HU190799B - Capacitive pressure transducer with insulated sensing diaphragm - Google Patents

Capacitive pressure transducer with insulated sensing diaphragm Download PDF

Info

Publication number
HU190799B
HU190799B HU821844A HU184482A HU190799B HU 190799 B HU190799 B HU 190799B HU 821844 A HU821844 A HU 821844A HU 184482 A HU184482 A HU 184482A HU 190799 B HU190799 B HU 190799B
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
sensor
housing
diaphragm
insulating
capacitive pressure
Prior art date
Application number
HU821844A
Other languages
English (en)
Inventor
Roger L Frick
Original Assignee
Rosemount Inc,Us
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rosemount Inc,Us filed Critical Rosemount Inc,Us
Publication of HU190799B publication Critical patent/HU190799B/hu

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
    • G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
    • G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

A találmány tárgya kapacitív nyomásátalakító átalakítóházzal, ebbe beszerelt, központi üreggel ellátott érzékelőházzal, vékony, hajlítható lemezből lévő membránnal. A membrán az érzékelőház központi üregét két központi kamrára osztja és előfeszítés alatt áll, nyomás hatására meghajlítható és legalább egy része elektromosan vezető, ilymódon az első kondenzátorlemezt képezi. A központi kamráknak konkáv felülete van, elektromosan vezető felületrésszel, amely térközzel el van választva a membrántól és a változtatható érzékelő kondenzátorok második lemezeit képezi. Van továbbá egy pár szigetelőház, benne elhelyezett szigetelő kamrával és vannak átvezetőcsövek, amelyek összekötik az egyes szigetelő kamrákat az elkülönített központi kamrákkal, végül van egy összekötő szerelvény, melynek segítségével különböző nyomások adhatók az egyes szigetelő kamrákra statikus hálózati nyomás mellett, miközben mindegyik szigetelőkamra, az átvezetőcsövek és a központi kamrák gyakorlatilag összenyomhatatlan folyadékkal vannak feltöltve.
Az US 3 618 390 számú szabadalom, - melynek szabadalmasa egyébként a jelen találmány bejelentője - olyan érzékelő membrán alkalmazását ismerteti, amely túlzott nyomás hatására teljesen összenyomódik, hogy megvédje a szigetelő diafragmákat. Ez a találmány már nagy előrelépést jelentett a kapacitív nyomásmérő módszerek területén, ami jelentős ipari méretű termelésben és sikerben nyilvánult meg. Jelen találmány az említett US 3 618 390 számú szabadalommal védett szerkezettel együtt kerülhet alkalmazásra, annak tovább fejlesztését jelenti.
Jelen találmány olyan kapacitív típusú nyomásérzékelőt alkalmaz, amely központi kamrában elhelyezett diafragmával és szigetelőkkel rendelkezik, úgy hogy a munkafolyadék nyomása vagy más nyomás ráadható a szigetelőre és a nyomás közlése az érzékelővel gyakorlatilag összenyomhatatlan folyadékon keresztül történik a központi kamrához vezető átvezetőcsövek segítségével. A diafragmát az összenyomhatatlan folyadék arra kényszeríti, hogy elmozduljon egy olyan pozícióba, mely a központi kamra egyik részének belső felületére felvitt elektromosan vezető felülettel változtatható kondenzátort képez, amely abban az esetben, ha megfelelő áramköri meghajtásról gondoskodunk, a nyomást kifejező elektromos jelet hoz létre.
A fentiekben meghatározott célt és feladatot a bevezetőben ismertetett típusú kapacitív nyomásátalakítónál a találmány értelmében úgy valósítjuk meg, hogy az érzékelőháznak a központi kamrákban lévő folyadékra adódó statikus hálózati nyomás hatására deformálódó, a membránra merőleges irányban kiterjedő falai vannak, ilymódon a megnövekedett statikus hálózati nyomás esetén az érzékelő kondenzátorok kondenzátorlemezei között megnövekedett térköz van, továbbá az érzékelőháznak egyidejűleg befelé húzódóan, a membrán előfeszítettségét csökkentőén és annak megnövelt elhajlását előidézőén kialakított kerületi falai vannak.
A találmány kiterjed továbbá a távszigetelőkre, az érzékelőnek a szigetelőktől való elektromos el2 szigetelésére, és a tökéletesített érzékelő felerősítésére, a helyes anyagkiválasztásra és elrendezésre, annak érdekében, hogy csökkentsük a statikus hálózati nyomás és a hőmérséklet hatását. Az ilyen káros hatások a találmány alkalmazásával lényegesen lecsökkennek, ennek javított kapacitásjel a következménye, mely a nyomást fejezi ki.
A találmányt a továbbiakban annak előnyös kiviteli alakjai kapcsán ismertetjük részletesebben az ábrák segítségével, amelyek közül:
- az 1. ábra a találmány szerint készített nyomásátalakító metszetrajza;
- a 2. ábra a nyomásátalakitó egy másik megvalósítású érzékelő burkolatának metszetrajza;
- a 3. ábrán látható grafikon a találmány egyik megvalósítása szerint készített átalakító vizsgálati eredményeit mutatja, megadva a százalékos hiba (tized, 0,1 %-ban) nyomáskülönbség összefüggést öt különböző kalibrációra, melyek az átalakító mindkét oldalára adott 0 kPa (0 psi) túlnyomástól 14 000 kPa (2000 psi) túlnyomásig terjedő igénybevétel mellett készültek;
- 4. ábránk a találmány egyik megvalósítása szerinti átalakító vizsgálati eredményeit bemutató grafikon, mely a kimenet százalékos eltérése és a hálózati nyomáskülönbség-összefüggést mutatja a (kompenzálatlan) hőmérséklet-effektus bemutatására, több kalibráció esetére;
- az 5A és 5B ábrák az 1. és 2. ábra szerinti elrendezés magyarázó ábrái, melyek keresztmetszetben mutatják az 1. és 2. ábra szerinti kapacitív érzékelő cellára a növekvő statikus hálózati nyomás által előidézett hatást.
Az átalakítót, mely előnyösen használható nyomáskülönbség, túlnyomás, áramlási nyomás, nyomásszint vagy más ilyen nyomás mérésére, általánosságban 10-zel jelöltük. Az átalakítónak van egy 12 átalakítóháza vagy kerete, melybe egy 14 érzékelőházat és egy pár 16a és 16b szigetelőházat rögzítettünk. Nyilvánvaló, hogy a 14, 16a és 16b házak belefoglalhatok a 12 házba, de elhelyezhetők azon kívül is. Az érzékelendő 18 és 20 nyomásokat a nyilakkal jelöltük az átalakító bemeneti nyílásainál. A 18 és 20 nyomások 22, illetve 24 szigetelő diafragmákra hatnak. A 22 és 24 diafragmák előnyösen nagyon hajlékonyak és hagyományos módon vannak kialakítva. A 22 és 24 diafragmák 26 bordázatai előnyösen szigetelő diafragma-konstrukciót biztosítanak és a kívánt mértéknek megfelelően számos tekercsmenettel rendelkeznek. A 27 és 29 kamrákat a 22 és 24 diafragmák határolják a megfelelő 16a és 16b szigetelő házakkal együttesen. A 27 és 29 kamrák a 28 és 30 átvezetőcsövekhez csatlakoznak, melyek előnyösen rozsdamentes acélcsőből készülnek, de készíthetők más megfelelő anyagból is.
A 14 érzékelőház előnyösen fémből, mégpedig rozsdamentes acélból van kialakítva, előnyösen ausztenites rozsdamentes acélból. Általában a 14 érzékelőház két, 32 és 34 részből áll, melyek előnyösen lényegében egyenlő méretűek, és amikor szerelésre kerülnek, általában a 36 érzékelő diafragmával vannak kettéosztva, mely szélein van megfogva, rugalmasan elhajlik a fellépő nyomáskülönbségek hatására, és amely jellegzetes módon egy megkí-21
190 799 vánt, sugárirányú feszültségnek van kitéve. A 32 részben egy 42 és 44 furatokkal ellátott központi kúpalakú 38 üreg van kialakítva. Hasonló módon egy 48 és 50 furatokkal ellátott központi kúpalakú 46 üreg van kialakítva a 34 részben. Az 52 és 54 vezetékek a 28, illetve 30 átjáróközök folytatását képezik, hogy közlekedhessenek az 53 kamrával, melyet a 32 részben a 36 diafragma és a 32 részben lévő 60a szigetelőanyag központi része határoz meg és egy másik 55 kamrával, melyet a 34 részben a 36 diafragma és a 34 részben lévő 60b szigetelőanyag központi része határoz meg. Az 56 elektromos vezeték be van vezetve a 42 furaton keresztül a 38 kamrába; hasonló módon az 58 elektromos vezeték be van vezetve a 46 kamrába a 48 furaton keresztül. Az 56 és 58 elektromos vezetékek lehetnek fétncsövek, melyek lehetővé teszi az érzékelőkamrák megtöltését összenyomhatatlan folyadékkal.
A 14 érzékelőház elektromosan vezető részei elektromosan el vannak szigetelve a 28 és 30 átjáróközöket alkotó fémcsövektől, továbbá az 56 és 58 elektromos vezetékektől. A 38 és 46 üregekbe, valamint a 42 és 48 furatokba nemporózus 60a és 60b szigetelőanyag, így üveg vagy kerámia van betöltve és hozzá van erősítve a ház 32 és 34 részeihez olyan felület mentén, mely Θ szöget zár be a 32 és 34 részek összekötése által alkotott síkkal. A 60a és 60b központi része, továbbá a házat képező 32 és 34 részek központi területe, valamint az 56 és 58 elektromos vezetékek belső végei körül vannak határolva, vagy be vannak süllyesztve köszörüléssel vagy forgácsolással, előnyösen azért, hogy megfelelő ütközési felület jöjjön létre a 36 érzékelő diafragma számára, amikor a 36 érzékelő diafragma a szigetelő diafragmára adott túlzott nyomás hatására kitér. Az 52 és 54 vezetékek lehetnek egyszerű hengerek, ahogy az ábrán bemutatjuk, vagy kis hengerek egy csoportja, összhangban a 3 618 390 lajstromszámú USA szabadalom kitanításával, abból a célból hogy támasztékot nyújtson a diafragmának túlnyomás esetén.
Ezután megfelelő elektromosan vezető anyagot választunk le a 60a és 60b szigetelőanyag belső felületére mindegyik házrészben, a 61 és 63 rétegek formájában. Az említett rétegek a 36 érzékelő membrán átellenes oldalaival szemben helyezkednek el és elektromosan össze vannak kötve az 56,’ illetve az 58 elektromos vezetékekkel. A 36 érzékelő membrán előnyösen megfelelő elektromosan vezető anyagból van és helyzete rögzítve van a ház 32 és 34 részei, valamint a 61 és 63 rétegek között, a 62 folytonos peremhegesztéssel és így közös lemezt alkot a 61 és 63 rétegek számára, miáltal két, C, és C2 kondenzátort képez. Ezután egy megfelelő 64 vezetéket csatlakoztatunk a 14 érzékelőházhoz, mely ugyanazon az elektromos potenciálon van, mint a 36 érzékelő diafragma. A 36 érzékelő diafragma szintén kialakítható nemvezető anyagból, és rendelkezik egy vezető résszel, mely a diafragmán vagy a diafragmában van elhelyezve, hogy így közös lemezt képezzen egy változtatható érzékelő kondenzátorhoz. Ezután egy megfelelő 64 vezeték van hozzákötve ezen vezető részhez. Ezt követően be vannak helyezve a 70 fejes csavarok, hogy felvegyék a 14 érzékelő házra eső nyomóerőket.
Ezt követően egy megfelelő, lényegében összenyomhatatlan folyadékot, pl. szilikonolajat töltünk be az átalakító szerelvény mindegyik oldalán az 56 és 58 elektromos vezetékeken keresztül az érzékelő membránházba, melyet a ház 32 részében lévő 36 érzékelő membrán határol, továbbá a szigetelő 28 kamrába. Hasonló módon töltjük fel a ház 34 részében lévő érzékelőkamrát és a szigetelő 29 kamrát. Amikor ezek a terek megteltek, az 56 és 58 elektromos vezetékek külső végeit összecsípjük, majd megfelelő vezetékhuzalokat csatlakoztatunk hozzájuk.
A nyomás hatását a 22 és 24 szigetelő diafragmákra, a 27 és 29 kamrákban lévő lényegében öszszenyomhatatlan folyadékra, valamint a 28 és 30 átvezetőcsövekben lévő folyadékra, továbbá a 36 érzékelő membránra teljes mértékben megmagyarázza pl. az US 3 618 390 számú szabadalmi leírás. A 36 érzékelő membránra vonatkozó találmány, mely membrán teljesen összenyomódik túlnyomási körülmények között, ahogy az ismertetve van az US 3 618 390 számú szabadalmi leírásban, vagy a 22, illetve 24 szigetelő diafragma, melyek teljesen összenyomódnak túlnyomás esetén, igény szerint alkalmazhatók a jelen találmánynál.
A 22 és 24 szigetelő diafragmák fizikai elhelyezését, térközzel elválasztva 36 érzékelő membrántól, eléggé vázlatosan mutatjuk be, minthogy a 22 és 24 szigetelő diafragmák helyzete nem kritikus, feltéve, hogy ezek a diafragmák úgy vannak elhelyezve, hogy nem idéznek elő nemkívánatos mechanikai feszültséget az összenyomhatatlan folyadékon keresztül átadott nyomáson kívül, a 14 érzékelőháznál. Mivel a 14 érzékelőház előnyösen rögzítetten van beerősítve a 12 átalakítóházba, nem szükséges, hogy olyan mereven legyen beerősítve, mint a hegesztés. Ahogy látható, a hajlékony 71 szalagok tartják, melyek elektromosan szigetelő anyagból készülnek, hogy elektromosan elszigeteljék a 14 érzékelőházat a 12 átalakítóháztól és alátámasszák a 14 érzékelőházat.
A 27, 29 kamrák, a 28 és 30 átvezetőcsövek (beleértve az 52 és 54 vezetékekben lévő nyílásokat), továbbá a 61 és 63 rétegek, valamint a 36 érzékelő membrán közötti kamrák, melyek mind megvannak töltve összenyomhatatlan folyadékkal, azt eredményezik, hogy a-nyilakkal ábrázolt 18 és 20 nyomások közötti különbség arra kényszeríti a 36 érzékelő membránt, hogy a nyomáskülönbséggel arányosan elhajoljon és így a 61 és 63 rétegekhez viszonyított kapacitása megváltozik.
A találmány egy másik kiviteli alakját a 2. ábrán mutatjuk be. Ennél a megoldásnál a 14A érzékelőház némileg szélesebb, mint az 1. ábra szerinti megoldásnál. Miközben a számozás megfelel az 1. ábra számozásának (nagybetűkkel egészítve ki, azok alfanumerikus jelölésének egy részét), észlelhető, hogy a 14A érzékelőház megnövelte szélességével a 44A és 50A furatok valamivel mélyebbek a 2. ábrán, mint a 44 és 50 furatok, továbbá a 60A és 60B szigetelőanyag úgy van betöltve, hogy magukba foglalják ezeknek a furatoknak egy részét. Θ szög az a bezárt szög, amelyet a 36A érzékelő membrán síkja annak nyugalmi helyzetében a kúpos felülettel bezár, mely azon rekeszt képezi a megfelelő ház3
190 799 részben, melybe a 60A és 60B szigetelőanyag be van töltve. Ez a szög határozza meg a 60A, 60B (vagy 60a, 60b a találmány első kiviteli alakjánál) szigetelőanyag effektív mélységét, mely a kondenzátor 61A és 63A (vagy 61 és 63) rétegeire támaszkodik. Bár közelítőleg 45° Θ szög előnyös az 1. és 2. ábrák szerinti megoldások esetén, azt találtuk, hogy 25°-70° közötti szögek megjavult stabilitást és így tökéletesebb működést eredményeztek olyan ismert konstrukciókkal szemben, melyek pl. össze nem nyomható kötést tartalmaznak a szigetelőanyag és a fém között. Az érzékelőház központi tengelyéhez viszonyított szög is megmérhető, mely tengely merőleges a 36A érzékelő membrán síkjára (vagy a 36-ra), amikor az nyugalomban van.
A jelen találmány egyik jelentős előnye, hogy megjavul a statikus nyomás hatása az átalakító nyomás határára. A korábbi megoldásoknál a statikus nyomás hatása a nyomáshatár hibájára, megállapításunk szerint közelítőleg egy százalék (1%) változás a kimeneti értékben a műszer nyomáshatárai között, mely a statikus nyomás 7000 kPa (1000 psi) mértékű változása következtében mint kitérés keletkezik. Ezen ismert átalakítókban, az érzékelőház külsejére ható nyomás, melyet az a nyomás okoz, amit a szigetelő diafragmákra gyakorolt hatás révén érzékelünk, valamint az érzékelőkamra belsejéből származó nyomás, melyet az a nyomás hoz létre, amit az összenyomhatatlan folyadékon érzékelünk, az érzékelőház külső deformációjában mutatkozott meg ismert módon, mint a Poisson tényező.
Tovább menően, az ilyen kapacitív átalakítók ismert gyártási módszereiben az a szigetelő anyag, amelyre a vezető anyagot leválasztották az egyes változtatható kondenzátorok második lemezének kialakításához viszonylag vékony volt, összehasonlítva a találmány szerinti érzékelőház központi üregében lévő szigetelőanyag vastagságával. Amikor a szigetelőanyag vékony, vagy amikor a szigetelőanyag és a fém közötti érintkezési felület eléggé párhuzamos a diafragma nyugvó tengelyével (merőleges a diafragma síkjára), akkor a szigetelőanyag - fém közötti 65a, 65b, 65A, 65B érintkező felületek (kötések) nyíró erő hatásának vannak kitéve, amely azt okozhatja, hogy a kötés legyengül vagy eltörik. Amikor nyomást adunk olyan érzékelőre, melynek kötése el van törve, akkor ez a nyomás azt eredményezi, hogy a szigetelőanyag elmozdul a diafragmától. A szigetelőanyag elmozdulása nemkívánatos változást okoz a kapacitásban, amely így már nem mutatja az érzékelt nyomást, s ez az eltérés hozzáadódik a statikus hálózati nyomás által okozott hibaeffektushoz. Amikor az érzékelő a jelen találmányi felismeréssel összhangban kerül kialakításra, akkor a 65a, 65b, 65A, 65B érintkező felületek (kötések) lényegében össze vannak szorítva és következésképp sokkal kevésbé hajlamosak ilyen törésekre. A szigetelőket eltávolitva áz érzékelőház oldalától, a kondenzátor lemez távköze a 36 érzékelő membrán mindkét oldalán megnövekszik abban az esetben, ha megnövekszik a statikus hálózati 18, 20 nyomás, annak eredményeként, hogy az érzékelő részek csekély mértékben kifelé elmozdulnak az érzékelő membránhoz viszo4 nyitva. Ez a statikus hálózati nyomásnövekedés azt eredményezi, hogy a 32 és 34 részek kismértékben megvetemednek a megfelelő semleges tengelyeik körül (a 2. és 5. ábrán X-X-szel jelölve), minthogy a házrészek arra törekszenek, hogy egymás mellett összehúzzák a diafragmát (ahogy azt a 70A nyilak mutatják a 2. és 5B ábrákon). (A szigetelőanyagot az 5A, vagy 5B ábrákon részletesen nem mutatjuk be, minthogy ezek az ábrák csak szemléltetőek és az 1., valamint a 2. ábrák szerinti kiviteli alakokra vonatkoznak.) Az ilyen vetemedést legjobban talán az 5A ábrára hivatkozással magyarázhatjuk meg, amely a 32 és 34 részeket nyugalmi helyzetben mutatja be, továbbá az 5B ábra alapján, mely a túlzott vetemedési állapotot mutatja be (magyarázatként), mely állapotot a növekedő statikus hálózati nyomás idézett elő. Amikor a statikus hálózati nyomás megnővekedett, az 5A ábra szerinti kapacitív térköz (d) a 36 érzékelő membrán és a kondenzátor lemezeket képező 61 és 63 rétegek között megnövekszik d'-re (mint az 5B ábra mutatja). Egy ilyen térköz-változás nem jelképezi, illetve nem mutatja meg az alkalmazott nyomáskülönbséget. Jelen találmánnyal összhangban, az ilyen vetemedés által okozott kapacitásváltozás lényegében kompenzálva van a diafragma melletti összehúzódás által a diafragmában okozott sugárirányú feszültségcsökkenés révén. A sugárirányú feszültség vagy előfeszítés, melyet beleviszünk a diafragmába az összeszerelés során a megfelelő anyagok és méretek alkalmazásával, a diafragma rugalmas merevségét eredményezi, mely csökken, amikor a statikus nyomás növekszik. A diafragma anyaga előnyösen jó rugalmassági tulajdonságokkal rendelkező nagyszilárdságú acél. A kompenzációból adódó előny jelentkezik minden statikus hálózati nyomás mellett, de legteljesebben a 3500 kPa (500 psi) nyomásértékek felett valósul meg.
Az alábbi egyenletek megmagyarázzák azt a statikus hálózati nyomáskompenzációt, melyet a jelen találmány egy előnyös kiviteli alakja eredményez. Ezen kiviteli alak rendelkezik egy C, első kondenzátorral és egy C2 második kondenzátorral, az alábbi ismertetés szerint:
CH-CL |_X°J LAJ ahol:
O = kimenő jel a nyomáskülönbség kapacitás cellából
CH = aC, vagy C2 közül a nagyobbik kapacitás CL = a Cj vagy C2 közül a kisebbik kapacitás Xp = a diafragma elhajlása a nyomáskülönbség hatására
X„ = kapacitás térköz záró (O) statikus hálózati nyomás esetén
X'o = kapacitás térköz megnövekedett statikus hálózati nyomás esetén δο = diafragma-megnyúlás az összeépítéskor (kiindulási előfeszítés) δ'ο = a diafragma megnyúlás megnövelt statikus hálózati nyomás mellett
Egyszerűsítve:
190 799
O arányos ——p~-val
Amikor az átalakító a jelen találmány szerint van kialakítva, akkor abban az esetben, ha a statikus hálózati nyomás növekszik, az Xo kapacitás-térköz megnő X'o-re és a diafragma megnyúlása (δο) lecsökken δ'θ-re. Az Xo · δ szorzatot lényegében egyenlőnek tartva X'o · δ'ο szorzattal, ennélfogva alapjában véve egyenlőnek tartva egy állandóval, a diafragma-elhajlás (Xp) reagál az arra ráadott nyomáskülönbségre és ennélfogva a kimenet (O) független a statikus hálózati nyomástól.
Egy átalakítót, melyet az 1. és 2. ábrák szerinti kiviteli alakkal összhangban készítettünk, de amelynél nincs 25’ és 70’ közötti Θ szög, hanem hengeres, fém-szigetelőanyag érintkezőfelületkötése van; azaz a kötési érintkezési felület először általában merőleges (Θ = 90°) a 36 érzékelő membránra, azután ‘ általában párhuzamos (Θ = 0°) a 36 érzékelő membránra, amint azt általánosságban ismertettük az US 3 618 390 számú szabadalmi leírásban, tényleges terhelési feltételek mellett teszteltünk. A találmánynak ez az első alakja nem foglalta magában most ismertetett kompressziós kötést, hanem inkább a technika korábbi állásához tartozó nyíró-kötést. A tökéletesített kötés hasznos, mert mint kifejtettük, kiküszöböli a kötési törést. Az elemzésből és értékelésből az a véleményünk alakult ki, hogy ilyen törés nem fordult elő, ezért a kötés természete nem volt hatással a vizsgálati eredményekre. A vizsgált megoldásban alkalmaztuk a találmány más jellemzőit, így a 16a, 16b szigetelőház elkülönítését a 14 érzékelőháztól és a 14 érzékelőház vetemedésének kompenzálását a 36 érzékelő membrán megfelelő előfeszítésével. A 36 érzékelő membrán vastagsága 0,05 mm (1,8 mii) volt, átmérője pedig közelítőleg 28,5 mm (1,12 hüvelyk) és közelítőleg 700 MPa (105 000 psi) előfeszítést alkalmaztunk (bár 350-1400 MPa) (50 000-200 000 psi) nagyságú előfeszités elfogadható. A 60a, 60b, 60A, 60B szigetelőanyag üveg volt; és a 14 érzékelőház átmérője közelítőleg 32 mm (1,25 hüvelyk). A kapacitás-térköz (Xo) a középpontban közelítőleg 0,2 mm (0,0075 hüvelyk) volt. A 16a, 16b szigetelőházak rozsdamentes acélból készültek és közelítőleg 76 mm (3 hüvelyk) átmérőjűek voltak és az 53, 55 kamrákhoz a 28, 30 átvezetöcsövekkel voltak csatlakoztatva, melyek
1,6 mm (1/16 hüvelyk) külső átmérőjű rozsdamentes acélcsőből készültek. Ezen teszt eredményeit mutatjuk be a 3. ábrán. Ahogy látható, valamennyi vizsgálati pont eltérés, mely a zéró (0) Pa túlnyomástól 14 MPa-ig (0 psi-től 2000 psi-ig) terjedő statikus hálózati nyomáshoz tartozik, kevesebb 0,02%-nál a 0-61 kPa (0-240 hüvelyk vízoszlop) nyomáskülönbség-tartományban. A 3. ábra görbéinek nagyon csekély mechanikai hiszterézise van. Az ilyen mechanikai hiszterézis nem szokatlan és nem csupán a nyomáskülönbség, valamint a statikus hálózati nyomás által okozott pillanatnyi feszültségértéktől függ, hanem ezen feszültség előtörténetétől is.
Még egy további fejlesztést is elértünk a jelen találmánnyal, mivel az átalakító zéró stabilitása, amely az ismert átalakítókban változik mind a hőmérséklettel, mind a statikus nyomással, itt megjavult, mert a szigetelőházak nincsenek közvetlen fizikai érintkezésben az érzékelőházzal. Csupán a 28 és 30 átvezetőcsövek vannak közvetlen érintkezésben a 14 érzékelőházzal és ezek a csövek utánengednek, ilymódon kiegyenlítik a hőmérséklet által a szigetelőkön kialakuló terheléseket vagy változásokat anélkül, hogy feszültséget hoznának létre a 14 érzékelőházon.
Vizsgálatot folytattunk le arra vonatkozóan is, hogy bizonyítsuk a kompenzálatlan hőmérsékleteffektust a jelen találmány fent ismertetett kiviteli alakjánál a kapacitív jelkimenet stabilitására vonatkozóan; ezeket az eredményeket mutatjuk be a
4. ábrán. A „kompenzálatlan” effektus az elektromos jel bármilyen kompenzálása előtt meglévő hiba. Az elektromos jel kompenzálását rendszerint arra használják, hogy tovább csökkentsék a hibákat, bár nagymértékben előnyös, ha olyan szerkezetről gondoskodunk, amely alacsony kompenzálatlan hibával rendelkezik. A 4. ábra minden egyes görbéje különálló kalibrációhoz tartozik. Több ilyen kalibrálást végeztünk el, melyek közül hetet mutatunk be a 4. ábrán; éspedig egyet 38’C-on (100 ’F), ismét egyet 38’C-on (100 ’F), azután 93’C-on (200’F), majd ismét 38’C-on (100’F), azután -17,8°C-on (0°F), majd újból 38’C-on (100’F), ismét egyet 93’C-on (200’F) és végül 38 ’C-on (100 ’F). A görbék azt mutatják, hogy a találmány szerinti kiviteli alak kiváló stabilitást és nagyon alacsony termikus hiszterézist mutatott, minthogy a kapacitás-eltérés a 38’C-on (100’F) végzett három kalibráció esetén kevesebb volt ±0,18%-nál. A termikus hiszterézis egy olyan specifikus hőmérsékleten végzett kalibrációs eredmények különbségére vonatkozik, amikor erre a kalibrációs hőmérsékletre magasabb, illetve alacsonyabb hőmérsékletről jutottunk el.
Különböző anyagokból készített és különböző méretű számos kiviteli alakot vizsgáltunk meg jó eredménnyel.
Jelen találmány további előnye, hogy mivel a szigetelő diafragmák többé már nem integráns részei a 14 érzékelőháznak, a szigetelő diafragmák mérete megnövelhető az érzékelőházhoz viszonyítva. Ez a méretnövekedés bizonyos esetekben azért fontos, hogy csökkentsük a hőmérséklet és más tényezők hatását a teljes átalakító működésére.
Tovább menően, a 14 érzékelőház előnyösen elektromosan el van szigetelve a 12 átalakító háztól, ami az átalakító áramkör egyszerűsítését eredményezi, amikor elektromos szigetelés szükséges, mely eset gyakran fennáll az ipari nyomásméréseknek
Bár a találmányt változtatható kapacitás érzékelő alkalmazásával ismertettük, a szakmában járatosak számára megérthető, hogy egy változtatható impedancia, azaz változtatható impedanciájú változó reaktanciával rendelkező érintkező is használható az itt ismertetett találmány esetében.
Összefoglalva, a számos felsorolt előny, valamint olyanok, amelyek nyilvánvalóak a szakmában járatosak előtt, megvalósíthatók a jelen találmány alkalmazásával.

Claims (15)

1. Kapacitív nyomásátalakító átalakítóházzal (12), ebbe beszerelt, központi üreggel ellátott érzékelőházzal (14), vékony, hajlítható lemezből lévő membránnal (36), mely az érzékelőház (14) központi üregét két központi kamrára (53, 55) osztja és előfeszítés alatt áll, nyomás hatására meghajlítható és legalább egy része elektromosan vezető, ilymódon az első kondenzátorlemezt képezi; a központi kamráknak (53, 55) konkáv felülete van, elektromosan vezető felületrésszel (61, 63), mely térközzel él van választva a membrántól (36) és a változtatható érzékelő kondenzátorok második lemezeit képezi; van továbbá egy pár szigetelőháza (16a, 16b) benne elhelyezett szigetelő kamrával (27, 29) és vannak átvezetőcsövei (28,30), melyek összekötik az egyes szigetelő kamrákat (27, 29) az elkülönített központi kamrákkal (53, 55), végül van egy összekötő szerelvénye, melynek segítségével különböző nyomások adhatók az egyes szigetelő kamrákra (27, 29) statikus hálózati nyomás mellett, miközben mindegyik szigetelő kamra (27, 29) az átvezetőcsövek (28, 30) és a központi kamrák (53, 55) gyakorlatilag összenyomhatatlan folyadékkal vannak feltöltve, azzal jellemezve, hogy az érzékelőháznak (14) a központi kamrákban (53, 55) lévő folyadékra adódó statikus hálózati nyomás hatására deformálódó, a membránra (36) merőleges irányban kiterjedő falai vannak, ilymódon a megnövekedett statikus hálózati nyomás esetén az érzékelő kondenzátorok kondenzátorlemezei között megnövekedett térköz van, továbbá hogy az érzékelőháznak (14) egyidejűleg befelé húzódóan, a membrán előfeszítettségét csökkentőén és annak megnövelt elhajlását előidézőén kialakított kerületi falai vannak.
2. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy a szigetelőházak (16a, 16b) térközzel el vannak választva az érzékelőháztól (14).
3. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy a membrán (36) olyan rugalmassági együtthatójú anyagból van kialakítva, hogy az érzékelóháznak (14) a statikus hálózati nyomás hatására bekövetkező meggörbülését lényegileg kiegyenlítő megváltozásra képes.
4. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy az érzékelőház (14) és a membrán (36) rugalmassági együtthatója és relatív mérete úgy van megválasztva, hogy a membránra (36) jutó igénybevétel úgy változik meg, hogy az átalakító választartományában a kimenet maximális hibája 68,9 báronként (7 MPa, 1000 psi) kevesebb az érzékelő membránra (36) eső statikus hálózati nyomásváltozás 1 %-ánál, ugyanazon nyomáskülönbség mellett.
5. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy az érzékelőház (14) és az érzékelő membrán (36) anyaga úgy van megválasztva, hogy rugalmassági együtthatójuk olyan, hogy az átalakító kimenetének maximális hibája a választartományon belül kevesebb 68,9 báronként (7 MPa, 1000 psi) az érzékelő membránra (36) eső statikus nyomásváltozás 0,25%-ánál, ugyanazon nyomáskülönbség mellett.
6. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy az érzékelőház (14) fémből van és benne besüllyesztett üregek (38, 46) vannak, a besüllyesztett üregek (38, 46) részben meg vannak töltve nemporózus szigetelő anyaggal (60a, 60b), mely határfelületi réteget képez az érzékelőház (14) fémjével, továbbá hogy a központi kamrák (53, 55) a szigetelő anyagban (60a, 60b) vannak kialakítva és elektromosan vezető felületi rétegeik (61, 63) a szigetelő anyagon (60a, 60b) vannak elhelyezve, végül, hogy a szigetelő anyag (60a, 60b) és az érintkezőház (14) fém érintkezőfelülete (65a, 65b) úgy van elhelyezve az átalakító központi tengelyéhez viszonyítva, hogy azon a statikus hálózati nyomások hatására összenyomó erők lépnek fel.
7. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy az érzékelőház (14) elektromosan el van szigetelve az átalakítóháztól (12) és a szigetelőházaktól (16a, 16b).
8. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásáta lakitó, azzal jellemezve, hogy az érzékelő membránon (36) lévő kezdeti feszültség értéke 3447,2 és 13 789 bar (50 000-200 000 psi) között van.
9. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy az átalakítóháznak (12) hozzáerősített tartókerete van és a szigetelőházak (16a, 16b) rá vannak szerelve erre a tartókeretre, bizonyos távközzel elválasztva az átalakítóháztól (12).
10. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy az elkülönített átvezetőcsövek (28, 30) külső terhelések hatására, meggörbülő csövek.
11. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy az érzékelőháznak (14) központi tengelye általában merőleges az érzékelő membránra (36), az érzékelőháznak (14) van továbbá egy külső héja, mely egy pár második üreget (38, 46) határoz meg az érzékelő membrán (36) szemközti oldalain, ezen második üregeket (38, 46) az üregfelületek határozzák meg, melyek kúposán elvékonyodnak az érzékelő membrán (36) széleitől kiindulva befelé a központi tengely irányában az érzékelő membrántól (36) távolodva, végül hogy kitöltő szigetelő anyag (60a, 60b) van a második üregek (38, 46) mindegyikében, a szigetelőanyagnak (60a, 60b) besüllyesztett felületei vannak az érzékelő membrán (36) mellett annak szemközti oldalain, ilymódon kialakítva az érzékelő membrán (36) terhelés alatti meghajlását biztosító központi kamrákat (53, 55).
12. A 11. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy a szigetelő anyag (60a, 60b) üveg vagy kerámia és hozzá van kötve az üregfelületekhez.
13. A 12. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy az üregfelületek általában kúposak, és úgy vannak kialakítva a központi tengely körül, hogy 25-70’ közötti szöget zárnak be a központi tengellyel.
14. A 13. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy a kötés a házfelüle-61
190 799 tek és az üveg vagy kerámia szigetelő anyag (60a, 60b) között lényegileg csak nyomás alatt áll fenn.
15. Az 1. igénypont szerinti kapacitív nyomásátalakító, azzal jellemezve, hogy mindegyik szigetelő egy szigetelő házat (16a, 16b) foglal magában, a szigetelő házban (16a, 16b) kamra van kialakítva, és a kamrát rugalmas membrán (22, 24) zárja le, ilymódon meghajlítható falat képezve.
HU821844A 1980-10-06 1981-10-02 Capacitive pressure transducer with insulated sensing diaphragm HU190799B (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/194,758 US4370890A (en) 1980-10-06 1980-10-06 Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm
PCT/US1981/001329 WO1982001250A1 (en) 1980-10-06 1981-10-02 Capacitive pressure transducer with isolated sensing diaphragm

Publications (1)

Publication Number Publication Date
HU190799B true HU190799B (en) 1986-11-28

Family

ID=22718806

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU821844A HU190799B (en) 1980-10-06 1981-10-02 Capacitive pressure transducer with insulated sensing diaphragm

Country Status (18)

Country Link
US (1) US4370890A (hu)
EP (1) EP0061488B1 (hu)
JP (1) JPH046889B2 (hu)
AU (1) AU551166B2 (hu)
BR (1) BR8108830A (hu)
CA (1) CA1164240A (hu)
FI (1) FI72809C (hu)
GB (1) GB2099587B (hu)
HK (1) HK89885A (hu)
HU (1) HU190799B (hu)
IL (1) IL64028A (hu)
IN (1) IN154802B (hu)
IT (1) IT1193784B (hu)
MX (1) MX154961A (hu)
SU (1) SU1421266A3 (hu)
WO (1) WO1982001250A1 (hu)
YU (1) YU41525B (hu)
ZA (1) ZA816837B (hu)

Families Citing this family (99)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3213320A1 (de) * 1982-04-06 1983-10-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Druck- oder druckdifferenz-messumformer
US4425799A (en) * 1982-06-03 1984-01-17 Kavlico Corporation Liquid capacitance pressure transducer technique
US4539998A (en) * 1983-04-29 1985-09-10 American Hospital Supply Corporation Pressure transducer assembly
USRE33518E (en) * 1983-04-29 1991-01-15 Baxter International, Inc. Pressure transducer assembly
US4502003A (en) * 1983-07-29 1985-02-26 Rosemount Inc. Two wire circuit having an adjustable span
US4612812A (en) * 1985-08-15 1986-09-23 Rosemount Inc. Stress reducing stop for unstretched pressure sensing diaphragm
JPH043244Y2 (hu) * 1985-11-29 1992-02-03
IL82194A (en) * 1986-04-23 1992-03-29 Rosemount Inc Measurement circuit
US5083091A (en) * 1986-04-23 1992-01-21 Rosemount, Inc. Charged balanced feedback measurement circuit
US4791352A (en) * 1986-07-17 1988-12-13 Rosemount Inc. Transmitter with vernier measurement
US4745810A (en) * 1986-09-15 1988-05-24 Rosemount Inc. Flangeless transmitter coupling to a flange adapter union
US4798089A (en) * 1987-03-12 1989-01-17 Rosemount Inc. Isolator apparatus
US4760859A (en) * 1987-05-18 1988-08-02 Rosemount Inc. Modular pressure instrument
US4833922A (en) * 1987-06-01 1989-05-30 Rosemount Inc. Modular transmitter
US4818994A (en) * 1987-10-22 1989-04-04 Rosemount Inc. Transmitter with internal serial bus
US5062302A (en) * 1988-04-29 1991-11-05 Schlumberger Industries, Inc. Laminated semiconductor sensor with overpressure protection
JP2639159B2 (ja) * 1989-04-14 1997-08-06 富士電機株式会社 静電容量式差圧検出器
US5022270A (en) * 1989-06-15 1991-06-11 Rosemount Inc. Extended measurement capability transmitter having shared overpressure protection means
US4949581A (en) * 1989-06-15 1990-08-21 Rosemount Inc. Extended measurement capability transmitter having shared overpressure protection means
US4970898A (en) * 1989-09-20 1990-11-20 Rosemount Inc. Pressure transmitter with flame isolating plug
US5134887A (en) * 1989-09-22 1992-08-04 Bell Robert L Pressure sensors
DE3933512A1 (de) * 1989-10-06 1991-04-18 Endress Hauser Gmbh Co Differenzdruckmessgeraet
US5163326A (en) * 1991-03-08 1992-11-17 Rosemount Inc. Line pressure compensator for a pressure transducer
US5230248A (en) * 1991-07-12 1993-07-27 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
US5184514A (en) * 1991-07-12 1993-02-09 Rosemount Inc. Corrosion resistant isolator
US5237285A (en) * 1991-10-18 1993-08-17 Rosemount Inc. Method and apparatus for capacitance temperature compensation and manufacturability in a dual plate capacitive pressure transmitter
US5271277A (en) * 1991-12-23 1993-12-21 The Boc Group, Inc. Capacitance pressure transducer
US5329818A (en) * 1992-05-28 1994-07-19 Rosemount Inc. Correction of a pressure indication in a pressure transducer due to variations of an environmental condition
US5596147A (en) * 1995-11-17 1997-01-21 Wilda; Douglas W. Coplanar pressure sensor mounting for remote sensor
US5757608A (en) * 1996-01-25 1998-05-26 Alliedsignal Inc. Compensated pressure transducer
US5741975A (en) * 1996-07-31 1998-04-21 Motorola, Inc. Media isolated differential pressure sensor and fluid injection method
US6047244A (en) * 1997-12-05 2000-04-04 Rosemount Inc. Multiple range transition method and apparatus for process control sensors
US6038961A (en) * 1998-03-02 2000-03-21 Rosemount Inc. Flush mount remote seal
US6295875B1 (en) 1999-05-14 2001-10-02 Rosemount Inc. Process pressure measurement devices with improved error compensation
US6328647B1 (en) 2000-04-06 2001-12-11 Jon E. Traudt Pressure differential detecting system, and method of use
DE10050300A1 (de) * 2000-10-10 2002-04-11 Endress Hauser Gmbh Co Druckmeßzelle
US6516672B2 (en) 2001-05-21 2003-02-11 Rosemount Inc. Sigma-delta analog to digital converter for capacitive pressure sensor and process transmitter
FR2830612B1 (fr) * 2001-10-10 2004-01-23 Bosch Gmbh Robert Capteur de course, servomoteur pneumatique integrant ce capteur et installation de freinage comportant un tel servomoteur
DE10152681A1 (de) * 2001-10-19 2003-04-30 Endress & Hauser Gmbh & Co Kg Druckmittler mit Trennmembran und Verfahren zu dessen Herstellung
JP4163880B2 (ja) * 2002-03-05 2008-10-08 長野計器株式会社 差圧検出器、その差圧検出器を備えた流量計および液面計
US6839546B2 (en) 2002-04-22 2005-01-04 Rosemount Inc. Process transmitter with wireless communication link
US6843133B2 (en) * 2002-06-18 2005-01-18 Rosemount, Inc. Capacitive pressure transmitter
DE10229703A1 (de) * 2002-07-02 2004-01-15 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Kapazitiver Drucksensor
DE102004006383A1 (de) * 2004-02-09 2005-08-25 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdruckaufnehmer mit Überlastmembran
JP5058785B2 (ja) * 2004-03-02 2012-10-24 ローズマウント インコーポレイテッド 改良された発電を備えたプロセス装置
DE102004017580A1 (de) * 2004-04-07 2005-12-01 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdruckaufnehmer mit dynamischem Überlastschutz
US8538560B2 (en) * 2004-04-29 2013-09-17 Rosemount Inc. Wireless power and communication unit for process field devices
US8145180B2 (en) * 2004-05-21 2012-03-27 Rosemount Inc. Power generation for process devices
US8160535B2 (en) * 2004-06-28 2012-04-17 Rosemount Inc. RF adapter for field device
US7262693B2 (en) * 2004-06-28 2007-08-28 Rosemount Inc. Process field device with radio frequency communication
US7213464B1 (en) 2004-10-25 2007-05-08 Traudt Jon E System for visually monitoring pressure in an enclosed space
US7680460B2 (en) * 2005-01-03 2010-03-16 Rosemount Inc. Wireless process field device diagnostics
US9184364B2 (en) * 2005-03-02 2015-11-10 Rosemount Inc. Pipeline thermoelectric generator assembly
US7334484B2 (en) * 2005-05-27 2008-02-26 Rosemount Inc. Line pressure measurement using differential pressure sensor
WO2007002769A1 (en) 2005-06-27 2007-01-04 Rosemount Inc. Field device with dynamically adjustable power consumption radio frequency communication
US7379792B2 (en) * 2005-09-29 2008-05-27 Rosemount Inc. Pressure transmitter with acoustic pressure sensor
US7415886B2 (en) * 2005-12-20 2008-08-26 Rosemount Inc. Pressure sensor with deflectable diaphragm
US7308830B2 (en) * 2006-01-26 2007-12-18 Rosemount Inc. Pressure sensor fault detection
US7913566B2 (en) 2006-05-23 2011-03-29 Rosemount Inc. Industrial process device utilizing magnetic induction
US8188359B2 (en) * 2006-09-28 2012-05-29 Rosemount Inc. Thermoelectric generator assembly for field process devices
ITMI20070191A1 (it) * 2007-02-05 2008-08-06 Abb Service Srl Trasmettitore di pressione per il rilevamento di una variabile relativa ad un fluido di processo.
US8898036B2 (en) * 2007-08-06 2014-11-25 Rosemount Inc. Process variable transmitter with acceleration sensor
US7624642B2 (en) * 2007-09-20 2009-12-01 Rosemount Inc. Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter
US7484416B1 (en) 2007-10-15 2009-02-03 Rosemount Inc. Process control transmitter with vibration sensor
US7578194B1 (en) * 2008-02-11 2009-08-25 Sensata Technologies, Inc. Differential fluid pressure measurement apparatus
US7743662B2 (en) * 2008-02-14 2010-06-29 Kulite Semiconductor Products, Inc. Low differential pressure transducer
US8191424B2 (en) * 2008-02-14 2012-06-05 Kulite Semiconductor Products, Inc. Low differential pressure transducer
US8250924B2 (en) 2008-04-22 2012-08-28 Rosemount Inc. Industrial process device utilizing piezoelectric transducer
US8694060B2 (en) * 2008-06-17 2014-04-08 Rosemount Inc. Form factor and electromagnetic interference protection for process device wireless adapters
JP5554328B2 (ja) * 2008-06-17 2014-07-23 ローズマウント インコーポレイテッド 本質安全の低電圧クランプ回路を備えるフィールド装置用ｒｆアダプタ
US8847571B2 (en) 2008-06-17 2014-09-30 Rosemount Inc. RF adapter for field device with variable voltage drop
US8929948B2 (en) * 2008-06-17 2015-01-06 Rosemount Inc. Wireless communication adapter for field devices
EP2294765B1 (en) * 2008-06-17 2017-01-18 Rosemount Inc. Rf adapter for field device with loop current bypass
US7977924B2 (en) * 2008-11-03 2011-07-12 Rosemount Inc. Industrial process power scavenging device and method of deriving process device power from an industrial process
US8327713B2 (en) 2008-12-03 2012-12-11 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using magnetic property
US7870791B2 (en) * 2008-12-03 2011-01-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal
US7954383B2 (en) * 2008-12-03 2011-06-07 Rosemount Inc. Method and apparatus for pressure measurement using fill tube
US9674976B2 (en) * 2009-06-16 2017-06-06 Rosemount Inc. Wireless process communication adapter with improved encapsulation
US8626087B2 (en) * 2009-06-16 2014-01-07 Rosemount Inc. Wire harness for field devices used in a hazardous locations
US8371175B2 (en) * 2009-10-01 2013-02-12 Rosemount Inc. Pressure transmitter with pressure sensor mount
US8429978B2 (en) 2010-03-30 2013-04-30 Rosemount Inc. Resonant frequency based pressure sensor
US8234927B2 (en) 2010-06-08 2012-08-07 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with line pressure measurement
US8132464B2 (en) 2010-07-12 2012-03-13 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with complimentary dual absolute pressure sensors
US10761524B2 (en) 2010-08-12 2020-09-01 Rosemount Inc. Wireless adapter with process diagnostics
US8384915B2 (en) 2010-10-01 2013-02-26 Rosemount Inc. Test block for use in a welding process
US9310794B2 (en) 2011-10-27 2016-04-12 Rosemount Inc. Power supply for industrial process field device
DE102012103585A1 (de) * 2012-04-24 2013-10-24 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Druckmessaufnehmer
US8752433B2 (en) 2012-06-19 2014-06-17 Rosemount Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor
US9048901B2 (en) 2013-03-15 2015-06-02 Rosemount Inc. Wireless interface within transmitter
RU2545085C1 (ru) * 2013-11-12 2015-03-27 Закрытое акционерное общество Промышленная группа "Метран" Конструкция бипланарного емкостного датчика перепада давления
US9316553B2 (en) * 2014-03-26 2016-04-19 Rosemount Inc. Span line pressure effect compensation for diaphragm pressure sensor
US9857259B2 (en) 2014-09-30 2018-01-02 Rosemount Inc. Differential pressure sensor with high pressure capabilities
DE102015117222A1 (de) * 2014-10-10 2016-04-14 Steering Solutions Ip Holding Corporation Zweikanaliger Drucksensor mit einer einzigen Verbindungsöffnung
DE102014119407A1 (de) 2014-12-22 2016-06-23 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Differenzdrucksensor und Differenzdruckmessaufnehmer mit einem solchen Differenzdrucksensor
US10126193B2 (en) 2016-01-19 2018-11-13 Rosemount Aerospace Inc. Compact or miniature high temperature differential pressure sensor capsule
CN107976279A (zh) * 2017-12-15 2018-05-01 北京创昱科技有限公司 一种真空测量装置
US11371899B2 (en) 2018-05-17 2022-06-28 Rosemount Inc. Measuring element with an extended permeation resistant layer
US11041773B2 (en) * 2019-03-28 2021-06-22 Rosemount Inc. Sensor body cell of a pressure sensor
CN110553763B (zh) * 2019-09-10 2021-03-19 广州敏华仪器仪表有限公司 一种共平面悬浮式全隔离传感器

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1582509A (hu) * 1968-05-17 1969-10-03
US3618390A (en) * 1969-10-27 1971-11-09 Rosemount Eng Co Ltd Differential pressure transducer
DE2230264A1 (de) * 1972-06-21 1974-01-31 Union Rheinische Braunkohlen Verfahren zur herstellung von aromatischen oder hydroaromatischen hydroperoxiden
US3793885A (en) * 1972-09-05 1974-02-26 Rosemount Inc Diaphrgam construction for differential pressure transducer
JPS5617720B2 (hu) * 1972-12-25 1981-04-23
US3869920A (en) * 1973-04-13 1975-03-11 Yokogawa Electric Works Ltd Symmetrically arranged, deflection type differential pressure transmitters for controlling industrial systems and processes
US3808480A (en) * 1973-04-16 1974-04-30 Bunker Ramo Capacitive pressure transducer
SU506223A1 (ru) * 1973-06-18 1982-09-30 Государственный научно-исследовательский институт теплоэнергетического приборостроения Мембранный блок
SU506224A1 (ru) * 1973-06-18 1982-09-30 Государственный научно-исследовательский институт теплоэнергетического приборостроения Измерительный преобразователь разности давлений
US3926055A (en) * 1973-10-01 1975-12-16 Itt Mechanical span and zero adjustment apparatus for pressure transducers
JPS5232368Y2 (hu) * 1973-10-30 1977-07-23
US3999435A (en) * 1975-04-24 1976-12-28 Fischer & Porter Co. Differential pressure transmitter
US4111056A (en) * 1975-06-30 1978-09-05 Michael Mastromatteo Control devices
JPS5232368U (hu) * 1975-08-29 1977-03-07
JPS5233575A (en) * 1975-09-09 1977-03-14 Fuji Electric Co Ltd Differential pressure measuring device
US3994166A (en) * 1975-11-10 1976-11-30 Warren Automatic Tool Co. Apparatus for eliminating differential pressure surges
US4072058A (en) * 1976-05-03 1978-02-07 Honeywell Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor protection
CA1077294A (en) * 1976-05-03 1980-05-13 Honeywell Inc. Pressure transmitter with simplified pressure sensing head
JPS5829862B2 (ja) * 1977-05-14 1983-06-25 富士電機株式会社 圧力測定装置
JPS5831855B2 (ja) * 1977-06-22 1983-07-08 富士電機株式会社 圧力測定装置の製造方法
DE2824489C2 (de) * 1978-06-03 1982-06-16 Reifen-Ihle GmbH, 8870 Günzburg Rohrverbinder für einander kreuzende Rohre
DE2827274A1 (de) * 1978-06-21 1980-01-10 Fuji Electric Co Ltd Druckmessvorrichtung
US4218925A (en) * 1979-06-27 1980-08-26 Honeywell Inc. Differential pressure transmitter with pressure sensor protection
US4285244A (en) * 1980-02-13 1981-08-25 Honeywell Inc. Non-symmetrical overload protection device for differential pressure transmitter

Also Published As

Publication number Publication date
EP0061488A4 (en) 1983-10-04
HK89885A (en) 1985-11-22
SU1421266A3 (ru) 1988-08-30
EP0061488A1 (en) 1982-10-06
YU41525B (en) 1987-08-31
IT8149423A0 (it) 1981-10-05
EP0061488B1 (en) 1986-12-17
YU238981A (en) 1983-12-31
IL64028A (en) 1987-12-20
AU7720381A (en) 1982-04-28
FI821976A0 (fi) 1982-06-03
GB2099587B (en) 1984-11-07
US4370890A (en) 1983-02-01
FI72809C (fi) 1987-07-10
WO1982001250A1 (en) 1982-04-15
IN154802B (hu) 1984-12-15
JPS57501494A (hu) 1982-08-19
ZA816837B (en) 1982-09-29
AU551166B2 (en) 1986-04-17
IT1193784B (it) 1988-08-24
BR8108830A (pt) 1982-08-24
GB2099587A (en) 1982-12-08
CA1164240A (en) 1984-03-27
MX154961A (es) 1988-01-14
JPH046889B2 (hu) 1992-02-07
FI72809B (fi) 1987-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HU190799B (en) Capacitive pressure transducer with insulated sensing diaphragm
US4364276A (en) Differential pressure measuring transducer assembly
JP2774267B2 (ja) 圧力センサ
US5157972A (en) Pressure sensor with high modules support
EP1053459B1 (en) Capacitive based pressure sensor design
KR940001481B1 (ko) 정전용량식 압력차 검출기
CA1239806A (en) Capacitive sensing cell made of brittle material
HU207160B (en) Differential pressure sensor and metho for making said sensor
EA004582B1 (ru) Датчик давления и способ изготовления датчика давления
WO2016005120A1 (de) Differenzdruckmesszelle
US4741214A (en) Capacitive transducer with static compensation
US5880373A (en) Differential pressure measuring arrangement
KR900001465B1 (ko) 분리된 감지 격막을 가진 용량성 압력 변환기
KR102556708B1 (ko) 압력계
EP0775303B1 (en) Very high pressure gauge with plate shaped Bourdon element
NO156188B (no) Kapasitiv trykktransduktor.
JP2546013B2 (ja) 静電容量式差圧検出器
JPS5831853B2 (ja) 差圧測定装置
JPS5842943A (ja) 差動容量式圧力・差圧計
JPS5879128A (ja) 差圧測定装置
JPH0198937A (ja) 静電容量形差圧測定装置

Legal Events

Date Code Title Description
HU90 Patent valid on 900628