019-09-10 2021-03-19 广州敏华仪器仪表有限公司 一种共平面悬浮式全隔离传感器

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1582509A (ru) * 1968-05-17 1969-10-03
US3618390A (en) * 1969-10-27 1971-11-09 Rosemount Eng Co Ltd Differential pressure transducer
DE2230264A1 (de) * 1972-06-21 1974-01-31 Union Rheinische Braunkohlen Verfahren zur herstellung von aromatischen oder hydroaromatischen hydroperoxiden
US3793885A (en) * 1972-09-05 1974-02-26 Rosemount Inc Diaphrgam construction for differential pressure transducer
JPS5617720B2 (ru) * 1972-12-25 1981-04-23
US3869920A (en) * 1973-04-13 1975-03-11 Yokogawa Electric Works Ltd Symmetrically arranged, deflection type differential pressure transmitters for controlling industrial systems and processes
US3808480A (en) * 1973-04-16 1974-04-30 Bunker Ramo Capacitive pressure transducer
SU506223A1 (ru) * 1973-06-18 1982-09-30 Государственный научно-исследовательский институт теплоэнергетического приборостроения Мембранный блок
SU506224A1 (ru) * 1973-06-18 1982-09-30 Государственный научно-исследовательский институт теплоэнергетического приборостроения Измерительный преобразователь разности давлений
US3926055A (en) * 1973-10-01 1975-12-16 Itt Mechanical span and zero adjustment apparatus for pressure transducers
JPS5232368Y2 (ru) * 1973-10-30 1977-07-23
US3999435A (en) * 1975-04-24 1976-12-28 Fischer & Porter Co. Differential pressure transmitter
US4111056A (en) * 1975-06-30 1978-09-05 Michael Mastromatteo Control devices
JPS5232368U (ru) * 1975-08-29 1977-03-07
JPS5233575A (en) * 1975-09-09 1977-03-14 Fuji Electric Co Ltd Differential pressure measuring device
US3994166A (en) * 1975-11-10 1976-11-30 Warren Automatic Tool Co. Apparatus for eliminating differential pressure surges
CA1077294A (en) * 1976-05-03 1980-05-13 Honeywell Inc. Pressure transmitter with simplified pressure sensing head
US4072058A (en) * 1976-05-03 1978-02-07 Honeywell Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor protection
JPS5829862B2 (ja) * 1977-05-14 1983-06-25 富士電機株式会社 圧力測定装置
JPS5831855B2 (ja) * 1977-06-22 1983-07-08 富士電機株式会社 圧力測定装置の製造方法
DE2824489C2 (de) * 1978-06-03 1982-06-16 Reifen-Ihle GmbH, 8870 Günzburg Rohrverbinder für einander kreuzende Rohre
DE2827274A1 (de) * 1978-06-21 1980-01-10 Fuji Electric Co Ltd Druckmessvorrichtung
US4218925A (en) * 1979-06-27 1980-08-26 Honeywell Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor protection
US4285244A (en) * 1980-02-13 1981-08-25 Honeywell Inc. Non-symmetrical overload protection device for differential pressure transmitter

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент СМ № 3618390, кл. G 01 L 9/12, 1969, *

Also Published As

Publication number Publication date
EP0061488A1 (en) 1982-10-06
FI821976A0 (fi) 1982-06-03
JPH046889B2 (ru) 1992-02-07
EP0061488B1 (en) 1986-12-17
ZA816837B (en) 1982-09-29
AU551166B2 (en) 1986-04-17
AU7720381A (en) 1982-04-28
US4370890A (en) 1983-02-01
IT8149423A0 (it) 1981-10-05
GB2099587A (en) 1982-12-08
GB2099587B (en) 1984-11-07
YU238981A (en) 1983-12-31
FI72809C (fi) 1987-07-10
YU41525B (en) 1987-08-31
BR8108830A (pt) 1982-08-24
MX154961A (es) 1988-01-14
WO1982001250A1 (en) 1982-04-15
EP0061488A4 (en) 1983-10-04
IT1193784B (it) 1988-08-24
CA1164240A (en) 1984-03-27
IL64028A (en) 1987-12-20
FI72809B (fi) 1987-03-31
HK89885A (en) 1985-11-22
JPS57501494A (ru) 1982-08-19
HU190799B (en) 1986-11-28
IN154802B (ru) 1984-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1421266A3 (ru) Емкостный датчик давлени
US4364276A (en) Differential pressure measuring transducer assembly
US4424713A (en) Silicon diaphragm capacitive pressure transducer
US3618390A (en) Differential pressure transducer
US4168518A (en) Capacitor transducer
EP0041886B1 (en) Capacitive pressure transducer
US4507973A (en) Housing for capacitive pressure sensor
US5165281A (en) High pressure capacitive transducer
KR0137940B1 (ko) 용량성 압력차 감지기 및 이것을 과압으로부터 보호하는 방법
US4603371A (en) Capacitive sensing cell made of brittle material
US4903532A (en) Electrostatic capacity type pressure detector
CA1057969A (en) Differential pressure sensor
US4072057A (en) Differential pressure cell with diaphragm tension and overpressure protection
US4741214A (en) Capacitive transducer with static compensation
KR900001465B1 (ko) 분리된 감지 격막을 가진 용량성 압력 변환기
JP2546013B2 (ja) 静電容量式差圧検出器
JPS5850300Y2 (ja) 圧力伝送器
NO156188B (no) Kapasitiv trykktransduktor.
RU2263291C2 (ru) Емкостный датчик давления
JPS5842943A (ja) 差動容量式圧力・差圧計
FI89982C (fi) Kapacitiv absoluttryckomvandlare
JPH08219919A (ja) 差圧検出装置
JPS62238432A (ja) 差圧伝送器
JPH04319636A (ja) 差圧伝送器
JPH01320442A (ja) 圧力測定装置