MD278Z - Метод измерения размеров микрообъектов - Google Patents

Метод измерения размеров микрообъектов Download PDF

Info

Publication number
MD278Z
MD278Z MDS20100024A MDS20100024A MD278Z MD 278 Z MD278 Z MD 278Z MD S20100024 A MDS20100024 A MD S20100024A MD S20100024 A MDS20100024 A MD S20100024A MD 278 Z MD278 Z MD 278Z
Authority
MD
Moldova
Prior art keywords
micro
interference
measuring
size
raster
Prior art date
Application number
MDS20100024A
Other languages
English (en)
Romanian (ro)
Inventor
Аркадий КИРИЦА
Олег КОРШАК
Original Assignee
Государственный Университет Молд0
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственный Университет Молд0 filed Critical Государственный Университет Молд0
Priority to MDS20100024A priority Critical patent/MD278Z/ru
Publication of MD278Y publication Critical patent/MD278Y/xx
Publication of MD278Z publication Critical patent/MD278Z/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Изобретение относится к исследованию материалов с помощью оптических средств, в частности к методам измерения размеров микрообъектов.Метод измерения размеров микрообъектов состоит в том, что микрообъект освещается интерференционным растром с известным периодом, сформированным в результате интерференции лазерных пучков В1 и В2, затем предварительно увеличенное изображение интерференционной картинки проецируется на носитель для регистрации голограммы микрообъекта, размещается микрообъект в фокальной плоскости объектива микроскопа на носитель для регистрации голограммы, проецируется увеличенное изображение микрообъекта с наложением опорного интерференционного растра, сформированное лазерными пучками В1 и В2, затем восстановленное изображение микрообъекта проецируется на экран компьютера. Размеры микрообъекта определяются исходя из значений зарегистрированной голограммы интерференционного растра с известным периодом.
MDS20100024A 2010-02-10 2010-02-10 Метод измерения размеров микрообъектов MD278Z (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDS20100024A MD278Z (ru) 2010-02-10 2010-02-10 Метод измерения размеров микрообъектов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
MDS20100024A MD278Z (ru) 2010-02-10 2010-02-10 Метод измерения размеров микрообъектов

Publications (2)

Publication Number Publication Date
MD278Y MD278Y (en) 2010-09-30
MD278Z true MD278Z (ru) 2011-04-30

Family

ID=45815167

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MDS20100024A MD278Z (ru) 2010-02-10 2010-02-10 Метод измерения размеров микрообъектов

Country Status (1)

Country Link
MD (1) MD278Z (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MD4220C1 (ru) * 2012-02-16 2013-11-30 Государственный Университет Молд0 Метод измерения размеров непрозрачных микрообъектов
MD4295C1 (ru) * 2013-04-12 2015-02-28 Государственный Университет Молд0 Метод измерения размеров пятен нефтепродуктов на поверхности воды на расстоянии
CN105869491A (zh) * 2016-05-17 2016-08-17 北京理工大学 一种透射电镜教学模型的装置
CN105894926A (zh) * 2016-04-15 2016-08-24 北京理工大学 一种可视化透射电子显微镜演示装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MD1186Z (ru) * 2016-01-29 2018-03-31 Государственный Университет Молд0 Способ идентификации тонких пленок нефтепродуктов по их спектру фотолюминесценции на расстоянии

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MD294C2 (ru) * 1991-04-19 1995-12-31 Государственный Медицинский И Фармацевтический Университет "Nicolae Testemitanu" Республики Молдова Установка для демонстрации поляризационного метода микроскопии
SU1304532A1 (ru) * 1985-03-13 2000-06-10 Л.И. Слабкий Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объекта
RU2181498C1 (ru) * 2001-01-15 2002-04-20 Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория АМФОРА" Способ определения микрорельефа объекта и оптических свойств приповерхностного слоя, модуляционный интерференционный микроскоп для осуществления способа
RU2228516C2 (ru) * 2002-03-21 2004-05-10 Сибирская государственная геодезическая академия Интерференционный способ измерения расстояния (длины) и устройство для его реализации
SU1132673A1 (ru) * 1983-09-23 2004-08-10 Ю.Н. Власов Волоконно-оптический интерференционный преобразователь
RU2375701C1 (ru) * 2008-10-23 2009-12-10 Государственный научный центр Российской Федерации - Институт медико-биологических проблем Российской академии наук Прецизионный двухканальный спектральный флуориметр для регистрации и измерения динамики дифференциального флуоресцентного сигнала нано- и микрообъектов
RU2378976C2 (ru) * 2005-05-11 2010-01-20 Олимпус Медикал Системз Корп. Устройство обработки сигналов для устройства, предназначенного для биологических наблюдений
  • 2010

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1132673A1 (ru) * 1983-09-23 2004-08-10 Ю.Н. Власов Волоконно-оптический интерференционный преобразователь
SU1304532A1 (ru) * 1985-03-13 2000-06-10 Л.И. Слабкий Интерферометрическое устройство для измерения параметров движения объекта
MD294C2 (ru) * 1991-04-19 1995-12-31 Государственный Медицинский И Фармацевтический Университет "Nicolae Testemitanu" Республики Молдова Установка для демонстрации поляризационного метода микроскопии
RU2181498C1 (ru) * 2001-01-15 2002-04-20 Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория АМФОРА" Способ определения микрорельефа объекта и оптических свойств приповерхностного слоя, модуляционный интерференционный микроскоп для осуществления способа
RU2228516C2 (ru) * 2002-03-21 2004-05-10 Сибирская государственная геодезическая академия Интерференционный способ измерения расстояния (длины) и устройство для его реализации
RU2378976C2 (ru) * 2005-05-11 2010-01-20 Олимпус Медикал Системз Корп. Устройство обработки сигналов для устройства, предназначенного для биологических наблюдений
RU2375701C1 (ru) * 2008-10-23 2009-12-10 Государственный научный центр Российской Федерации - Институт медико-биологических проблем Российской академии наук Прецизионный двухканальный спектральный флуориметр для регистрации и измерения динамики дифференциального флуоресцентного сигнала нано- и микрообъектов

Non-Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Бабенко В.А., Константинов В.Б., Малый А.Ф. Возможность использования метода голографической интерференционной *
Бабенко В.А., Константинов В.Б., Малый А.Ф. Возможность использования метода голографической интерференционной микроскопии для исследования живых фазовых объектов, Письма в журнал технической физики, т. 33, в. 8, 2007, с. 77-80 *
Гинсбург В.Н., Степанов Б.М. Голографические измерения. Москва, Радио и связь, 1981, с. 296 *
Константинов В.Б., Бабенко В.А., Малый А.Ф. Голографический интерференционный микроскоп для исследования *
Константинов В.Б., Бабенко В.А., Малый А.Ф. Голографический интерференционный микроскоп для исследования микрообъектов, Журнал технической физики, т. 77, в. 12, 2007, с. 92-95 *
микрообъектов, Журнал технической физики, т. 77, в. 12, 2007, с. 92-95 *
микроскопии для исследования живых фазовых объектов, Письма в журнал технической физики, т. 33, в. 8, 2007, с. 77-80 *
Соколов М.Э. Современные методы визуализации фазовых объектов. Голографические методы и аппаратура, применяемые в *
Соколов М.Э. Современные методы визуализации фазовых объектов. Голографические методы и аппаратура, применяемые в физических исследованиях. Москва, Наука, 1987, с. 259 *
физических исследованиях. Москва, Наука, 1987, с. 259 *
Франсон М. Фазово-контрастный и интерференционный микроскоп. Москва, Гос. Издательство физ-мат. литературы, 1960, с. *
Франсон М. Фазово-контрастный и интерференционный микроскоп. Москва, Гос. Издательство физ-мат. литературы, 1960, с. 180 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
MD4220C1 (ru) * 2012-02-16 2013-11-30 Государственный Университет Молд0 Метод измерения размеров непрозрачных микрообъектов
MD4295C1 (ru) * 2013-04-12 2015-02-28 Государственный Университет Молд0 Метод измерения размеров пятен нефтепродуктов на поверхности воды на расстоянии
CN105894926A (zh) * 2016-04-15 2016-08-24 北京理工大学 一种可视化透射电子显微镜演示装置
CN105894926B (zh) * 2016-04-15 2018-05-08 北京理工大学 一种可视化透射电子显微镜演示装置
CN105869491A (zh) * 2016-05-17 2016-08-17 北京理工大学 一种透射电镜教学模型的装置
CN105869491B (zh) * 2016-05-17 2018-07-10 北京理工大学 一种透射电镜教学模型的装置

Also Published As

Publication number Publication date
MD278Y (en) 2010-09-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2012118322A3 (ko) 격자패턴투영장치
MD278Y (en) Method for measuring the size of micro-objects
IL230700B (en) Detection of defects in the chip
WO2016062785A3 (en) Smart photonic imaging method and apparatus
WO2012112894A3 (en) Focusing a charged particle imaging system
EP2601477A4 (en) Method for acquiring simultaneous and overlapping optical and charged particle beam images
IN2014DN03134A (ru)
WO2008123408A1 (ja) ３次元顕微鏡および３次元画像取得方法
EP2615825A3 (en) Image processing apparatus, image sensing appparatus, control method, program, and recording medium
WO2014080260A3 (en) Confocal imaging using astigmatism
WO2009043472A3 (de) Verfahren zur mikroskopischen dreidimensionalen abbildung einer probe
WO2015044035A8 (de) Lichtmikroskop und verfahren zum untersuchen einer probe mit einem lichtmikroskop
WO2013151421A8 (en) Integrated optical and charged particle inspection apparatus
EP2523043A3 (en) Substrate inspection apparatus and mask inspection apparatus
EP2387848A4 (en) Multiplexed imaging
MY156072A (en) Apparatus and method for inspecting an object with increased depth of field
WO2010140059A3 (en) Method and device for three-dimensional surface detection with a dynamic reference frame
ATE410719T1 (de) Projektionsvorrichtung und verfahren zur holographischen rekonstruktion von szenen
GB2488913B (en) Information capture system
MX2017004962A (es) Sistema y metodo detector de fugas de aceite.
WO2014020603A3 (en) Increasing an area from which reconstruction from a computer generated hologram may be viewed
EP3139213A3 (en) Defect inspecting method, sorting method and producing method for photomask blank
WO2012156462A3 (de) Verfahren zur erzeugung und auswertung eines bilds
PH12018502032A1 (en) Image processing apparatus, imaging apparatus, and control methods thereof
IN2014KN01351A (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
KA4Y Short-term patent lapsed due to non-payment of fees (with right of restoration)