SU1164848A2 - Позиционный электропривод - Google Patents

Позиционный электропривод Download PDF

Info

Publication number
SU1164848A2
SU1164848A2 SU833659682A SU3659682A SU1164848A2 SU 1164848 A2 SU1164848 A2 SU 1164848A2 SU 833659682 A SU833659682 A SU 833659682A SU 3659682 A SU3659682 A SU 3659682A SU 1164848 A2 SU1164848 A2 SU 1164848A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
link
input
output
amplifier
proportional
Prior art date
Application number
SU833659682A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Анатольевич Никольский
Original Assignee
Московский Ордена Ленина И Ордена Октябрьской Революции Энергетический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский Ордена Ленина И Ордена Октябрьской Революции Энергетический Институт filed Critical Московский Ордена Ленина И Ордена Октябрьской Революции Энергетический Институт
Priority to SU833659682A priority Critical patent/SU1164848A2/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1164848A2 publication Critical patent/SU1164848A2/ru

Links

Landscapes

  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

ПОЗИЦИОННЫЙ ЭЛЕКТРОПРИВОД по авт.св. № 1064409, о т л и ч а ю- щ и и с   тем, что, ч, целью повышени  точности позиционировани , в него дополнительно введены датчик.деформации , сочлененный с пьезоэлементом , апериодическое звено и пропорциональное звено, причем выход датчика деформации соединен с входом усилител , пропорциональное звено включено параллельно интегратору, а задатчик положени  соединен с входом сумматора через апериодическое звено. 1 (Л CD 4 00 Ntib СХ)

Description

1 Изобретение относитс  к электро технике, в частности к позиционном электроприводу. Из основного авт.св.№ 1064409 известен позиционный электропривод содержащий электродвигатель, сочле ненный с.подвижной платформой,  ко на  обмотка которого соединена с преобразователем, последовательносв занные задатчик положени , сумм тор, интегратор, усилитель, пьезоэлемент , сочлененный свободным кон цом с исполнительным органом, а другим концом закрепленньш на подвижной платформе, интерферометриче кий датчик положени  исполнительно органа, соединенный своим выходом вторым входом сумматора, дифференцирующее звено и нелинейное звено типа зоны нечувствительности, причем выход усилител  через нелинейное звено соедийен с входом преобразовател , а вход лнтерферомет- рического датчика положени  исполнительного органа через дифференцирующее звено соединен с входом усилител  ll , Недостатком известного позиционного электропривода  вл етс  его чувствительность к вибрационным возмущени м положени  исполнительного органа со стороны подвижной платформы. Вибрации исполнительного органа могут возникать при включении электродвигател  перемещени  платформы, могут вызыватьс  вибраци ми подвижной плат формы, св занными с работой постороннего механического оборудовани  с дрожанием опор и фундамента и т.д Такие возмущени  бьшают обычно незн чительными по величине и в грубых позиционных электроприводах могут не учитыватьс . Однако в известном электроприводе, оснащенном интерфероме рйческим датчиком положени  , облад 0ой);им высокой чувствительность вибрационные возмущени  могут оказатьс  йедопустимо большими. В тех случа х когда частоты вибрационных возмущений близки к резонансной час тоте пье оэлемента, в электроприводе может даже возникать режим усиле ни  этих вибрационных возмущений. Вибрационйые и направленные перемещени  платформы привод т к возникно вению дополнительной динамической погрешюсти позиционировани , ве482 личина которой тем больше, чем выше скорость платформы и отношение массы исполнительного органа к массе платформы. Цель изобретени  - повышение точности позиционировани . Поставленна  цель достигаетс  тем, что в позиционный электропривод дополнительно введены датчик деформации, сочлененный с пьезоэлементом , апериодическое звено и пропорциональное звено, причем выход датчика деформации соединен с входом усилител , пропорциональное звено включено параллельно интегратору , а задатчик положени  соединен с входом сумматора через апериодическое звено. На чертеже приведена схема позиционного электропривода. Позиционньй электропривод содержит электродвигатель 1, сочлененный с подвижной платформой 2,  корна  обмотка которого соединена с преобразователем 3, задатчик положени  4, последовательно соединенные сумматор 5, интегратор 6, усилитель 7, нелинейный элемент 8, выход которого соединен с входом преобразовател  3, выход усилител  7 соединен с пьезоэлементом 9, сочлененным свободным концом с исполнительным органом 10, а другим концом закрепленным на подвижной платформе 2, интерферометрический- датчик положени  11 исполнительного органа 10, соединенный своим выходом с входом сумматора 5. и через дифференцирующее звено 12 - с входом усилител  7, датчик деформации 13, сочлененньй с пьезоэлементом 9, апериодическое звено .14 и. пропорциональное звено 15, причем выход датчика деформации 13 соединен с входом усилител  7, про- порциональное звено 15 включено параллельно интегратору 6, а задатчик положени  4 соединен с входом сумматора 5 через апериодическое звено 14. В качестве датчика деформации 13 пьезозлемента 9 могут быть использованы любые известные датчики малых перемещений, емкостные, индукционные , фотодатчики и т.д. От датчика деформации 13 не требуетс  высокой точности, поскольку она не вли ет на статическую точность системы в целом. Электропривод работает следующим образом. Задающий сигнал от задатчика положени  4 через апериодическое звено 14 поступает на вход сумматора 5, где алгебраически суммируетс  с имею 1ЧИМ обратный знак сигналом обратной св зи по положению исполнительного органа 10, поступающим от интерферометрического датчика положени  11; Сигнал рассогласовани  с выхода сумматора 5 поступает на входы включенных параллельно интегратора 6 и пропорционального звена 15. Сигнал с выхода параллельно включенных интегратора 6 и пропорционального звена 15 поступает на вход усилител  7, выходное напр жение которого управл ет положением пьезоэлемента 9. Пье зоэлемент 9 деформируетс  и перемещает исполнительный орган 10 на рассто ние , пропорциональное изменению напр жени  на выходе усилител  7. Од новременно напр жение с выхода усилите ,л  7 через нелинейный элемент 8 имеющий характеристику типа зоны нечувствительности, поступает на преобразователь 3, выходноенапр жение которого управл ет электродвигателем 1, предназначенным дл  перемещени  подвижной платформы.2 вместе с установленным на ней пьезоэлементом 9. Если напр жение, приложенное к пьезоэлементу 9, меньше зоны нечувствительности нелинейного элемента 8, то включени  электродвигател  1 перемещени подвижной п атформы 2 не происходит. В противном случае, на выходе нелинейного эле1 ента 8 по вл етс  сигнал, поступающий на вход преобразовател  3, управл ющего электродвигателем 1 перемещени  подвижной платформы 2, котора  перемещаетс  вместе с установленным на ней пьезоэлементом 9 и исполнительным органом 10, При этом напр жение на выходе усилител  7 умень- щаетс  и входит в зону нечувствител ности нелинейного элемента 8, после чего происходит от- ключение электродвигател  1. Сигнал по положению исполнительного органа 10 с выхода интерферометрического датчика положени  I1 поступает через дифференцирующее зве-
но 1,2 на вход усилител  7. При этом на выходе дифференцирующего звена 12 формируетс  корректирующий сигнал
Позиционный электропривод при соответствующей настройке нечувствителен к вибрационным возмущени м по скорости перемещени  исполнительного органа 10. Соответствующим выбором коэффициентов усилени  дифференцирующего звена 12, интегратора 6 и коэффициентов усилени  по входам сумматора 5 можно получить любую из известных оптимальных настроек системы. Вибрации подвижной платформы 2 вызывают смещение в пространстве закрепленного на ней конца пьезо- элемента 9 по отношению к его другому концу, на котором закреплен исполнительный орган 10. Относительное смещение концов пьезоэлемента 9 воспринимаетс  датчиком деформа11ЛИ 13, сочлененным с пьезоэлементом 9. Сигнал с выхода датчика деформации 13, пропорциональный деформации пьезоэлемента 9, поступает со знаком плюс на вход усилител  7. Такое выполнение электропривода позвол ет снизить чувствительность его к вибрационным возмущени м положени  исполнительного органа 10 со стороны подвижной платформы 2 за счет введени  компенсирующей положительной обратной св зи по деформации пьезоэлемента 9. I Однако введение одной только компенсирующей положителъной обратной св зи по деформации пьезоэлемента 9 снижает запас устойчивости системы. При полной нечувствительности электропривода к вибрационным воз ущени м со стороны подвиж-. ной платформ 1 система становитс  неустойчивой. Восстановление требуемого запаса устойчивости Осуществл етс  за счет введени  пропорционального звена 15, подключаемого параллельно интегратору 6, и соответствующего выбора коэффициента усилени  пропорционального звена 15. Однако пропорциональное звено 15 восстанав- лива  устойчивость электропривода, приводит к некоторой формировке переходных процессов в системе при отработке задани  по положению и может ухудщить их качество. Апериодическое звено 14, включенное межДу задатчиком положени  4 и сумматором 5, восстанавливает исходное качество динамических процессов отработки изменений заданного положени  испол55 нительного органа 10.
5 . 11648486
со стороны подвижной платформы 2.гана ГО, а такжезначительно лучше
Реакци  электропривода на изменениеотрабатываютс .возмущени .св занзадани  и на изменение нагрузки,ные с вй раци  ш интерферометричесприложенной к исполнительному рр-кого датчика положени  П.
гану 10, идентична реакции на эти5
воздействи  пьезоэлемент а 9, В пред-Таким образом, электропривод
лагаемом электроприводе отсутству-позвол ет в несколько раз повысить
ёт дополнительна  динамическа  ошиб-точность позиционировани  в услови х
ка по положению исполнительного ор-вибрации оборудовани .

Claims (1)

  1. ПОЗИЦИОННЫЙ ЭЛЕКТРОПРИВОД по авт.св. № 1064409, о т л и ч а тощи й с я тем, что, с целью повышения точности позиционирования, в него дополнительно введены датчик.деформации, сочлененный с пьезоэлементом, апериодическое звено и пропорциональное звено, причем выход датчика деформации соединен с входом усилителя, пропорциональное звено включено параллельно интегратору, а задатчик положения соединен с входом сумматора через апериодическое звено.
    тин 1 . 1
SU833659682A 1983-11-01 1983-11-01 Позиционный электропривод SU1164848A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833659682A SU1164848A2 (ru) 1983-11-01 1983-11-01 Позиционный электропривод

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU833659682A SU1164848A2 (ru) 1983-11-01 1983-11-01 Позиционный электропривод

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU1064409 Addition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1164848A2 true SU1164848A2 (ru) 1985-06-30

Family

ID=21088081

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU833659682A SU1164848A2 (ru) 1983-11-01 1983-11-01 Позиционный электропривод

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1164848A2 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР № 1064409, кл. И 02 Р 3/06, .1982. г /5 -. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5757149A (en) Drive control apparatus
US6714842B1 (en) Synchronous position control apparatus and method
GB2238406A (en) Servo system for piezo-electric actuator.
US5801939A (en) Precision positioning control apparatus and precision positioning control method
US5581521A (en) Device for controlling the motor of a recording and reproducing apparatus
KR20110086031A (ko) 포지셔닝 시스템 및 방법
EP0391880A2 (en) Measurement and control of magnetostrictive transducer motion
US20010024403A1 (en) Oscillation isolator
US4986150A (en) Micro-positioning tool post
SU1164848A2 (ru) Позиционный электропривод
EP0386702B1 (en) Coarse/fine movement aligning apparatus
JP2001194235A (ja) 光干渉計用移動ミラー支持装置
JPH06120105A (ja) 位置決め装置及びこれに用いられるピエゾアクチュエータ駆動装置
JP3215280B2 (ja) ステージ位置決め制御装置
JP2821837B2 (ja) 加速度フィードバック付き微動位置決め装置
JP3276533B2 (ja) 力フィードバック付き微動位置決め装置
JP2559555B2 (ja) 形状可変鏡
JPH0915868A (ja) 能動的除振装置
SU1473060A1 (ru) Двухканальный электропривод
RU1784949C (ru) Исполнительный механизм микроперемещений
Hodac et al. Decoupled macro/micro-manipulator for fast and precise assembly operations: design and experiments
SU920298A2 (ru) Виброизолирующа опора
SU1665488A1 (ru) Двухканальный электропривод
JPH08241850A (ja) 微動位置決め制御装置
JPH07319548A (ja) 微動位置決め制御装置