SU1270561A1

SU1270561A1 - Способ контрол шероховатости поверхности

Info

Publication number: SU1270561A1
Application number: SU843800063A
Authority: SU
Inventors: Виктор Валентинович Зверев; Дмитрий Петрович Иванов; Александр Евгеньевич Янчукович
Original assignee: Ленинградский Ордена Ленина Политехнический Институт Им.М.И.Калинина
Priority date: 1984-10-05
Filing date: 1984-10-05
Publication date: 1986-11-15

Abstract

Изобретение относитс к конт- , рольно-измерительной технике и может быть использовано дл экспре.ссного контрол степени шероховатости поверхности . Цель изобретени - повьппение точности контрол путем использовани вторичного характеристического рентгеновского излучени от контролируемого образца. Выбирают эталонный образец из материала контролируемой .поверхности с известной шероховатостью . Образец и контролируемую поверхность облучают пучком ионизирующего излучени , регистрируют интенсивности характеристических рентгеновских излучений от образца и поверхности, а величину шероховатости поверхности определ ют по разности зарегистриро;ванных интенсивностёй. W

Description

ю

Изобретение относитс к способам технических измерений и может быть использовано дл экспрессного кон:трол степени шероховатости, в том числе в системах автоматического кон:трол .

Цель изобретени - повьшшние точно-сти контрол путем использоввни вторичного характеристического рентгеновского излучени от контролируемого образца.

Способ осуществл етс следующим образом.

Поверхности эталонного и контролируемого образцов последрвательно облучают пучком первичного ионизирующего излучени и регистрируют интенсивность вторичного характеристического рентгеновского излучени от обоих образцов . В качестве эталонного образца выбираетс образец с химическим составом , аналогичным составу контролируемого образца, и с известной щероховатостью поверхности. Измерени провод т по наиболее интенсивной лиНИИ спектра вторичного характеристического рентгеновского излучени ,, напри1 ер , по К| - линии элемента, присутствующего в образце в наибольшем количестве, в качестве которого, например , выбирают при контроле поверхностей образцов из дерева или органических материалов углерод, из стекла или керамики - кремний, из алюминиевых сплавов - алюминий, из стали других сплавов на основе железа (инвар, пермалой, фехраль и др.) - железо, из спланов на основе меди латунь, константан, манганин, нейзильбер, никелин , реотан и др.) - медь, из сплавов на основе никел (инконель, м6нель , нихром и др.) никель и т.д. В качестве первичного ионизирующего излучени используют излучение, наиболее эффективно возбуждающее вторичное характеристическое рентгеновское излучение, например, дл возбуждени атомов с атомным номером, метльтим 13 -об-частиц, дл возбуждени более т желых атомов - м гкое рентгеновское излучение, источниками которых могут быть рентгеновские трубки, радиоизотопные источники, ускорители зар женных частиц. Энергию первичного излучени выбирают такой, чтобы его проникающа способность бьша одного пор дка с характерными размерами шероховатостей , но большей энергии ионизации , соответствующей внутренней оболочки атома дл м гкого рентгеновского излучени , и большей 1 МэВ дл

с гчастиц. Угол падени первичного излучени выбирают в пределах 10-30, что повьппает чувствительность измерений . Угол регистрации вторичного характеристического рентгеновского излучени должен составл ть 80-90°, что снижает вли ние химического состава контролируемых образцов на результаты измерений. Изменение степени шероховатости облучаемой поверх5 ности приводит к изменению интенсивности вторичного характеристического рентгеновского излучетш , при этом увеличение шероховатости вЪТзьшаёт уменьшение интенсивности вторичного

0 излучени . Максимальное изменение интенсивности вторичного излучени наблюдаетс при изменении характерных размеров шероховатостей поверхности образца в пределах от величины

5 ПОЛНОГО: пробега об-частиц в веществе образца до дес ти величин полного пробега. При возбуждении рентгеновским излучением в качестве величины полного пробега используют величину, обратную линейному коэффициенту ослаблени первичного рентгеновского излучени веществом образца. При указанных . геометрических услови х и пределах изменени шероховатости поверх , ности изменение интенсивности вторич5 ного характеристического рентгеновского излучени составл ет от 30до 60% в зависимости от геометрии измерений , энергии первичного.излучени и образца. Сравнива интенсивности вторичного характеристического рентгеновского излучени от эталонного и контролируемого образцов, по разности зарегистрированных интенсивностей суд т о шероховатости контролиру5 емой поверхности.

Claims

-Формулаиз обретени

Способ контрол шероховатости поверхности , заключающийс в том, что контролируемую поверхность облучают пучком первичного ионизирующего излучени , регистрируют интенсивность вторичного излучени и определ ют ве5 личину шероховатости поверхности, отличающийс тем, что, с целью повьш1ени точности контрол , в качестве вторичного излучени ре3 .12705614

гистрируют интенсивность характерис--геновского излучени от эталонного

тического рентгеновского излучени ,образца и определ ют величину шероховыбирают эталонный образец из мате-ватости поверхности по разности зарериала контролируемой поверхности с :гистрированных интенсивностей хаизвестной шероховатостью, направл ют sрактеристического рентгеновского

на эталонный образец превичного иони-излучени от эталонного образца

зирующего излучени , регистрируют ин-и от контролируемой поверхнос тенсивность характеристического рент-ти.