SU1245881A1 - Способ измерени толщины покрыти - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к измерительной технике и предназначено дл  измерени  толщины покрыти . Цель изобретени  - повышение точности измерени  толщины покрыти  переменного состава путем исключени  зависимости результатов измерени  от состава покрыти . Облучают изделие со стороны покрыти  и со стороны основани  рентгеновским излучением одной энергии и регистрируют интенсивности (соответственно I и 1) рассе нного излучени . Определ ют логарифм отнощени  интенсивностей I и 1, величина которого зависит от состава покрыти  /и и от толщины покрыти  ш. Измерение провод т последовательно в нескольких точках, фиксируют минимальную толщину логарифма отношени  и определ ют толщину покрыти  по формуле m A I,n , где J - интенсивность рассе нного в покрытии излучени ; А - коэффициент пропорциональности, получаемый от предварительно построенного графика , имеющего вид линейной функции. 1 ил, i (Л to li СД СХ) 00

Description

«

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике, з частности к области исследовани  материалов с помощью отраженного излучени , и предназначено дл  измерени  толщины покрыти .

Цель изобретени  - повьппение точности измерени  толщины покрыти  переменного состава путем исключени  зависимости результатов измерени  от состава покрыти .

На чертеже изображено устройство дл  реализации предлагаемого способа . .

Измерение толщины покрыти  осуществл ют сл едующим образом.

Потоками рентгеновского излучени  одной энергии рентгеновских источников 1 и 2 облучают контролируемое изделие со стороны покрыти  3 и со стороны основани  4. Со стороны источников излучени  относительно конт золируемого издели  регистрирую интенсивность рассе нного излучени  детекторами 5 и 6 (1 и 1). Между источником 1 излучени  детектором 5 пред)зарительно устанавливают защитный экран 7 толщиной, обеспечивающей защиту детектора 5 от пр мого излу- чени  источника 1 и от попадани  квантов рассе нного в покрытии излучени  в детектор 5. Защитный экран 8, такой же как и экран 7, обеспечивает заш.иту детектора 6 от пр мого излучени  источника 2 и одинаковые услови  измерени  йнтенсивностей рассе нного излучени  детекторами 5 и 6. Определ ют логарифм отношени  интенсивности рассе нного излучени  I , регистрируемой детектором 5, и интенсивности рассе нного излучени  Тд, регистрируемой детектором 6 с помощью блока 9 и индицируют выходным прибором 1 о

Еп(-- ,i, i

. п/ -

j,,m/ Р ГО

где f-i - коэффициент ослаблени  материала покрыти  дл  первой энергии облучени  Е; m толщина покрыти ,.

Вапичи 1а tn - зав1 сит от состава

- -1 . покрыти  д, и от толщины покрыти  т.

Указанное измерение провод т последовательно в нескольких точках контролируемого издели  и фиксируют

5

0

5

0

5

минимаг№ную величину логарифма отношени  . По предварительно сн тому графику зависимости энергии облуче- ни  Е, дл  которой толщина покрыти   вл етс  насыщенным слоем, от

- определ ют энергию облучени  Е . -м

Устанавливают на рентгеновском источнике 1 напр жение питани , обеспечивающее энергию облучени  второй энергией Е, облучают потоком рентгеновского излучени  этой энергии контролируемое изделие со стороны покрыти  3. Регистрируют интенсивность I рассе нного в покрытии излучени  детектором 5, дл  чего экран 7 устанавливают в положение, обеспечивающее показание квантов рассе нного в покрытии излучени  в детектор 5, а коммутатор Л 1 - в положение , обеспечивающее поступление сигнала с детектора 5 на выходной показывающий прибор 12

где .,,- коэффициент ослаблени  материалом покрыти  излучени  энергии Е ; К - функци  рассе ни , не завис ща  от энергии облучени .

Умножают величину интенсивности I на логарифм отнощени  величин йнтенсивностей , зарегистрированных детекторами 5 и 6 при начальной энер-. гии облучени  Е.:

40

-г 9п J.n,

и определ ют толщину покрыти  по

« A:I,,.fn - ,

где А коэффициент пропорциональности , получаемый от предварительно построенного графика, который имеет вид линейной функции.

55

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ измерени  толщины покрыти , заключающийс  в том, что контролируемое изделие облучают пучком рентгеновского излучени , регистрируют интенсивность рассе нного излучени  от основани  без покрыти  и интенсивность рассе нного излучени  от основани  с покрытием, наход т их отношение и определ ют толщину покрыти , отличающий- с   тем, что, с целью повышени  точности измерени  толщины покрыти  переменного состава, по величине найденного отношени  интенсивностей рассе нного излучени  определ ют энергию, дл  которой толщина покрыти   вл етс  насьш;енным слоем, пучком рентгеновского излучени  указанной энергии облучают контролируемое изделие со стороны покрыти , регист2458814

   рируют интенсивность рассе нного излучени  и определ ют толщину покрыти  m по формуле

   m АГ En -- ,

   где А - коэффициент пропорциональности;

   I - интенсивность рассе нного в покрытии излучени  при определенной энергии пучка рентгеновского излучени ; I , - интенсивности рассе нного 1 излучени  пучка рентгеновс- кого излучени  от основани  без покрыти  и с покрытием .

   7//7/ Ж)9Я7//////////У///9,

   /

   Составитель В.Парнасов Редактор А.Козориз Техред М.Ходанич Корректор В.Бут га

   3985/31

   Тираж 670Подписное

   ВНИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д.4/5

   Производственно-полиграфическое предпри тие, г.Ужгород, ул.Проектна ,4