SU1164848A2 - Позиционный электропривод - Google Patents
Позиционный электропривод Download PDFInfo
- Publication number
- SU1164848A2 SU1164848A2 SU833659682A SU3659682A SU1164848A2 SU 1164848 A2 SU1164848 A2 SU 1164848A2 SU 833659682 A SU833659682 A SU 833659682A SU 3659682 A SU3659682 A SU 3659682A SU 1164848 A2 SU1164848 A2 SU 1164848A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- link
- input
- output
- amplifier
- proportional
- Prior art date
Links
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
ПОЗИЦИОННЫЙ ЭЛЕКТРОПРИВОД по авт.св. № 1064409, о т л и ч а ю- щ и и с тем, что, ч, целью повышени точности позиционировани , в него дополнительно введены датчик.деформации , сочлененный с пьезоэлементом , апериодическое звено и пропорциональное звено, причем выход датчика деформации соединен с входом усилител , пропорциональное звено включено параллельно интегратору, а задатчик положени соединен с входом сумматора через апериодическое звено. 1 (Л CD 4 00 Ntib СХ)
Description
1 Изобретение относитс к электро технике, в частности к позиционном электроприводу. Из основного авт.св.№ 1064409 известен позиционный электропривод содержащий электродвигатель, сочле ненный с.подвижной платформой, ко на обмотка которого соединена с преобразователем, последовательносв занные задатчик положени , сумм тор, интегратор, усилитель, пьезоэлемент , сочлененный свободным кон цом с исполнительным органом, а другим концом закрепленньш на подвижной платформе, интерферометриче кий датчик положени исполнительно органа, соединенный своим выходом вторым входом сумматора, дифференцирующее звено и нелинейное звено типа зоны нечувствительности, причем выход усилител через нелинейное звено соедийен с входом преобразовател , а вход лнтерферомет- рического датчика положени исполнительного органа через дифференцирующее звено соединен с входом усилител ll , Недостатком известного позиционного электропривода вл етс его чувствительность к вибрационным возмущени м положени исполнительного органа со стороны подвижной платформы. Вибрации исполнительного органа могут возникать при включении электродвигател перемещени платформы, могут вызыватьс вибраци ми подвижной плат формы, св занными с работой постороннего механического оборудовани с дрожанием опор и фундамента и т.д Такие возмущени бьшают обычно незн чительными по величине и в грубых позиционных электроприводах могут не учитыватьс . Однако в известном электроприводе, оснащенном интерфероме рйческим датчиком положени , облад 0ой);им высокой чувствительность вибрационные возмущени могут оказатьс йедопустимо большими. В тех случа х когда частоты вибрационных возмущений близки к резонансной час тоте пье оэлемента, в электроприводе может даже возникать режим усиле ни этих вибрационных возмущений. Вибрационйые и направленные перемещени платформы привод т к возникно вению дополнительной динамической погрешюсти позиционировани , ве482 личина которой тем больше, чем выше скорость платформы и отношение массы исполнительного органа к массе платформы. Цель изобретени - повышение точности позиционировани . Поставленна цель достигаетс тем, что в позиционный электропривод дополнительно введены датчик деформации, сочлененный с пьезоэлементом , апериодическое звено и пропорциональное звено, причем выход датчика деформации соединен с входом усилител , пропорциональное звено включено параллельно интегратору , а задатчик положени соединен с входом сумматора через апериодическое звено. На чертеже приведена схема позиционного электропривода. Позиционньй электропривод содержит электродвигатель 1, сочлененный с подвижной платформой 2, корна обмотка которого соединена с преобразователем 3, задатчик положени 4, последовательно соединенные сумматор 5, интегратор 6, усилитель 7, нелинейный элемент 8, выход которого соединен с входом преобразовател 3, выход усилител 7 соединен с пьезоэлементом 9, сочлененным свободным концом с исполнительным органом 10, а другим концом закрепленным на подвижной платформе 2, интерферометрический- датчик положени 11 исполнительного органа 10, соединенный своим выходом с входом сумматора 5. и через дифференцирующее звено 12 - с входом усилител 7, датчик деформации 13, сочлененньй с пьезоэлементом 9, апериодическое звено .14 и. пропорциональное звено 15, причем выход датчика деформации 13 соединен с входом усилител 7, про- порциональное звено 15 включено параллельно интегратору 6, а задатчик положени 4 соединен с входом сумматора 5 через апериодическое звено 14. В качестве датчика деформации 13 пьезозлемента 9 могут быть использованы любые известные датчики малых перемещений, емкостные, индукционные , фотодатчики и т.д. От датчика деформации 13 не требуетс высокой точности, поскольку она не вли ет на статическую точность системы в целом. Электропривод работает следующим образом. Задающий сигнал от задатчика положени 4 через апериодическое звено 14 поступает на вход сумматора 5, где алгебраически суммируетс с имею 1ЧИМ обратный знак сигналом обратной св зи по положению исполнительного органа 10, поступающим от интерферометрического датчика положени 11; Сигнал рассогласовани с выхода сумматора 5 поступает на входы включенных параллельно интегратора 6 и пропорционального звена 15. Сигнал с выхода параллельно включенных интегратора 6 и пропорционального звена 15 поступает на вход усилител 7, выходное напр жение которого управл ет положением пьезоэлемента 9. Пье зоэлемент 9 деформируетс и перемещает исполнительный орган 10 на рассто ние , пропорциональное изменению напр жени на выходе усилител 7. Од новременно напр жение с выхода усилите ,л 7 через нелинейный элемент 8 имеющий характеристику типа зоны нечувствительности, поступает на преобразователь 3, выходноенапр жение которого управл ет электродвигателем 1, предназначенным дл перемещени подвижной платформы.2 вместе с установленным на ней пьезоэлементом 9. Если напр жение, приложенное к пьезоэлементу 9, меньше зоны нечувствительности нелинейного элемента 8, то включени электродвигател 1 перемещени подвижной п атформы 2 не происходит. В противном случае, на выходе нелинейного эле1 ента 8 по вл етс сигнал, поступающий на вход преобразовател 3, управл ющего электродвигателем 1 перемещени подвижной платформы 2, котора перемещаетс вместе с установленным на ней пьезоэлементом 9 и исполнительным органом 10, При этом напр жение на выходе усилител 7 умень- щаетс и входит в зону нечувствител ности нелинейного элемента 8, после чего происходит от- ключение электродвигател 1. Сигнал по положению исполнительного органа 10 с выхода интерферометрического датчика положени I1 поступает через дифференцирующее зве-
но 1,2 на вход усилител 7. При этом на выходе дифференцирующего звена 12 формируетс корректирующий сигнал
Позиционный электропривод при соответствующей настройке нечувствителен к вибрационным возмущени м по скорости перемещени исполнительного органа 10. Соответствующим выбором коэффициентов усилени дифференцирующего звена 12, интегратора 6 и коэффициентов усилени по входам сумматора 5 можно получить любую из известных оптимальных настроек системы. Вибрации подвижной платформы 2 вызывают смещение в пространстве закрепленного на ней конца пьезо- элемента 9 по отношению к его другому концу, на котором закреплен исполнительный орган 10. Относительное смещение концов пьезоэлемента 9 воспринимаетс датчиком деформа11ЛИ 13, сочлененным с пьезоэлементом 9. Сигнал с выхода датчика деформации 13, пропорциональный деформации пьезоэлемента 9, поступает со знаком плюс на вход усилител 7. Такое выполнение электропривода позвол ет снизить чувствительность его к вибрационным возмущени м положени исполнительного органа 10 со стороны подвижной платформы 2 за счет введени компенсирующей положительной обратной св зи по деформации пьезоэлемента 9. I Однако введение одной только компенсирующей положителъной обратной св зи по деформации пьезоэлемента 9 снижает запас устойчивости системы. При полной нечувствительности электропривода к вибрационным воз ущени м со стороны подвиж-. ной платформ 1 система становитс неустойчивой. Восстановление требуемого запаса устойчивости Осуществл етс за счет введени пропорционального звена 15, подключаемого параллельно интегратору 6, и соответствующего выбора коэффициента усилени пропорционального звена 15. Однако пропорциональное звено 15 восстанав- лива устойчивость электропривода, приводит к некоторой формировке переходных процессов в системе при отработке задани по положению и может ухудщить их качество. Апериодическое звено 14, включенное межДу задатчиком положени 4 и сумматором 5, восстанавливает исходное качество динамических процессов отработки изменений заданного положени испол55 нительного органа 10.
5 . 11648486
со стороны подвижной платформы 2.гана ГО, а такжезначительно лучше
Реакци электропривода на изменениеотрабатываютс .возмущени .св занзадани и на изменение нагрузки,ные с вй раци ш интерферометричесприложенной к исполнительному рр-кого датчика положени П.
гану 10, идентична реакции на эти5
воздействи пьезоэлемент а 9, В пред-Таким образом, электропривод
лагаемом электроприводе отсутству-позвол ет в несколько раз повысить
ёт дополнительна динамическа ошиб-точность позиционировани в услови х
ка по положению исполнительного ор-вибрации оборудовани .
Claims (1)
- ПОЗИЦИОННЫЙ ЭЛЕКТРОПРИВОД по авт.св. № 1064409, о т л и ч а тощи й с я тем, что, с целью повышения точности позиционирования, в него дополнительно введены датчик.деформации, сочлененный с пьезоэлементом, апериодическое звено и пропорциональное звено, причем выход датчика деформации соединен с входом усилителя, пропорциональное звено включено параллельно интегратору, а задатчик положения соединен с входом сумматора через апериодическое звено.тин 1 . 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833659682A SU1164848A2 (ru) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | Позиционный электропривод |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833659682A SU1164848A2 (ru) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | Позиционный электропривод |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1064409 Addition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1164848A2 true SU1164848A2 (ru) | 1985-06-30 |
Family
ID=21088081
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833659682A SU1164848A2 (ru) | 1983-11-01 | 1983-11-01 | Позиционный электропривод |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1164848A2 (ru) |
-
1983
- 1983-11-01 SU SU833659682A patent/SU1164848A2/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Авторское свидетельство СССР № 1064409, кл. И 02 Р 3/06, .1982. г /5 -. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5757149A (en) | Drive control apparatus | |
US6714842B1 (en) | Synchronous position control apparatus and method | |
GB2238406A (en) | Servo system for piezo-electric actuator. | |
US5801939A (en) | Precision positioning control apparatus and precision positioning control method | |
US5581521A (en) | Device for controlling the motor of a recording and reproducing apparatus | |
KR20110086031A (ko) | 포지셔닝 시스템 및 방법 | |
EP0391880A2 (en) | Measurement and control of magnetostrictive transducer motion | |
US20010024403A1 (en) | Oscillation isolator | |
US4986150A (en) | Micro-positioning tool post | |
SU1164848A2 (ru) | Позиционный электропривод | |
EP0386702B1 (en) | Coarse/fine movement aligning apparatus | |
JP2001194235A (ja) | 光干渉計用移動ミラー支持装置 | |
JPH06120105A (ja) | 位置決め装置及びこれに用いられるピエゾアクチュエータ駆動装置 | |
JP3215280B2 (ja) | ステージ位置決め制御装置 | |
JP2821837B2 (ja) | 加速度フィードバック付き微動位置決め装置 | |
JP3276533B2 (ja) | 力フィードバック付き微動位置決め装置 | |
JP2559555B2 (ja) | 形状可変鏡 | |
JPH0915868A (ja) | 能動的除振装置 | |
SU1473060A1 (ru) | Двухканальный электропривод | |
RU1784949C (ru) | Исполнительный механизм микроперемещений | |
Hodac et al. | Decoupled macro/micro-manipulator for fast and precise assembly operations: design and experiments | |
SU920298A2 (ru) | Виброизолирующа опора | |
SU1665488A1 (ru) | Двухканальный электропривод | |
JPH08241850A (ja) | 微動位置決め制御装置 | |
JPH07319548A (ja) | 微動位置決め制御装置 |