SU1152533A3

SU1152533A3 - Сканирующий интерферометр (его варианты)

Info

Publication number: SU1152533A3
Application number: SU792732746A
Authority: SU
Inventors: Ясны Ян
Original assignee: Польска Акадэмия Наук Институт Хэмии Физычнэй (Инопредприятие)
Priority date: 1978-02-17
Filing date: 1979-02-13
Publication date: 1985-04-23
Also published as: GB2014754A; JPS54133156A; FR2417788B1; FR2417788A1; GB2014754B; DE2906015A1

Abstract

1. Сканирующий интерферометр, содержащий светоделитель и два плоских зеркала, отличающий-сс тем, что, с целью повьшени производительности измерений с помощью интерферометра, он снабжен вторым светоделителем и оптическим элементом , установленным между светоделител ми , выполненными каждый в виде свегоделительной пластины и размещенными последовательно один за другим, зеркала расположены параллельно одно относительно другого, отражанидими поверхност ми одна навстречу другой, а оптический элемент вьтолнен в ВКЩЁ призмы с основанием в форме ромба с двум отражающими и двум пропускающими излучеS ние гран ми, оптически св зан со светоделител ми через зеркала и установлен с возможностью вращени относительно осиг симметрии призгфь Фиг /

Description

2. Интерферометр, содержащий све тоделитель и два плоских зеркала, отличающийс тем, что, с целью повьшени производительности измерений с помощью интерферометра, он снабжен оптическим элементом и вторым светоделителем, оба светоделител вьтолнены в виде призмы с основанием в форме пр моугольника и общим светоделительньм слоем, зер кала расположены под углом одно относительно другого, оптический элемент выполнен в виде призмы.

52533

идентичной светоделительньм и.установленной между светоделител ми и зеркалами с возможностью вращени относительно оси призмы, перпендикул рной к ее основанию и проход щей через ее середину, а светоделители и зеркала соответственно оптически св заны между собой через оптический элемент.

Приоритет по пунктам: 17,02.78 по П.1, 21.09.78 по п.2.

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл измерени абсолютной длины волны, спектров Фурье получени пикосекундных световых импульсов , а также дл исследовани материи.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому эффекту к изобретению вл етс сканирующий интерферометр , содержащий светоделитель и два плоских зеркала fl .

Недостатком известного интерферометра вл етс невысока производительность измерений из-за небольшой скорости -приращени разности хода длин оптических путей, что не позвол ет использовать его дл высокоскоростных измерений.

Целью изобретени вл етс повыше ние производительности измерений с помощью интерферометра.

Дл достижени цели изобретени по первому варианту сканирующий.интерферометр , содержащий светоделител и два плоских зеркала, снабжен вторы светоделителем и оптическим элементо установленным между светоделител ми, выполненными каждый в виде светбделительной пластины и размещенными последовательно один за другим, зеркала расположены параллельно одно относительно другого, отражающими поверхност ми одна навстречу другой, а оптический элемент выполнен в виде призмы с основанием в форме ромба с двум отражающими и двум пропус-- h-кающими излучение гран ми, оптически св зан со светоделител ми через зеркала и установлен с возможностью вращени относительно оси симметрии призмы.

Цель изобретени по второму вариату достигаетс тем, что сканирующий интерферометр, содержащий светоделитель и два плоских зеркала, снабжен оптическим элементом и вторым светоделителем , оба светоделител выполнены в внце призмы с основанием в форме пр моугольника и общим светоделительньм слоем, зеркала расположены под углом одно относительно другого, оптический элемент вьтолнен в виде призьш, идентичной светоделнтельньм и установленной между светоделител ми и зеркалами с возможность вращени относительно оси призмы, перпендикул рной к ее основанию и проход щей через ее середину, а светодели тели и зеркала соответственно оптически св заны мезкду собой через оптический элемент.

На фиг. 1 изображен сканирующ интерфер(1етр по первому варианту; на фиг. 2 - то же, по второму варианту .

Сканирующий интерферометр по обоим вариантам содержит два светоделител 1 и 2, два плоских зеркала 3 и 4 и оптич.еский элемент 5.

В сканирующем интерферометре по первому варианту светоделители 1 и 2 выполнены каждый в виде светоделительной пластины и размещены последовательно один за другим, зеркала 3 и 4 расположены параллель но одно относительно другого, отражающими поверхност ми навстречу одно другому, оптический элемент 5 установлен между светоделител ми 1 и 2 и выполнен в виде призмы с основанием в форме ромба, с двум отражающими и двум пропусканнцими излучение гран ми, элемент 5 оптически св зан со светоделител ми 1 и 2 через зеркала 3 и 4 и установлен с возможностью вращени отно сительно оси симметрии призмы. По второму варианту оба светодел тел 1 и 2 выполнены в виде призмы с основанием в форме пр моугольника и общим светоделительным слоем 6, зеркала 3 и 4 расположены под углом одно относительно другого, а оптический элемент 5 вьтолнен в виде призмы, идентичной светоделительным и установленной между светоделител ми 1 и 2 и зеркалами 3 и 4 с возможностью вращени относительно оси призмы, перпендикул рной к ее основанию и проход щей через ее середину , а светоделители 1 и 2 и зер кала 3 и 4 соответственно оптически .св заны между собой через оптический элемент 5. Интерферометр по первому варианту работает следукщим образом. Вход щий в интерферометр пучок падает на светоделитель 1 и раздел етс на: два когерентных пучка, один из которых отражаетс от зеркала 3, входит в оптический элемент через грань, дважды отражаетс внутри элемента 5 от противоположных граней а и Ъ,выходит из элемента 5 через грань с , отражаетс от зеркала 4 и падает на светоделитель 2 второй пучок сначала отражаетс от зеркала 4, через грань cJ входит в элемент 5, отражаетс от граней «и с , через грань t выходит из элемента 5, отражаетс от зеркала 3 и падает на светоделитель 2, где встречаетс с первым пучком. Когерентные пучки интерферируют один с другим и выход т из интерферомет ра. Энерги пучков зависит от разн ти длин оптических путей когерентны пучков, причем длина оптического пути каждого из когерентных пучков измер етс вдоль всего пути методу 3 двум светораздел ющими сло ми СРСтоделителей 1. Если элемент 5 вращаетс относительно оси О, то оптический путь одного из когерентных пучков сокращаетс , а второго - удлин етс . Вокруг положени , в котором на фиг. 1 показан элемент 5, существует небольша зона углов поворота элемента 5, внутри которой равномерное вращение оптического элемента 5 вызьтает равномерное приращение разности длин оптических путей двух когерентных пучков. Тогда энерги пучков модулируетс по синусоидальному закону, причем период модул ции зависит от скорости вращени элемента 5 и длины волны света. Перед измерением модулированной энергии можно разогнать элемент 5 до большой скорости вращени , а измерение произвести в таком диапазоне углов поворота , в котором приращение длины оптического пути вл етс равномерным . В оптическом элементе 5, в котором противолежащие грани параллельны одна другой из шести возможных степеней свободны элемента только одна, а именно вращение относительно оси, перпендикул рной к основанию вызывает изменение разности длин оптических путей когерентных пучков. Любые поступательные или вращательные движени элемента 5 не нарущают юстировки интерферометра. Такие свойства интерферометра сохран ютс тогда, когда каждый из когерентных пучков входит в оптический элемент 5 и выходит из него через две противолежащие грани, а также внутри отражаетс от двух таких же граней. Чтобы при определенном направлении вращени элемента 5 оптический путь одного из когерентных пучков сокращалс , а второго удлин лс , необходимо эти пучки внутри элемента 5 вести таким образом, чтобы путь одного пучка бып зеркальным отражением пути второго пучка относительно одной на плоскостей симметрии оптического элемента 5,перпендикул рной к основанию призмы в виде которой выполнен элемент 5, По второму варианту интерферометр работает следующим образом. Оптическ1й элемент 5 вращаетс относительно оси, перпендикул рной к ее основанию и проход щей через середину основани 0. Между свето

Claims

1. Сканирующий интерферометр, содержащий светоделитель и два плоских зеркала, отличающий-ί- ο я тем, что, с целью повьвпения производительности измерений с помощью интерферометра, он снабжен вторым светоделителем и оптическим элементом, установленным между светоделителями, выполненными каждый в виде свеТоделительной пластины и размещенными последовательно один за другим, зеркала расположены параллельно одно относительно другого, отражающими поверхностями одна навстречу другой, а оптический элемент выполнен в виде призмы с основанием в форме ромба с двумя отражающими и двумя пропускающими излучение гранями, оптически связан со светоделителями через зеркала и установлен с возможностью вращения относительно оси симметрии призмы.

у_,,,, 1152533

2. Интерферометр, содержащий светоделитель и два плоских зеркала, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности измерений с помощью интерферометра, он снабжен оптическим элементом и вторым светоделителем, оба светоделителя выполнены в виде призмы с основанием в форме прямоугольника и общим светоделительньы слоем, зеркала расположены под углом одно относительно другого, оптический элемент выполнен в виде призмы, идентичной светоделительным и установленной между светоделителями и зеркалами с возможностью вр!ащения относительно оси призмы, перпендикулярной к ее основанию и проходящей через ее середину, а светодели тели и зеркала соответственно оптически связаны между собой через оптический элемент.