SU1142733A1 - Устройство дл автоматического контрол фотошаблонов - Google Patents

Description

iJ

%

IND

-ч|

00 00 Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть испол зовано при контроле фотошаблонов. Примен емые фотошаблоны подвергаютс  износу, что приводит к выпу ку дефектных элементов. Поэтому дл технического контрол  фотошаблонов важно иметь устройство, позвол юще быстро и безотказно обнаруживать  влени  износа и дефекты. С помощью метода контрольного осмотра фотошаблонов под микроскопом о состо нии фотошаблонов могут быть получены лишь статистические сведени . Известны различные методы фотоэлектронного технического контрол  образцов фотошаблонов, основанные на применении голографии или согла сованных фильтров. Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  устройство дл  автоматического кон рол  фотошаблонов, содержащее не менее чем один источник света, две линейки фотодатчиков дл  распознавани  дефектов фотошаблона, два не зависимых друг от друга объектива одинаковых оптических свойств дл  проекции изображени  фотошаблона н соответствующую линейку фотодатчик и приспособление дл  передвижени  фотошаблона в двух направл ющих, параллельных фотошаблону (см. прибор DKG 160 народного предпри ти  ФЕБ Карл Цейсе Йена, который описан в Jenaer Rundschau 27, Janrgang, Heft 2/19.82, S. 83-86). В данном устройстве объективы и линейки фотодатчиков устанавливаютс  на стандартное рассто ние между сопоставл емыми отдельными кадрами (за исключением остаточной ошибки). Остаточна  ошибка, предст л юща  собой механическую ошибку, неправильное положение отдельных кадров каждого фотошаблона вызывают при контроле фотошаблонов сигнал ошибки - псевдоошибку,что приводит к снижению точности контрол . Целью изобретени   вл етс  повы шение точности контрол  путем устр нени  псевдоошибок, возникающих при техническом контроле фотошаблонов из-за неправильного положени  отдельных кадров фотошаблона и механической ошибки контрольного прибора. . Поставленна  цель достигаетс  тем, что устройство дл  автоматического контрол  фотошаблонов, содержащее не менее, чем один источник света, две линейки фотодатчиков дл  распознавани  дефектов фотошаблона, два независимых друг от друга объектива одинаковых оптических свойств дл  проекции изображени  фотошаблона на соответствующую линейку фотодатчика и приспособление дл  передвижени  фотошаблона в двух направлени х, параллельных фотошаблону, снабжено двум  дополнительными линейками фотодат чиков, кажда  из которых расположена пе1эед каждой основной линейкой фотодатчиков, двум  светопропускающими плоскопараллельными пластинками , установленными между одним из объективов и соответствующими линейками фотодатчиков, кажда  пластинка выполнена с возможностью поворота вокруг оси, расположенной перпендикул рно оптической оси устройства, и всей оси поворота. На фиг. 1 изображена принципиальна  схема устройства дл  автоматического контрол  фотошаблонов; на фиг. 2 - две светопропускающие плоскопараллельные пластинки. Устройство состоит из источника 1 света, оптических элементов l дл  расщеплени  светового луча и наход щегос  над ними исследуемого объекта фотошаблона 2. Над фотошаблоном 2 наход тс  объективы 3 и 4. За объективами 3 и 4 следуют оптические элементы - призмы 5 и 6, а также зеркала 7 и 8 дл  наведени  ходов лучей 17 и 18 в тубусные системы 9 и 10. В ходе лучей 17 за тубусной системой 10 перед линейками 14 и 16 фотодатчиков расположены две светопропускающие плоскопараллельные пластинки 11 и 12. В ходе лучей 18 за тубусной системой 9 следуют линейки 13 и 14 фотодатчиков . С помощью источника 1 света и оптических элементов г дл ..расщепени  светового луча происходит проекци  определенной части двух отдельых кадров фотошаблона 2 в объективах 3 и 4. 1 Выход щий из объектива 3 луч 18 проецируетс  призмой 5 и зеркалом 7на тубусную систему 9, освещающую линейку 13 фотодатчиков дл  распознавани  неправильньос; положений и линейку 15 фотодатчиков дл  распознавани  дефектов фотошаблона 2. Выход щий из объектива 4 луч 17 проецируетс  призмой 6 и зеркалом 8на тубусную систему. 10. За тубусной системой 1О в ходе лучей 17 следуют две ппоскопараллельные плас тинки 11 и 12, причем плоскопараллельна  пластинка 11 может поворачиватьс  относительно оси X, а плоскопараллельна  пластинка 12 относительно оси У плоскости X, У, Такш4 образом, обеспечиваетс  возможность поправки части отдельного кадра фотошаблона 2 с помощью инфор мации о .неправильном положении этой части отдельного кадра фотошаблона 334 получаемой при помощи линейки 14 фотодатчиков. Откорректированные лучи 17 попадают на линейку 16 фотодатчиков дл  распознавани  дефектов фотошаблона 2. Компенсаци  неправильного положени  отдельных кадров фотошаблона 2 достигаетс  на основании информации о неправильном положении отдельных кадров относительно координат X и У, получаемой в зависимости от структуры отдельных изображений с помощью строк двух дополнительных линеек фотодатчиков, а также системы плоскопараллельных пластинок, котора  действует в качестве коррегирующего звена в пределах координат X и У плоскости изображени . Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной Ведомством по изобретательству Германской Демократической республики.

(Риг.2

Claims (1)

1. :(J7) УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ФОТОШАБЛОНОВ, со:^держащее не менее чем один источник света, две линейки фотодатчиков для распознавания дефектов фотошаблона, два независимых друг от друга объектива одинаковых оптических свойств для проекции изображенйя фотошаблона на соответствующую линейку фотодатчика и приспособление для передвижения фотошаблона в двух направлениях, параллельных фотошаблону, отличающееся тем, что оно снабжено двумя дополнительными линейками фотодатчиков, каждая из которых расположена перед каждой основной линейкой фотодатчиков,двумя светопропускающими плоскопараллельными пластинами, установленными между одним из объективов и соответствующими линейками фотодатчиков, каждая пластинка выполнена с возможностью поворота вокруг оси, располо- 5. женной перпендикулярно оптической оси устройства, и своей оси поворота.