SU1237387A1 - Method of working plain surfaces of optical parts - Google Patents

Method of working plain surfaces of optical parts Download PDF

Info

Publication number
SU1237387A1
SU1237387A1 SU853861471A SU3861471A SU1237387A1 SU 1237387 A1 SU1237387 A1 SU 1237387A1 SU 853861471 A SU853861471 A SU 853861471A SU 3861471 A SU3861471 A SU 3861471A SU 1237387 A1 SU1237387 A1 SU 1237387A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
tool
optical parts
working surface
curvature
diamond
Prior art date
Application number
SU853861471A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Юрий Даниилович Филатов
Валентин Васильевич Рогов
Лазарь Леонидович Бурман
Александр Иванович Иванов
Евгений Федорович Пятак
Original Assignee
Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср filed Critical Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср
Priority to SU853861471A priority Critical patent/SU1237387A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1237387A1 publication Critical patent/SU1237387A1/en

Links

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Description

Изобретение относитс  к технологии обработки оптических деталей из стекла, керамики , кварца и других неметаллических материалов , примен ющихс  в оптико-механической , приборостроительной и других отрасл х промышленпости.The invention relates to the processing technology of optical parts made of glass, ceramics, quartz, and other non-metallic materials used in optical-mechanical, instrument-making, and other industries.

Цель изобретени  - повышение точности формообразовани  поверхностей оптических деталей за счет исключени  погрешности формообразовани  путем деформации инструмента.The purpose of the invention is to improve the accuracy of shaping the surfaces of optical parts by eliminating the shaping error by deforming the tool.

При реализации данного способа обработки плоских поверхностей оптических деталей возникает возможность измен ть форму рабочей поверхности инструмента за счет деформации его корпуса, вызываемой силой прижима Р инструмента и детали друг к другу, непосредственно в процессе обработки. Однако регу.чированием усили  прижима можно деформировать корпус инструмента только в сторону увеличени  выпуклости его прилегающей к алмазно-абразивному слою поверхности. Если придать рабочей поверхности алмазно-абразивного сло  инстру.мен- та первоначалы;о вогнутую форму, то деформированием корпуса инструмента можно достичь ее выравнивани  и даже изгиба в сторону выпуклости в процессе обработки.When implementing this method of processing the flat surfaces of optical parts, it becomes possible to change the shape of the working surface of the instrument due to the deformation of its body, caused by the pressing force P of the tool and the part to each other, directly during processing. However, by adjusting the pressing force, the tool body can be deformed only in the direction of increasing the convexity of its surface adjacent to the diamond abrasive layer. If you give the working surface of the diamond abrasive layer a tool of originals; about a concave shape, then by deforming the tool body it is possible to achieve its alignment and even bending in the direction of the convexity during processing.

Таким образом, форма рабочей поверхности инструмента должна быть вогнутой, а усилие прижима должно быть таким, чтобы обеспечить изгиб инструмента на его краю на велич ину, равную стреле вогнутости рабочей поверхности инструмента ДЬ )/8R (D - - диаметр инструмента). Кроме того, радиус кривизны рабочей поверхности инструмента должен бьгпз }ie менее 0,8 () м, так как при меньших его значени х выравнивание рабочей поверхности инструмента в процессе обработки требует значительных нагрузок ( 4000 Н), обеспечить которые на примен ющемс  в насто щее врем  в промышленности оборудовании невозможно, что отрицательно вли ет на точность формообразовани  плоских поверхностей оптических деталей.Thus, the shape of the working surface of the tool must be concave, and the clamping force must be such as to ensure the bend of the tool at its edge by a magnitude equal to the arrow of the concavity of the working surface of the tool D) / 8R (D is the diameter of the tool). In addition, the radius of curvature of the working surface of the tool should be i.e. less than 0.8 () m, since at its lower values the alignment of the working surface of the tool during processing requires significant loads (4000 N), which can be achieved with the current Time in the equipment industry is impossible, which negatively affects the accuracy of shaping the flat surfaces of optical components.

Пример. Лл  осуществлешт способа нснользова. 1с  то)цовый н лнфовальный круг - корпус диаметром 400 мм, с рабочей поверхностью алмазоносного сло  вогну- 1ОЙ формы со стрелой вогнутости Ah И) мкм. Шлифовались оптические детали (блоки 0350 мм) на станке ПЬМ-100 (фирмы «LOH, ФРГ). Вращение инструмента и блока обрабатываемых деталей осуихест- вл лось со скорост ми 68 с и 67 с соответственно . Цикл обработки 60 с. Форма рабочей поверхности инструмента и плоскостность обработанной поверхности определ лись при помон1,и измерительной скобы и интерференционным методом соответственно.Example. Ll will implement the way of using. 1c then the circle is a casing with a diameter of 400 mm, with a working surface of the diamond layer of a concave shape with an arrow of concavity Ah I) μm. The optical parts (blocks of 0350 mm) were ground on a PMM-100 machine (LOH, Germany). The rotation of the tool and the block of the machined parts was osuichest at speeds of 68 s and 67 s, respectively. Processing cycle 60 s. The shape of the working surface of the instrument and the flatness of the machined surface were determined by means of the measuring device, and the measuring bracket and the interference method, respectively.

Усилие прижима, при котором осуществл лс  процесс тонкого шлифовани  плоских юверхностей оптических деталей алмазнымThe clamping force at which the process of fine grinding of flat surfaces of optical parts with diamond was carried out

инструментом толщиной 25 мм, корпус которого изготовлен из стали с модулем упругости Е 20-10 Н/м, рассчитывалось следующим образом. Радиус кривизны поверхности алмазной планн айбы равенtool 25 mm thick, the body of which is made of steel with an elastic modulus of E 20-10 N / m, was calculated as follows. The radius of curvature of the surface of the diamond plan aibs is equal to

R DV8Ah(0,4) /8-10-10 2-10 м, а усилие прижима Р составл етR DV8Ah (0.4) / 8-10-10 2-10 m, and the pressing force P is

Р 125:P 125:

)- 20- 10) - 20-10

1562 Н. 1562 N.

2- 102-10

РезультатЕз расчета Р дл  разных R приведены в таблице (п.З-8). При таких величинах усили  прижима было обработано 20 блоков оптических деталей, при этом точность обработки составл ла N 0.25 - 1,0 мкм на диаметре 350 мм. При обработке поверхностей оптических деталей гфи помопди инструмента с радиусом кривизны рабочей поверхности ,8- 0 (н. 1---2) усили  прижима Р 4000 Н (максимального дл  станка PLM--400) было недостаточно дл  деформации корпуса инструмента , выравнивающей его рабочую поверхность , в результате чего значительно снижалась точность формообразовани  оптических деталей.The result of calculating P for different R is given in the table (clause 3-8). With these values, the pressing force was processed 20 blocks of optical parts, while the processing accuracy was N 0.25 - 1.0 µm on a diameter of 350 mm. When machining the surfaces of optical parts of a gfi pompi tool with a radius of curvature of the working surface, 8-0 (n. 1 --- 2), the clamping force P 4000 N (maximum for the PLM-400 machine) was not enough to deform the tool body that aligns its working surface, resulting in significantly reduced the accuracy of shaping optical parts.

В таблице представлено вли ние кривизны рабочей поверхности инструмента на точность формообразовани  плоских поверхностей оптических деталей.The table shows the effect of the curvature of the working surface of the instrument on the accuracy of shaping the flat surfaces of optical components.

0,6 0,7 0,8 0,90.6 0.7 0.8 0.9

39003900

35003500

31003100

21002100

2,02.0

15001500

5555

12001200

1237387 341237387 34

Тонкое шлифование плоских поверхнос-тотипа (10 блоков). При этом неплоскосттей оптических деталей осуществл лось так-ность обработанных поверхностей на том жеFine grinding of flat surface-type (10 blocks). At the same time, the non-flatness of the optical parts made the so-called surface of the treated surfaces on the same

же и способом, прин тым в качестве про-диаметре (350 мм) составл ла 10-25 мкм.the same method adopted as the pro-diameter (350 mm) was 10–25 µm.

Claims (1)

СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ инструментом в виде закрепленного на корпусе алмазно-абразивного покрытия, при котором деталь и инструмент прижимают друг к другу и сообщают им вращение и относительное возвратно-поступательное перемещение, отличающийся тем, что, с целью повышения точности формообразования поверхностей, обработку ведут инструментом с рабочей поверхностью вогнутой формы, радиус кривизны R которой не менее 800 м, при этом усилие прижима Р выбирают из условияMETHOD FOR PROCESSING FLAT SURFACES OF OPTICAL DETAILS with a tool in the form of a diamond-abrasive coating fixed on the body, in which the part and the tool are pressed against each other and give them rotation and relative reciprocating movement, characterized in that, in order to improve the accuracy of surface formation, processing lead a tool with a concave-shaped working surface, the radius of curvature R of which is not less than 800 m, while the clamping force P is chosen from the condition Р =-^-F 1 R Е, где h — толщина корпуса инструмента, м; Е — модуль упругости материала корпуса инструмента, Н/м2.P = - ^ - F 1 R E, where h is the thickness of the tool body, m; E - modulus of elasticity of the material of the tool body, N / m 2 . КЗ со со QO >Short circuit with QO> инструментом толщиной 25 мм, корпус которого изготовлен из стали с модулем упругости Е == 2О-1О10 Н/м2, рассчитывалось следующим образом. Радиус кривизны поверхности алмазной планшайбы равенa tool with a thickness of 25 mm, the casing of which is made of steel with an elastic modulus E = 2O-1O 10 N / m 2 , was calculated as follows. The radius of curvature of the surface of the diamond faceplate is R = D2/8Ah= (0,4)2/8-1О-1О6=2- 10:! м, а усилие прижима Р составляетR = D 2 / 8Ah = (0,4) 2 / 8-1O-1D 6 = 2- 10: m, and the clamping force P is
SU853861471A 1985-03-04 1985-03-04 Method of working plain surfaces of optical parts SU1237387A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853861471A SU1237387A1 (en) 1985-03-04 1985-03-04 Method of working plain surfaces of optical parts

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853861471A SU1237387A1 (en) 1985-03-04 1985-03-04 Method of working plain surfaces of optical parts

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1237387A1 true SU1237387A1 (en) 1986-06-15

Family

ID=21164915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853861471A SU1237387A1 (en) 1985-03-04 1985-03-04 Method of working plain surfaces of optical parts

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1237387A1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Технологи оптических деталей. Под ред. М. Н. Семибратора, М.: Машиностроение, 1978, с. ПО-114, рис. 59. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100201791B1 (en) Method and apparatus for forming a convex tip on a workpiece
JP2582030B2 (en) Method for manufacturing semiconductor wafer
KR100393740B1 (en) Shape control method and NC processing equipment by this method
KR0158005B1 (en) Spherical working device
SU1237387A1 (en) Method of working plain surfaces of optical parts
KR20000062828A (en) Grinding method, semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device
JP3493208B2 (en) Method of manufacturing plate having flat main surface and method of manufacturing plate having two parallel main surfaces
US6055976A (en) Method of preparing end faces on integrated circuits
SU1255400A1 (en) Method of locking optical components
JP2930356B2 (en) Processing jig
KR960005295B1 (en) Device and method for grinding cylinderical surfaces externally
KR940010329B1 (en) Working device
KR960005294B1 (en) Device and method for grinding cylinderical surfaces externally by using multi-clamp
SU1077764A1 (en) Method of machining optical parts
KR960005296B1 (en) Device and method for centerless grinding cylinderical surfaces externally
WO2024181194A1 (en) Device and method for truing grinding stone
SU1678538A1 (en) A method of shaping precise fashioned surfaces
SU865619A1 (en) Method of working the aspherical surfaces of an optical component
RU93044952A (en) METHOD OF MAKING ELASTIC SUSPENSION FROM QUARTZ OPTICAL GLASS
RU2024386C1 (en) Method for machining flat surfaces of rectangular workpieces
SU1577942A1 (en) Method of working surfaces of optical components
SU1646825A1 (en) Face grinding tool
JPH06114745A (en) Grinding wheel for grinding semiconductor wafer
SU1278182A1 (en) Method of ultrasonic non-abrasive treatment
JPS6328552A (en) Nonspherical face machining method