SU1186937A1

SU1186937A1 - Способ изготовлени меры толщины покрыти

Info

Publication number: SU1186937A1
Application number: SU843743356A
Authority: SU
Inventors: Рейн Антсович Лаанеотс
Original assignee: Таллинский Политехнический Институт
Priority date: 1984-05-16
Filing date: 1984-05-16
Publication date: 1985-10-23

Abstract

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ №РЫ ТОШЩНЫ ПОКРЫТИЯ, заключающийс -в доводке базовой поверхности подложки , нанесении покрыти и аттестации толщины покрыти , отличающийс тем, что, с целью упрощени технологии изготовлени покрытий переменной толщшш, базовую поверхность подножки выполн ют цилиндрической или сферической, покрытие нанос т на всю поверхность и затем обрабатывают базовую и противолежащую ей поверхности до обеспечени их плоскопараллельности .

Description

1

Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к средствам поверки толщиномеров покрытий .

Цель изобретени - упрощение технологии изготовлени покрытий переменной толщины.

На фиг.1 представлена мера толщины покрыти , вид спереди; на фиг.2 - мера с цшшндрической базовой поверхностью, подложки, вид сверху; на фиг.З - мера со сферической базовой поверхностью подложки , вид сверху.

Изготовленна предлагаемьв способом мера толщины покрыти содерMiT подло ску 1 и покрытие 2. Базова поверхность подложки 1 под покрытие 2 вьшолнена цили1адрической (фиг.2) или сферической (фиг.З) с радиусом кривизны R . В середине части подложки 1 может быть вьшолнен плоский участок 3 дл настройки на ноль толщиномеров покрыти , тогда покрытие 2 нанесено на базовУк поверхность подложки 1 так, что верхн поверхность покрыти 2 совпадает с поверхностью участка 3. Прочие размеры меры определ ютс , исход из размеров и характеристик датчиков повер емых толщиномеров.

Способ изготовлени меры толщины покрыти осуществл етс следующим образом.

Изготавливают из нужного материала подложку. Базовую поверхность подлоркки выполн ют тдапиндрической или сферической и осуществл ют до .водку указанной поверхности - об-. рабатывают по следзаощим требовани м: шероховатость по парамет9372

ру R4 0,16 мкм и допускаема нецилиндричность (несферичность) 0,10 ,2 мкм. При выполнении этих требований можно измер ть с высокой точностью радиус кривизны обработанной поверхности, например, с помощью интерференционных способов измерени длины.

После операций доводки базовой

поверхности подложки на всю эту поверхность без изол ции некоторых ее частей нанос т гальваническим или каким-либо другим способом покрытие 2. После нанесени покрыти 2

рабочую поверхность меры (покрытие и цилиндрической формы поверхность подложки или сферической формы поверхность подложки) довод т плоскопараллельной противолежащей поверхности подложки меры. После, данных операций мера толщины покрыти готова к применению, так как одновременно с доводкой она также аттестуетс по толщине с использованием

формулы

,

де h; - толщина покрыти в точке

на рассто нии S от оси симметрии меры;

R 0-радиус кривизны верхней поверхности подложки;

-рассто ние ребра покрыти от оси симметрии меры;

е-рассто ние от оси симметрии меры до точки, где определ етс толщина покрыти .

Claims

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕРЫ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ, заключающийся в доводке базовой поверхности под ложки, нанесении покрытия и аттестации толщины покрытия, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления покрытий переменной толщины, базовую поверхность подложки выполняют цилиндрической или сферической, покрытие наносят на всю поверхность и затем обрабатывают базовую и противолежащую ей поверхности до обеспечения их плоскопараллельности.