SU1304532A1 - Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объекта - Google Patents
Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объектаInfo
- Publication number
- SU1304532A1 SU1304532A1 SU3868778/23A SU3868778A SU1304532A1 SU 1304532 A1 SU1304532 A1 SU 1304532A1 SU 3868778/23 A SU3868778/23 A SU 3868778/23A SU 3868778 A SU3868778 A SU 3868778A SU 1304532 A1 SU1304532 A1 SU 1304532A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- meter
- point
- space
- output
- recorder
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
1. Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объекта, содержащее точечный источник света, оптически сопряженный посредством формирователя когерентных точек с регистратором, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения и расширения диапазона измеряемых параметров, в него введены поляроид, оптически сопряженный с формирователем когерентных точек, светоделитель, размещенный между поляроидом и формирователем когерентных точек и оптически сопряженный с ними и посредством коллимирующей линзы с точечным источником света, коммутатор, первый и второй входы которого соединены соответственно с первым и вторым генератором управляющих сигналов, блок обработки сигнала, выполненный в виде вычислителей: величины перемещения объекта, скорости перемещения объекта, угловой скорости линии визирования, ускорения перемещения объекта, ускорения линии визирования, а также ширины полосы интерференционной картины, при этом первые входы блока измерения величины перемещения, скорости перемещения и ускорения линии визирования соединены с выходом измерителя ширины полосы интерференционной картины, а вторые входы блоков измерения величины и скорости перемещения объекта соединены с измерителем дальности, выход измерителя скорости перемещения соединен с входом измерителя ускорения перемещения, а выход измерителя угловой скорости линии визирования соединен с входом блока измерения ускорения линии визирования, а вход измерителя ширины полосы интерференционной картины соединен с выходом регистратора, при этом формирователь когерентных точек выполнен в виде пространственно-временного модулятора света, первый оптический вход которого оптически сопряжен посредством светоделителя и поляроида с регистратором, посредством светоделителя и коллимирующей линзы - с точечным источником света, и перед вторым оптическим входом которого расположен объектив, а выход коммутатора соединен с управляющим входом пространственно-временного модулятора света.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что точечный источник света выполнен в виде оптической системы, содержащей лазер с расположенными по ходу его излучения фокусирующей линзой и размещенной от нее на фокусном расстоянии диафрагмой.3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что коммутатор содержит четыре контакта, входы второго и четвертого из которых соединены с выходами первого и второго генераторов соответственно, а выходы первого и второго - с управляющим входом пространственно-временного модулятора света, двигатель постоянного тока, на валу которого закреплен непрозрачный диск с двумя отверстиями для экспонирования пространственно-временного модулятора света и три токопроводящих пластины, первая и вторая из которых предназначены для замыкания первого и второго контактов, а третья - третьего и четвертого контактов.4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что в качестве регистратора использована телевизионная камера.5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что пространственно-временной модулятор света выполнен в виде последовательно размещенных по ходу излучения стеклянной подложки, прозрачного электрода, слоя жидкого кристалла, прозрачной подложки, диэлектрического зеркала, полупроводникового слоя, прозрачного диэлектрического слоя, второго прозрачного электрода, второй стеклянной подложки, при этом первый и второй электроды соединены с первым и третьим контактами коммутатора.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3868778/23A SU1304532A1 (ru) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объекта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU3868778/23A SU1304532A1 (ru) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объекта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1304532A1 true SU1304532A1 (ru) | 2000-06-10 |
Family
ID=60519086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU3868778/23A SU1304532A1 (ru) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объекта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1304532A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
MD278Z (ru) * | 2010-02-10 | 2011-04-30 | Государственный Университет Молд0 | Метод измерения размеров микрообъектов |
MD4220C1 (ru) * | 2012-02-16 | 2013-11-30 | Государственный Университет Молд0 | Метод измерения размеров непрозрачных микрообъектов |
-
1985
- 1985-03-13 SU SU3868778/23A patent/SU1304532A1/ru active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
MD278Z (ru) * | 2010-02-10 | 2011-04-30 | Государственный Университет Молд0 | Метод измерения размеров микрообъектов |
MD4220C1 (ru) * | 2012-02-16 | 2013-11-30 | Государственный Университет Молд0 | Метод измерения размеров непрозрачных микрообъектов |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2312794A1 (fr) | Appareil de balayage optique, notamment pour enregistrement d'image par faisceaux lumineux module | |
SU1304532A1 (ru) | Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объекта | |
SU1370456A1 (ru) | Способ фиксации положени границы объекта | |
EP0310231B1 (en) | Optical measuring apparatus | |
GB1564781A (en) | Distance measuring devices | |
SU823850A1 (ru) | Устройство контрол угловыхпЕРЕМЕщЕНий | |
SU1265468A1 (ru) | Устройство дл измерени геометрических параметров пучка лазерного излучени | |
SU695307A1 (ru) | Мессбауэровский спектрометр с лазерным интерферометром дл абсолютного измерени скорости относительного перемещени | |
SU121859A1 (ru) | Оптическа система электрического нулевого индикатора | |
SU419721A1 (ru) | Оптическая система фотоэлектрических угломеров следящей отработки | |
SU1187133A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор | |
RU2052772C1 (ru) | Устройство для измерения дальности | |
SU765651A1 (ru) | Способ контрол линейных размеров периодических микроструктур | |
SU1552005A1 (ru) | Устройство дл расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм | |
SU1462097A1 (ru) | Устройство дл измерени спектральных характеристик излучени | |
SU968615A2 (ru) | Интерференционный измеритель перемещений | |
SU1476325A1 (ru) | Телефотометр | |
SU744352A1 (ru) | Устройство дл измерени посто нного напр жени | |
SU909637A1 (ru) | Устройство дл интерферометрического измерени высоких скоростей смещени поверхности | |
RU2047090C1 (ru) | Устройство измерения положения и поперечного размера детали | |
GB2209603A (en) | Precision angle and wavelength measurement apparatus using an acousto-optic cell | |
JPS56107106A (en) | Precision position-measuring device | |
SU104786A1 (ru) | Устройство дл измерени площадей плоских фигур, например, лекал швейных материалов | |
SU823852A1 (ru) | Устройство дл измерени размеровэлЕМЕНТОВ HA плОСКиХ Об'ЕКТАХ | |
SU451904A1 (ru) | Устройство дл контрол плоскопараллельности непрозрачных деталей |