SU1395952A1 - Измеритель периода пространственной гармоники - Google Patents
Измеритель периода пространственной гармоники Download PDFInfo
- Publication number
- SU1395952A1 SU1395952A1 SU874176187A SU4176187A SU1395952A1 SU 1395952 A1 SU1395952 A1 SU 1395952A1 SU 874176187 A SU874176187 A SU 874176187A SU 4176187 A SU4176187 A SU 4176187A SU 1395952 A1 SU1395952 A1 SU 1395952A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- unit
- additional
- photodetectors
- subtraction
- block
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике. Цель изобретени - повышение точности за счет уменьшени погрешности , возникаюш,ей из-за шумов фотоприемников , величина которой максимальна при совпадении минимума (максимума) излучени с центром линейки фотоприемников , при помощи второй линейки, сдвинутой относительно первой на половину размера апертуры фотоприемника. Интерференционна картина создаетс в плоскости фотоприемных линеек 1, кажда из которых состоит из четырех фотоприемников. Устройство осуществл ет вычисление частоты пространственной гармоники, котора пропорциональна величине arccos (Si-84/ /So-5з-1). Дл устранени ощибок, возникающих при , , за счет неоднозначности при делении нул на нуль блок 6 выбора максимума осуществл ет подключение той линейки, дл которой величина $2-5з минимальна. Блок 8 делени с вычитателем 1 и блок 9 осуществл ют вычисление частоты пространственной гармоники . 1 ил. (О
Description
(Л
с
ОС
ее
О1
;с ел ьэ
Изобретение относитс к измерительной , технике и может быть использовано дл измерени рассто ни между интерференционными полосами.
Цель изобретени - повышение точности за счет уменьшени погрешности, возникающей из-за шумов приемника, величина которой максимальна при совпадении минимума (максимума) излучени с цент- ром линейки фотоприемником, при помоши I второй линейки, сдвинутой относительно I первой на -половину размера апертуры фотоприемника.
На чертеже представлена блок-схема из- 1мерител периода пространственной гармоI НИКИ.
I Измеритель состоит из двух идентич- j ных пространственно-ортогональных каналов , осуш,ествл ющих измерение периода в двух перпендикул рных направлени х. Каждый канал состоит из двух линеек 1 фотоТаким образом, при вычислении частоты пространственной гармоники, котора пропорциональна
(|Эif-
5 где S,- - значение сигналов на выходе фотоприемников в линейке, устран етс неоднозначность, возникающа в случае
Si 54(2)
82 83
за счет использовани другой линейки, сдви нутой относительно первой на половину апертуры фотоприемнир а, так что условие (2) не может быть выполнено одновременно дл обеих линеек. Из двух линеек выби- 15 раетс та, дл которой разность максимальна .
Claims (1)
- Формула изобретениИзмеритеЛь периода пространственной10гармоники, содержащий два идентичных приемников, сдвинутых на половину раз-пространственно-ортогон альных канала,мера апертуры одного фогоприемника, и каждый из которых состоит из фотоприем- блоков 2 и 3 вычитани , св занных с пер-„Q линейки из четырех фотоприемниковс квадратными апертурами и устройства обработки информации, содержащего два блока вычитани , блок делени с вычитанием |налах блока 6 максимума выбора, блока 7 25 единицы и блок вычислени arccos, отлича- |коммутации, блока 8 делени с вычи: а- нием единицы и устройства блока 9 вы- 1числени arccos.выми линейками 1 фотоприемников каналов, и блоков 4 и 5 вычитани , св занных с |вторыми линейками 1 фотоприемников в кающиис тем, что, с целью повышени точности измерени , в каждый канал введена дополнительна , идентична основной, линейка фотоприемников, расположенна параллельно основной и сдвинутых относительI Канал устройства работает следующим образом.ющиис тем, что, с целью повышени точности измерени , в каждый канал введена дополнительна , идентична основной, линейка фотоприемников, расположенна параллельно основной и сдвинутых относительИтерференционна картина создаетс в ° «о половину размера апертуры, аплоскости фотоприемных линеек I, сигналы от которых подаютс на блоки 4, 3 и 2, 5, вы- |читани , в которых вычисл ютс разности I сигналов крайних и средних фотоприемпи- IKOB линеек, выходные сигналы блоков 4, 3 1И 2, 5 поступают на блок 7 коммутации, ко- |торый в зависимости от управл ющего сиг- нала поступающего с выхода блока 6 вы- ;бора максимума, подключает блок 8 делени35в устройство обработки информации введены два дополнительных блока вычитани , блок выбора максимума и блок коммутации, входы первого дополнительного блока вычитани подсоединены к выходам первого и четвертого фотоприемников дополнительной линейки, входы второго дополнительного блока вычитани подсоединены к выходам второго и третьего фотоприемников дополнительной линейки, выходы первого основ|С вычитанием единицы либо к блокам 2, 3, Ьтибо к блокам 4, 5. Управл ющий сигнал40 °™ первого дополнительного блоков вы- в устройстве 6 выбора максимума выраба-читани соединены с входами блока комму- тываетс в зависимости от значени сигна-тации, в 1ходы второго осноного и второго лов, которые поступают от устройств 3, 4дополнительного блоков вычитани соедине- подключенных к средним элементам обеихны с входами блока выбора максимума и линеек. Сигнал с блока 8 подаетс на блок 9,блока коммутаци, выход блока выбора мак- выходной сигнал которого пропорционален45 симума соединен с управл ющим входом частоте пространственной гармоники интер-блока коммутации, а выходы блока комму- ференционной картины в направлении рас-тации соединены с входами блока деле- положени фотоприемников.ки с вычитанием единицы.Таким образом, при вычислении частоты пространственной гармоники, котора пропорциональна(|Эif-где S,- - значение сигналов на выходе фотоприемников в линейке, устран етс неоднозначность, возникающа в случаеSi 54(2)82 83за счет использовани другой линейки, сдвинутой относительно первой на половину апертуры фотоприемнир а, так что условие (2) не может быть выполнено одновременно дл обеих линеек. Из двух линеек выби- раетс та, дл которой разность максимальна .Формула изобретениИзмеритеЛь периода пространственнойс квадратными апертурами и устройства обработки информации, содержащего два блока вычитани , блок делени с вычитанием единицы и блок вычислени arccos, отлича-ющиис тем, что, с целью повышени точности измерени , в каждый канал введена дополнительна , идентична основной, линейка фотоприемников, расположенна параллельно основной и сдвинутых относитель«о половину размера апертуры, а«о половину размера апертуры, ав устройство обработки информации введены два дополнительных блока вычитани , блок выбора максимума и блок коммутации, входы первого дополнительного блока вычитани подсоединены к выходам первого и четвертого фотоприемников дополнительной линейки, входы второго дополнительного блока вычитани подсоединены к выходам второго и третьего фотоприемников дополнительной линейки, выходы первого основ °™ первого дополнительного блоков вы- читани соединены с входами блока комму- тации, в 1ходы второго осноного и второго дополнительного блоков вычитани соедине- ны с входами блока выбора максимума и блока коммутаци, выход блока выбора мак- симума соединен с управл ющим входом блока коммутации, а выходы блока комму- тации соединены с входами блока деле- ки с вычитанием единицы.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874176187A SU1395952A1 (ru) | 1987-01-07 | 1987-01-07 | Измеритель периода пространственной гармоники |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874176187A SU1395952A1 (ru) | 1987-01-07 | 1987-01-07 | Измеритель периода пространственной гармоники |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1395952A1 true SU1395952A1 (ru) | 1988-05-15 |
Family
ID=21278455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874176187A SU1395952A1 (ru) | 1987-01-07 | 1987-01-07 | Измеритель периода пространственной гармоники |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1395952A1 (ru) |
-
1987
- 1987-01-07 SU SU874176187A patent/SU1395952A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Авторское свидетельство СССР № 1062518, кл. G 01 В 21/00, 1983. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105004273B (zh) | 一种激光干涉位移测量系统 | |
US6687008B1 (en) | Waveguide based parallel multi-phaseshift interferometry for high speed metrology, optical inspection, and non-contact sensing | |
JPH0125010B2 (ru) | ||
CN107806821B (zh) | 用集成四光电探测器的差分单频干涉信号处理装置及方法 | |
CN103528499B (zh) | 形貌补偿式双光轴线位移激光干涉仪校准方法与装置 | |
US5098190A (en) | Meterology using interferometric measurement technology for measuring scale displacement with three output signals | |
GB1096022A (en) | Improvements in or relating to apparatus for detecting and indicating the extent of relative movement | |
JPH10506719A (ja) | 2つの物体の相対的な変位を測定する光電式距離及び角度測定装置 | |
CN102252764A (zh) | 激光波长实时测量装置 | |
SU1395952A1 (ru) | Измеритель периода пространственной гармоники | |
GB1396423A (en) | Angle-measuring instrument | |
US3556660A (en) | Arrangement for interferometric measurement of a plurality of lengths with monochromatic light beams | |
US3271676A (en) | Three detector cycle counting means | |
JPS6038170Y2 (ja) | 光電型エンコ−ダの異常検出回路 | |
CN114234818B (zh) | 一种激光干涉位移测量系统及方法 | |
SU1254392A1 (ru) | Измеритель скорости перемещени прот женного объекта | |
SU1019233A1 (ru) | Двухкоординатный интерферометр дл измерени линейных перемещений | |
SU1425436A1 (ru) | Фотоэлектрическое устройство бесконтактного измерени перемещени объекта | |
SU1083070A2 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
WO2017122979A1 (ko) | 무게 측정 장치 | |
RU2011159C1 (ru) | Устройство для измерения перемещений и деформаций | |
SU1481596A1 (ru) | Устройство дл измерени перемещений объекта | |
RU1820203C (ru) | Устройство дл контрол положени объекта | |
SU1583735A1 (ru) | Индикаторный растр к четырехканальному фотоэлектрическому измерительному преобразователю | |
WO2016018092A1 (ko) | 무게 측정 장치 및 방법 |