SU1128709A1 - Способ изготовлени люминесцентного экрана - Google Patents

Abstract

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ЭКРАНА, включающий нанесение на стекл нную подложку сло  люминофора, нанесение органической пленки, напьшение первого сло  алюмини  при давлении не вьиие рт.ст., термическую обработку в атмосфере воздуха, напыление второго сло  ;шюми-ни  при давлении 2 ) 1 -10 о т л И м рт . ст . ч а ю щ и и с   тем, что, с целью увеличени  световой отдачи -экрана, непосредственно после на тылени  первого сло  гшюмини  производ т напьигение второго сло   люмир{и , после чего провод т- термическую обработку при 350-38П°С в течение 40-60 мин.

Description

Предлагаемое изобретение: относит с  к электровакуумной технике, в частности к способам и: готовлени  люминесцентных экранов дл  электронно-оптических преобразователей (ЭОП) и электронно-лучевых трубок (ЭЛТ).

Одной из основных характеристик люминесцентных экранов  вл етс  светова  отдача, представл юща  собой отношение  ркости свечени  экрана к энергии бомбардирующих электронов.

Увеличение световой отдачи экранов приводит к повьппению качества приборов, в которых эти экраны установлены . Так, в ЭОП увеличиваетс  коэффициент преобразовани , а в ЭЛТ скорость записи. Уровень световой отдачи люминесцентного экрана, в основном , определ етс  его составом и технологией изготовлени . Однако, состав экрана определ ет прежде всего цвет свечени  и задаетс  в зависимости от конкретных требований. По-

(Л

этому основным фактором повышени  световой отдачи  вл етс  совершенствование технологии изготовлени  экрана .

Известен способ изгото лени  люминесцентного экрана, заключающийс  в том, что на стекл нную подложку осаждают слой люминофора, на него нанос т органическую пленку, затем напыл ют слой алюмини , после чего выжигают органическую пленку. Недостатком способа  вл етс  невысока  светова  отдача экрана.

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому  вл етс  способ изготовлени  люминесцентного экрана, в котором на стекл нную подложку нанос т слой люминофора, органическую пленку, сло  алюмини  при давлении не выше JO мм рт.ст,, после чего провод т термическую обработку в атмосфере воздуха, в результате выжигают органическую пленку, после чего напьш ют второй слой алюмини  в атмосфере воздуха при давлении пор дка рт.сТо Светова  отдача люминесцентного экрана, изготовленного данным способом, така  же, как у экранов, изготовленных в соответствии со способом. Однако напыление второго сло  алюмини  при низком вакууме повышает эффективност защиты экрана от воздействи  щелочных металлов и способствует повышению контраста изображени  в случа х когда экран расположен на малом рассто нии от фотокатода. Недостатком известного способа  вл етс  невысока  светова  отдача люминесцентных экранов, составл юща при напр жении питани  J5 кВ 2540 эфф./ВТ. Целью изобретени   вл етс  увеличение световой отдачи люминесцентног экрана. Указанна  цель достигаетс  тем, что в способе изготовлени  люмииесцентного экрана, включающем нанесение на стекл нную подложку сло  люми нофора, нанесение органической пленки , напыление первого сло  алюмини  при давлении не выше 10 мм рт.ст,, термическую обработку в атмосфере воздуха, напыление второго сло  алкч- мини  при давлении ммрт,ст напыление второго сло  алюмини  прои вод т непосредственно после напылени  первого сло  алюмини , после чег провод т термическую обработку при 350-380°С в течение 40-60 мин. Предлагаемый способ изготовлени  люминесцентного экрана основан на использовании  влени  вторично-электронной эмиссии, усиленной электрическим полем. Способ заключаетс  в последовательном проведении следующи операций: осаждение люминофора на стекл нну подложку; нанесение органической пленки; нанесение сло  алюмини  в высоком вакууме; напыпение второго сло  алюмини  в низком вакууме; термическа  обработка в атмосфере воздуха, при которой происходит оки , леиие второго сло  алюмини  и одновр менно выжигание органической пленки Способ изготовлени  люминесцентного экрана согласно данному изобре тению можно осуществить следующим образом. На стекл нную подложку нанос т люминофор, например К-71, путем его осаждени  из суспензии люминофора либо другим известным способом с оптимальной удельной нагрузкой люминофора (г/см ) дл  конкретного напр жени  питани  ЭОП, Удельна  нагрузка экрана определ етс  количеством люминофора в миллиграммах, осажденным на 1 см поверхности экрана, Затем на слой люминофора нанос т орга1-1ическую пленку из расчета 1 капл  органического лака, например, на основе коллоксилина на 80 см площади экрана. о Слой алюмини  толшлной 500-1000 Л напыл ют в высоком вакууме при давлении пор дка 10 мм рТвСТ„ Слой алюмини  служит дл  защиты экрана .от воздействи  щелочных металлов при формировании в приборе фотокатода, преп тствует проникновению излучени  экрана на фотокатод и увеличивает световую отдачу люминесцентного экрана, Дл  повьпиени  эффективности защиты экрана от паров щелочньк металлов на этот слой алюмини  напыл ют второй слой алпоминуш при давлении пор дка 10 - 10 мм рт,ст. Толщина второго сло  Ш1ЮМИНИЯ определ етс  технологией напылени  алюмини  при давлении ( 10 ) мм рт.ст, и контролируетс  по цвету получаемого сло . Как только слой приобретает характерный темнобархатный цвет, напыление алюмини  1 рекращаюТе Эта операци  осуществл етс  так же, как в способе-прототипе . Толо;ина полученного предлагаемым способом сло  соответствует толщине сло , полученного при использовании способа-прототипа. Экспериментально установлено, что при контроле толщины по цвету разброс по толщине сло  не преп тствует выжиганию органической пленки. При окислении второго сло  алюмини  органическа  пленка выжигаетс  полностью. Одновременно формируетс  пористый слой с коэффициентом вторично-электронной эмиссии 1, Получающеес  при этом защитное покрытие имеет черный цвет, что способствует уменьщению отражени  экрана и повышению констраста, в случа х, когда экран расположен в ЭОП на малом рассто нии от фотокатода. Далее экран вьщерживают в атмосфере воздуха при (350-380 )С в течение 4060 мин 1, при этом происходит окислени второго сло  алюмини  и выгорание ор ганической пленки. Изготовленный таким способом экран обладает большей световой отдачей в сравнении с прото типом, поскольку возни-кает вторичноэлектронна  эмисси , усиленна  электрическим полем, в пористом диэлектрическом слое соединени , образованного в результате напылени  алюми ни  в низком вакууме и последующего его окислени  в атмосфере воздуха. Слой пористого диэлектрика можно рассматривать как совокупность микро скопических электронных умножителей либо с непрерывными динодами Св случае , когда вторичные электроны размножаютс  в открытых у поверхности порах сло ), либо с динодами, рабо ,тающими на прострел (размножение вто ричных электронов в глубине сло ), либо с комбинацией обоих типов умножени . Такими микроскопическими электронными умножител ми  вл ютс  зерна пористого диэлектрического сло , полученного при окислении второго сло  алюмини , В процессе работы прибора электроны, вьшетающие из фотокатода, ускоренные электричес ким полем между фотокатодом, имеющим нулевой потениг;иал, и экьтаном, имеющим потенциал пор дка 10-20 кВ, бомбардируют пористый слой, выбива  из него вторичЕ1Ые электроны. Так как коэффициент вторично-электронной эмиссии сло  S J, аэнерги  вторичны электронов, усиленна  полем, достато на дл  того, чтобы пробить первый спой алюмини , то на люминофор попадает усиленный поток электронов. При этом увеличиваетс  число высвечи вающихс  центров люминофора, увеличи ва  тем самь1м световую отдачу люминесцентного экрана. Пористость последнего сло  экрана  вл етс  необходимым условием увеличени  световой отдачи экрана, что объ сн етс  следующим . Потенциал, приложенный к экрану, убывает по мере приближени  к поверхности пористого сло . Чем больще поры между зернами сло , лежа щими на разной глубине, тем больша  разность потенциалов между ними, тем вьше коэффициент ВЭЭ и тем большее число вторичных электронов возбу дает центры свечени  люминофора. Та- 1 9 .6 КИМ образом, светова  отдача экрана увеличиваетс . Необходима  пористость сло  достигаетс  за счет окислени  сло  алюмини , нанесенного при низком вакууме. Совмещение во времени операций окислени  и выжигани  органической пленки способствует сохранению световой отдачи экрана, так как экран не подвергаетс  повторному воздействию высокой температуры, отрицательно сказываюи(ейс  на световой отдаче экрана Режим окислени  и последовательность проведенных oneраций выбирались из следующих соображений . Во-первых, из необходимости получени  пористого сло , а значит, высокого коэффициента вторично-электронной эмиссии и, во-вторых, из-за услови  одновременного выжигани  орган1-гческой пленки при сохранении световой отдачи люминесцентного экрана . Экспериментальные исследовани  показ ши, что оптимальным режимом дл  вьшолнени  этих условий  вл етс  окисление второго сло  алюмини  при (350-380 )°С в течение 40-60 мин в атмосфере воздуха. При Т и t 40 мин не удаетс  одновременно с окислением полностью выжечь (фгани- ческую пленку, а при Т 380 С и мин возможно уменьшение световой отдачи экрана и сильное окисление сло , в результате чего цвет сло  становитс  серым, а с;гедователь- но, ухудишетс  его светопоглощение, При проведении операции окислени  второго сло  алюмини  при Т 380°С и времени выдержки при этой температуре t : 40 мин ухуди1аетс  светова  отдача люминесцентного экрана и не гарантируетс  полное выжигание органической пленки. При Т 350 С дл  вьскигани  органической пленки требуетс  длительное врем , которое значительно превышает 60 мин. За это врем  второй слой алюмини  окисл етс  настолько, что измен етс  его цвет и химический состав, в результате чего уменьшаетс  коэффициент вторично-электронной эмиссии, а значит, и светова  отдача экрана. На чертеже приведена зависимость световой отдачи экрана от питающего напр жени  дл  экранов, изготовленных согласно предлагаемому способу крива  1, и согласно прототипу крива  2,

Claims (1)

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО ЭКРАНА, включающий нанесение на стеклянную подложку слоя люминофора, нанесение органической пленки, напыление первого слоя алюминия при давлении не выше 1·10~⁴μμ рт.ст., термическую обработку в атмосфере воздуха, напыление второго слоя алюминия при давлении 110 - 1 10 мм рт.ст., о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью увеличения световой отдачи экрана, непосредственно после напыления первого слоя алюминия производят напыление второго слоя алюминия, после чего проводят' термическую обработку при 350-380°С в течение 40-60 мин.