Изобретение относитс к измерительн ой технике, а именно к определению свойств диэлектрических телено Цель изобретени - повышение информативности путем определени диэлектрической проницаемости5 пористости , прочностных и в зкоупругих свойств пленки, На чертеже представлено устройст во дл испытани диэлектрических пленок. Устройство содержит электропроводную подложку 1 с размещенной на ней диэлектрической пленкой 2, индентор 3 с электропроводной поверхностью , узел 4 нагружени с силоизмерителем 5, выполненным, например, в виде электромеханического датчика силы, а также два емкостных датчика 6 и 7, общей обкладкой которых вл етс подложка 1, а двум другими обкладками - индентор 3 и жестко соединенна с ним диэлектрической п ремычкой 8 электропроводна пластина 9, расположенна над подложкой 1 в зоне вне пленки 2, измерительноинформационную систему 10, включающую блок 11 регистрации нагрузки, св занный G силоизмерителем 5, блоки 12 и 13 регистрации емкостей, св занные с датчиками 6 и 7, блок 14 сравнени емкостей, блок 15 регистрации временной зависимости изменени относительной диэлектрической проницаемости, блок 16 регистра ции глубины внедрени индентора И:, программное устройство 17, включающее блок 18Опорных напр жений и ус литель преобразовател 19, которое соединено с узлом 4 нагружений вкл чающим, кроме того, узел 20 дл закручивайи индентора 3-вокруг оси. Устройство работает следухицим образом. Диэлектрическую пленку 2 помещают на электропроводную подложку 1, нагружают индентор 3 с помощью узла 4 нагружени по заданному программным устройством 17 закону, например с посто нной скоростью деформации. Силоизмерителем 5 в каждый момент времени измер ют силу нагружени . Сигнал с силоизмерит.ел 5 подают в блок 11 регистрации нагрузки измерительноинформационной системы 10. Одновременно при нагружении индентора 3 в блоки 12 и 13 регистрации емкостей измерительно-информационной системы 10 подают сигналы с емкостных датчиков 6 и 7, а блок 14 сравнени .измерительно-информационной системы 10 регистрирует и сравнивает эти сиг- налы. Сигнал управлени о( (t) узлом 4 нагружени формируетс блоком 18 опорных напр жений программного устройства 17 и через усилительпреобразователь 19 задает закон нагружени , Способ испытани диэлектрических пленок реализуетс следующим образом. При вдавливании индентора в пленку измер ют силу вдавливани PCt)-, а также электрические емкости между индентором и подложкой с пленкой и воздушного зазора, завис щего от перемещени ин,цейтора, сравнивают эти емкости, по результатам сравнени определ ют глубину внедрени индентора СР (t) и диэлектрическую проницаемость 6(t) и по полученным данным определ ют пористость, твердость и другие механические характеристики пленки. Пористость пленки определ ют по формуле бкН Бч- т где К - относительна объемна концентраци пор в пленке относительна диэлектричес ка проницаемость компактного материала. Твердость пленки определ ют по о ношению нагрузки P(t) к остаточной глубине внедрени индентора о (t) после сн ти нагрузки либо по отношению нагрузки P(t) к площади пластического отпечатка, определ емой по глубине внедрени индентора. Пластические и прочностные свойства определ ют из диаграмм зависимостей Р(сУ) . В зкоупругие свойства определ ют из диаграмм зависимостей P(t) и (t), где t -врем нагружени и вне рени индентора. Дизлектрическую проницаемость пр вдавливании плоского индентора определ ют по формуле дл плоского ко денсатора, а при вдавливании сфери , ческого индентора .по формуле АС t . 1 где АС - изменение емкости между индентором и подложкой; R - радиус индентора, м; h - толщина пленки, мсС - глубина внедрени индентора , м; &о электрическа посто нна 8,854-10 Ч/м. В некоторых случа х требуетс управл ть нагружением по сложному закону, завис щему от изменени одной из регистрируемых величин P(t), J(t)., ;:(t) , Дл этого нагружение лндентора провод т по крайней мере дважды, причем при первом тестовом нагружении, например при монотонновозврастающей нагрузке, определ етс характер изменени регистрируемы величин,, а затем провод тс последующие нагружени по закону o((t) в зависимости от изменени одной из этих величин, например в испытани х на ползучесть при определенном уровне нагрузки P(t) const. При испытани х представл ет интерес определение механических свойств пленки (предела упругости, текучести прочности) при деформировании ее по сложному закону нагружени . Дл этого индентор при йдавливании его в пленку одновременно закручивают вокруг оси. Дл определени предела выносливости пленки, а также площади петли гистерезиса нагрузка-деформаци при .чередующейс нагрузке и разгруке нагружение индентора провод т циклически , измен нагрузку по периодическому закону. . Диэлектрические пленки в общем случае материалы пористые, и концентраци пор в зоне вдавливани индентора измен етс . Однако при эксплуатации пленбк необходимо знать зако-. ны нагружени , при которых пористость их остаетс посто нной. Дл этого процесс вдавливани плоского индентора в пленку провод т при посто нной величине отношени измер емых емкостей. В этом случае сохран етс посто нным значение диэлектрической проницаемости пленки (t) под инд-ентором и, как следует из формулы дл К, концентраци пор тоже будет посто нной. При испытани х очень твердых диэлектрических пленок индентор в процессе испытаний деформируетс вдоль оси приложени нагрузки, причем величина деформации становитс сравнимой с толщиной пленки и ее необходимо учитывать при исследовани х свойств пленки. Дл этого предварительно устанавливают величину воздушного зазора емкостного датчика 7 равной толщине пленки, нагружают индентор 3 до исчезнбвени воздушного зазора, т.е.- до касани электро проводной пластиной 9 подложки 1, и по величине емкости датчика 6 суд т о величине деформации индентора 3. Формула изобретени 1. Способ испытани диэлектрических пленок, заключающийс в том, что пленку помещают на электропроводную подложку, нагружают индентор, вдавливают, его в пленку, определ ют силу вдавливани , по величине которой определ ют твердость, отличающийс тем, что, с целью повышени информативности, измер ют дополнительно электрическиеемкости между индентором и подложкой с пленкой и воздушного зазора, завис щего 5 от перемещени индентора, сравниваю их, определ ют глубину внедрени индентора и с ее учетом определ ют твердость,диэлектрическую проницаемость , пористость, пластические, прочностные и в зкоупругие свойства пленки,