SU1322088A1

SU1322088A1 - Способ измерени радиуса кривизны поверхности оптической детали

Info

Publication number: SU1322088A1
Application number: SU843812742A
Authority: SU
Inventors: Александр Михайлович Горбань; Юрий Борисович Пасько; Валентин Константинович Резунков; Виктор Петрович Тетера; Валерий Петрович Ялинич
Original assignee: Предприятие П/Я Х-5827
Priority date: 1984-11-10
Filing date: 1984-11-10
Publication date: 1987-07-07

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл измерени преимущественно больших радиусов кривизны сферической поверхности оптических деталей. Контролируемую деталь устанавливают в резонаторы одновременно дв-ух лазеров с одинаковыми частотами, выравнивают частоты излучени , перемещают деталь в направлении , перпендикул рном ее.оптической оси, считают количество совпадений частот за врем перемещени детали и суд т об искомом радиусе кривизны по величине перемещени детали, соответствующей целому.числу совпадений частот, и количеству совпадений . Благодар суждению об искомом радиусе по количеству совпадений частот лазеров за врем перемещени контролируемой детали достигаетс упрощение процесса измерений. 2 ил. (Л

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл измерени преимущественно больших радиусов кривизны сферической поверхности оптических деталей.

Цель изобретени - упрощение процесса измерений благодар суждению об искомом радиусе по числу совпадений частот излучени лазеров во врем перемещени контролируемой детали при неподвижных зеркалах резонаторов.

На фиг.1 представлена оптическа схема, реализующа предлагаемый способу на фиг.2 - геометрические построени , по сн ющие вывод формулы дл нахождени искомого радиуса.

Схема (фиг.1) содержит два лазера состо щие из отражательных элементов 1, 2 и 3, 4 между которьми размещены активные элементы 5 и 6 соответствен но. Оси резонаторов показаны лини ми 7-10. Если измер ема оптическа деталь непрозрачна или имеет высокоотражающее покрытие, то резонаторы состо т из измер емой детали 11, актив- ных элементов 5 и 6 и отражательных элементов 2 и 4, т.е. отражательные элементы 1 и 3 в данном случае в измерении не участвуют. Выходные излучени 12 и 13 с частотами V и V по ступают в блок 14 сравнени Один из резонаторов (на фиг.1 - нижний) снабжен . устройством 15 перемещени отражательного элемента 4. в направлении оси 10 резонатора.

На фиг.2 показано исходное положение 16 сферы радиуса R с центром в точке О и положение 17 той же сферы при смещении на рассто ние х. О - центр смещенной сферы, d - рассто - ние между ос ми 8)|И 10 резонаторов. При смещении сферы на рассто ние х возникает оптическа разность хода b (показано дл случа отражени от сферы).

Из решени треугольников ACD и АО С можно получить

2R 4х + b

(1)

50

Учитыва , что реальна величина b соизмерима с А , т.е. составл ет доли и единицы микрометров, а величина х- единицы миллиметров, то с погрешностью менее 0,1%,

(2)

R - b

Измерени производ т следующим образом .

После установки детали 11 в ое зо- наторы, ее юстировкой добиваютс наличи генерации в обоих резонаторах и устройством 15, в качестве которого можно использовать, например, известное устройство, выравнивают частоты излучени , контролиру это блоком 14 сравнени . После этого смещают измер емую деталь в направлении, перпендикул рном ее оптической оси. При этом оптические дпины резонаторов не- прерьшно измен ютс . Частоты излучени лазеров совпадают .в те моменты, когда разность оптических длин резонаторов достигает величины, кратной половине длины волны:

, b п-у,

- любое натуральное число. (2) и (3) получаем

(3)

R

2 d.x

n;

При измерении оптически деталей

b т;.

пА

(5)

)

где П(| - показатель преломлени мате- . риала оптической детали,

™ к . 2.3.i(5..iJ). (е)

Измерив величину смещени контро- |Лируемой детали из исходного положени в положение, соответствующее п-му совпадению частот, величину искомого радиуса кривизны определ ют по формуле (4).

Claims

Формула изобретени Способ измерени радиуса кривизны поверхности оптической детали, заключающийс в том, что уста.навливают измер емую деталь так, что она располагаетс одновременно в резонаторах двух лазеров с одинаковыми частотами излучени , выравнивают частоты излучени лазеров, регистрируют исходное положение детали, соответствующее совпадению частот излучени , смещают измер емую деталь в направлении пр мой , проход щей через точки пересечени осей резонаторов с контролируемой поверхностью, сравнивают частоты излучени лазеров, измер ют величину смещени детали из исходного положени и определ ют радиус кривизны ее поверхности, отличающийс тем, что, с целью упрощени процесса

313220884

измерений, в процессе смещени детализарегистрированными положени ми детасчитают количество последующих совпа-ли, а об искомом радиусе Кривизны

дений частот излучени лазеров, ре-суд т по измеренной величине смещейи

гистрируют положение детали, соответ-детали и количеству совпадений частот

ствующее одному из последующих сов- излучени лазеров при смещении дета- падений частот, измер ют величину смещени детали между первым и вторым

ли между зарегистрированными положени ми .

,

А

:г- -излучени лазеров при смещении дета-

ли между зарегистрированными положени ми .

т

О б

,10 ч 15

/3

10

Редактор А.Сабо

Составитель М.Семчуков Техред А.Кравчук

Заказ 2853/36Тираж 677Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. А/5

Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4

Фиг..

Корректор Г.Решетник