SU1347428A1 - Суспензи дл обработки стекл нных изделий - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к электронной технике и может быть использовано дл  полировани  стекл нн х пластин при изготовлении фотошаблонов . Цель изобретени  - повьппение качества обработки стекл нных изделий. Цель достигаетс  за счет использовани  в суспензии следующих компонентов , Mac.Z: двуокись цери  с удельной поверхностью 5 10 -2-10 10-55, поверхностно-активное вещество , выбранное из группы: иминодиуксус- на , нитрилтриуксусна , этилендиамин- тетрауксусна  кислоты 0,01-0,1-, окись бора 0,05-0,15 и вода остапь™ ное. 1 табл.

Description

Изобретение относитс  к электронной технике и может быть использован дл  полировани  стекл нных пластин при изготовлении фотошаблонов.

Цель изобретени  - повышение качества обработки.

Изобретение иллюстрируетс  следующими примерами.

Пример. Дл  химикогмехани чес кой обработки стекл нных пластин было приготовлено п ть составов с содержанием компонентов, мас.%:

абразив на основе двуокиси цери  с удельной поверхност;ью 2-10,, 1,25-to , 5-10 з, 5-10, 2 ЮЗ - последовательно 10, 33, 55, 5, 60,

-к о МП л е т. с п : ( 11,1 п у I-;.. in г и ело Г а (или иминодиуксусна  - , нли н ит- рилтриуксус;:; } 1Г1 Л, n.:i;i зтилси;. амиитетрауксусна  - ЭДТА) - последо-- Еателыю 0,01; 0,06, 0,1; 0,005, 0,15;

-окись бора - последовательно 0,05; 0,1; 0,15; 0,03; 0,25;,

-вода - остальное.

Данные приоедены п таблице, где примеры 1,2, 3 - по предлагаемому изобретению; примерь Д, 5 - выход за пределы предлагаемого состава; приме 6 - известный состав. Составы приготавливали смешением компонентов.

Агрегативную устойчивость суспензии оценивали по анализу гранулокет- рического состава слиноп отработанных суспензий с помощью счет Ика-аиа лизатора Квантимет-720. За меру агрегативнрй устойчигизсти принимали увеличение содержани  частии размером 3 мкм по отношению к исходному составу абразивного по тошка.

Использование абразипного материала на основе двуокиси цери  с удельной поверхностью 5 10 - 2 10 см /г обеспечивает узкое фракционное раз деление частиц абразива по размерам, вследствие чего в процессе механической обработки абразивным материалом более равномерно поздействугот на поверхность стйкла, Э о улучшает качес

во поверхности Стекл нной пластины, снижаетс  веро тность по влени  дефектов механической обработки типа пыкольг и царапины.

Комплексоны относ тс  к мульти- дентатным ( полифункциональным) хе- латообразующим реагентам и характеризуютс  наличием циклических структур, образуемых в результате присоединени  не только окислов,  вл ющихс  составными част ми абразивного компонента, но и всех металлов, окислов металлов и катионов, переход п их в суспензию в процессе обработки.

Окись бора, имеюща  частичную растворимость в присутствии комплексо- оГ)р,т1 ои1Их КИСЛОТ, равномерно рас- иределиптс  в жидкой фазы г спои: ии за счет проход га.их процессов мицеллообразовани .

5

5

0

B

Введение окиси бора увеличивает твердость стекла, делает его более стойким к химическим воздействи м и менее чувствительным к резким измене 1И м температуры, В процессе Механической обработки стекл нных плас- T -ni Г рабочей зоне развеиваютс  высо- кио температуры. Окись бора при повы- сшккн температуры переходит в активное состо ние, а анион борной кислоты , В лаимодейству  с поверхностным слоем стекла, внедр етс  в поверхность , в результате чего образуетс  .,1й слой, приближенный по сост ву к натрийборосчпикатному стек- лу. Стекл нные пластины, обработан- ны предлагаемой суспензией, характеризуютс  повышенной стабильностью поверхности как по аналитическому состаиу, так и по физико-химическим снойг;г .1ам. Адгези  маскирующих слоев в этом случае более равномерна по поверхности стекла, сами покрыти  стабильны во времени по физико меха- ническим параметрам.

Результаты измерений свойств предлагаемого состава и известного состава представлены з таблице.

о oi

« сГ

in 1Л

. - fM - fM

«л

|Л

со « о о

09

о л м

« «о оо о

-.- {N

I I

«

т

о

о

k

о

«л СП ш

- о 1М

о о о

о

I

о

о о

i

if-Г

Ш 1Л оI

ШчО

X сЛ

tNl

о

о

X

ю

X X I

ш rs

s 1

Использование предлагаемой суспензии , как видно из таблицы увеличивает агрегативную устсгйчивость в 3,3 раза; снижает дефектность маскирующего сло  в 1,8 раза; увеличивает врем  п тнани  в 4,7 раза; улучшает качество обработки стекл нных пластин снижаетс  брак по выколем, царапинам , присушка абразива на 112.

Фор м у ла изобретени 

Суспензи  дл  обработки стекл нных изделий, включакца  абразив, водный раствор поверхностно-активного вещества и соединение бора, отличающа с  тем, что, с целью

Составитель И.Гинзбург Редактор Т.Иванова Техред Л.Сердюкова

2564 Тираж А19

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Рау ска  наб., д. 4/5

Кор Под

.Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Прое| тна , 4

А7Д28

повышени  качества обработки, она в качестве абразива содержит двуокись с удельной поверхностью 5 10- , в качестве поверхностно активного вещества - комплексообра- зующую кислоту, выбранную из группы иминодиуксусна , нитрилтриуксусна , зтилендиаминтетрауксусна , в качест- Q ве соединени  бора - окись бора при следующем соотно ени  компонентов, мас.Х:

Двуокись цери  10-55 )5 поверхностно- активное вецестио0,01-0,1 Окись бора0,05-0,15 ВодаОстальное

Корректор В.Вут Га Подписное

Claims (1)

1. Фор му ла изобретения

   28 ⁸ повышения качества обработки, она в качестве абразива содержит двуокись ί цер^я с удельной поверхностью 5·Ю³- ¹ ₅ 2-10*см²/г, в качестве поверхностно= активного вещества - комплексообразующую кислоту, выбранную из группы иминодиуксусная, нитрнлтриуксусная, этилендиаминтетрауксусная, в качество ве соединения бора - окись бора при следующем соотношения компонентов, мас.%:

   Суспензия для обработки стеклянных изделий, включающая абразив, вод- 15 ный раствор поверхностно-активного вещества и соединение бора, отличающаяся тем, что, с целью

   Двуокись церия поверхностноактивное вещество Окись бора Вода

   10-55

   0,01-0,1 0,05-0,15 Остальное