SU117269A1 - Аппарат дл вакуумных покрытий - Google Patents

Description

В производстве вакуумных покрытий известны вакуумные аппараты периодического действи , дл  перезар дки которых рабоча  камера сообщаетс  с атмосферой, и вакуумные аппараты непрерывного действи , в которых установка изделий над испарител ми в рабоч ;х камерах и выдача кх в атмосферу агуществл етс  через шлюзовые вакуумные камеры . Первые малопроизводительны и неэкономичны, так как в них осуществл етс  разовый технологический цикл обработки, а в аппаратах непрерывного действи  затруднительно получение равномерных покрытий вследствие неподвижности издели  при напаривании.

Описываема  конструкци  аппарата дл  вакуумных покрытий не имеет указанных недостатков, обладает высокой производительностью, дает возмол ность значительно снизить ра гход испар емых материалов, обеспечивает высокое качество покрытий, расгнир ет технологические возможности и использование процессов вакуумных покрытий в различных област х техники.

Предлагаемый аппарат выполнен в виде автоматической линии вакуумных покрытий, в которой технологический процесс осуществл етс  при непрерывном транспортировании обрабатываемых изделий.

В вакуумных рабочих камерах установлены испарители, над которыми непрерывно, вплотную друг за другом, проход т обрабатываемые листы или отдельные заготовки в кассетах,  вл ющиес  конденсаторами.

Дл  нанесени  однослойных или многослойных покрытий одним или несколькими материалами испарители ра|СПолагаютс  р да,1и перпендикул рно к движению конденсаторов. Равномерность покрытий по толщине обеспечиваетс  стабильностью температуры испарени  и скорости движени  листов над испарител ми.

В процессе обработки рабочие вакуумные камеры полностью изолированы от атмосферы и в них посто нно поддерживаетс  требуемое разрежение .

Дл  входа обрабатываемых листов в рабочие вакуумные камеры и выхода из них без нарушени  вакуума аппарат имеет систему шлюзе .№ 117269

вых вакузмных камер, количество которых (число ступеней шлюзовани ) при заданном времени цикла определ етс  требуемой степенью разрежени . Непрерывность движени  листов над испарител ми обеспечиваетс  тем, что скорость движени  листов в системе шлюзовых камер превышает скорость У их движени  в рабочих камерах. Переход с больи ей скорости на меньшую У, и обратно осуш,ествл етс  в специальных промежуточных вакуумных камерах, расположенных между шлюзовыми и рабочими камерами.

На чертеже изображена схема аппарата дл  вакуумных покрытий, в часткоггги дл  нанесени  висмута, селена, кадми  раздельно или носледовательно на алюминиевые листы размером 1010X505 мм или на отдельные заготовки в кассетах с темпом 90 сек- при посто нном давлении в рабочих камерах мм рт. ст.

Аппарат представл ет собой систему последовательно расположеннь х агрегатов / - IX, объединенных обш.ей схемой управлени . Вакуумна  система аппарата включает р д вакуумных камер, шлюзовых промежуточных и рабочих, герметично соединенных между собой посредством сухарей. Шлюзовые и промежуточные вакуумные камеры имеют индивидуальные откачные посты, состо щие из форвакуумных насосов / с электромагнитными кранами 2 и диффузионных насосов 3 с затворами. В рабочих камерах, где установлены испарители 4, необходимое разрежение .создаетс  через промежуточные вакуумные камеры. Шлюзовые вакуумные камеры изолируютс  от атмосферы и от промежзточных вакуумных камер, а такл е раздел ютс  между собой вакуумны.мн заслонками 5, имеюидими индивидуальные приводы- Шлюзовые камеры // и VIII агрегатов имеют электромагнитные клапаны 6 дл  впуска воздуха.

Вс  электрическа  аппаратура управлени  механизмами аппарата, зашита и сигнализаци  располол ены в пульте управлени  (на черте се не показан), установленном со стороны загрузочного агрегата I.

Аппаратура питани  нагревателей и регз/лировки температуры испарени  размеш,ена в пульте питани  (на чертеже не показан), зстановленном со стороны приемного агрегата IX. При нанесении нескольких покрытий последовательно на каждый вид покрыти  устанавливаетс  отдельный питанн .

Транспортирование обрабатываемых листов осуш;ествл етс  системой ведуших роликов 7-28, разбитых на п ть грзпп с независимыми друг от друга прнводами 29-33. Ведуп1ие ролики J6-19 рабочего агрегата V, а также ведуш,ие ролики свободного хода 15 и 20 промежуточных агрегатов IV и V объединены главным приводом 31, посредством которого осуществл етс  непрерывное перемещение листов .со скоростью . Остальные ведущие ролики дл  перемещени  листов с большей скоростью У sen Переход от скорости к скорости У раб в 1У агрегате и обратно в У1 агрегате осуществл етс  посредством ведущих роликов свободного хода 15 и 20: при выходе из агрегата /// и при входе в агрегат УП лист движетс  со скоростью , легко враща  ведущие ролики свободного хода 15 и 20.

Движение листа из агрегата III в агрегат 1У со скоростью У происходит до соприкосновени  его с предыд /щи,м листом у входа в рабочую вакуумную камеру. На случай, если соприкосновение листов произойдет раньше, чем последуюи1,ий лист сойдет с ведущих роликов 14, последние имеют фрикционы.

Электросхема управлени  работой аппарата выполнена таким образом , что врем  цикла определ етс  скоростью движени  листов в рабочих вакуумных камерах.

Последовательность работы механизмов аппарата обеспечиваетс  системой путевых контактов 34 и конечных выключателей механизмов вакуумных заслонок 5На загрузочном агрегате / и приемном агрегате IX установлены соответственно бункерные устройства «35 и 36, посредством которых осуществл етс  выдача листов на подающий механизм 37 дл  подачи в шлюзовую камеру и прием обработанных листов.

Предмет изобретени 

Claims (7)

1.Аппарат дл  вакуумных покрытий на основе принципа шлюзо1зани  и последовательного расположени  вакуумных камер, отличающийс  тем, что дл  осуществлени  однО|Слойных или многослойных покрытий одним или Несколькими материалами и с целью интенсификации процесса, он выполнен в виде автоматической линии, в которой дл  обеспечени  равномерности покрытий нанесение материалов производитс  в процессе непрерывного-траН|Спортиро:вани  листов (или заготовок в кассетах ) над испарител ми, что обеспечиваетс  разной скоростью движени  листов в рабочих камерах и в системе шлюзовых камер и наличием промежуточных вакуумных камер.

2.Аппарат дл  вакуумных покрытий по п. 1, отличающийс  тем, что, с целью достижени  максимально возможной производительности , снижени  расхода материала покрыти  и уменьшени  засорени  рабочих камер, непрерывное движение листов осуществл етс  друг за другом , дл  чего в левой промежуточной камере установлены фрикционные ведущие ролики, обеспечивающие соприкосновение каждого последующего листа с предыдущим на входе в рабочие вак умпые камеры.

3.Аппарат дл  вакуумных покрытий по пп, 1 и 2, отличающийс   тем, что переход с большей скорости на меньшую и обратно осуществл етс  посредством ведущих роликов свободного хода, устанавливаемых в промежуточных вакуумных камерах.

4.Аппарат дл  вакуумных покрытий по пп. 1-3, отличающийс  тем, что равномерность покрытий по толщине и их однородность обеспечиваетс  посто нством |Скорости движени  листов над испарител ми , а также точным регулированием температуры испарителей путем установки в цепи нагревателей каждого тигл  дросселей насыщени , токи подмагничивани  которых управл ютс  терморегул торами.

5.Аппарат дл  вакуумных покрытий по пп. 1-4, отличающийс  тем, что, с целью расширени  технологических возможностей, управление работой аппарата осуще ствл етс  посредством путевых контактов от движущихс  листов, что позвол ет при неизменной схеме управлени  устанавливать любое количество рабочих вакуумных камер.

6.Аппарат дл  вакуумных покрытий по пп. 1-5, отличающийс  тем, что, с целью повышени  работоспособности вакуумных насосов и уменьшени  засорени  рабочих камер испар емыми материалами, откачка из рабочих камер производитс  через промежуточные вакуумныр камеры.

7.Аппарат дл  вакуумных покрытий по пп- 1-6, отличающийс   тем, что дл  облегчени  его эксплуатации и повышени  производительности труда на загрузочном и приемном агрегатах установлены бункерные зстройства, обеспечивающие накопление подлежащих обработке и обработанных листов.