SU1126857A1 - Способ изготовлени сорбционного электрического датчика влажности газов - Google Patents
Способ изготовлени сорбционного электрического датчика влажности газов Download PDFInfo
- Publication number
- SU1126857A1 SU1126857A1 SU823506990A SU3506990A SU1126857A1 SU 1126857 A1 SU1126857 A1 SU 1126857A1 SU 823506990 A SU823506990 A SU 823506990A SU 3506990 A SU3506990 A SU 3506990A SU 1126857 A1 SU1126857 A1 SU 1126857A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- solution
- voltage
- substrate
- viscosity
- drying
- Prior art date
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОРБЦИОННОГО ЭЛЕ1СГРИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ВЛАЖНОСТИ ГАЗОВ путем нанесени на подложку с электродами раствора органического влагочувствительного вещества с последующей сушкой, о т л и ча ю щи и с тем, что, с целью повышени стабильности работы изго-, тавливаемых датчиков, нанесение на подложку раствора производ т его диспергированием в поле коронного разр да, после сушки наход т зависимость межэлектродного, сопротивлени от влажности и в случае отклонени крутизны полученной характеристики от заданной довод т ее до необходимого значени путем изменени напр жени коронного разр да и (или) в зкости диспергируемого раствора. (П С
Description
Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к влагеметрии воздуха и газов, и может быть применено в различных отрасл х про мьпалекности и научных исследовани х, в том числе в метеорологии,, в сельском хоз йстве и т,Па
Известен датчик сорбционного типа основанный на применении гигроскопического тела,- свойства которого измен ютс в функции количества поглощенной влаги 11,
При адсорбции влаги из газовой среды происходит изменение электрических свойств Благочувствительного вещества (ВВ), например изменение сопротивлени или диэлектрической проницаемости.
Однако данное устройство облй;Чает невысокой стабильностьюс
Наиболее близким техническим реBjeHHCM к изобретению вл етс способ изготовлени сорбционного электрического дгтчика влажности газов путем нанесени на подложку с электродами раствора органического вхшгочувствительного вещества с последующей сушкой ,
Датчики, изготовленные согг/асно
способу5 имеют нестабильные характеристики5 измен ющиес при эксплуатации и хранении,. Как показывает эксплуатаци приборов с такими датчиками, погрежность вследствие нестабильности может достигать 20% в год6 Кроме того, формирование происходит при вращении подложки, Т5,е в силовом поле направленном по касательной к ее поверхности. Вследствие этого ухудшаетс адгезион ное сцепление пленки влагочувствительного вещества с поверхностью подложки и электродов, что отрицательно сказываетс на механических и, как следствие этого электрических свойствах датчиков„ Использование данного способа не позвол ет добитьс высокой производительности.
Целью изобретени вл етс повьппение стабильности работы изготав ливаемьп{ датчиков.,
Поставленна цель достигаетс теМд что согласно способу изготовлени сорбционного электрического датчика влшхности газов путем нанесени на подложку с электродами раствора органического влагочуьствительного вещества с последующей сушкой, нанесение на подложку раствора производ т его диспергированием в поле короного разр да, после сушки наход т зависимость межэлектродного сопротк:влени от влажности и в случае отклонени крутизны полученной характеристики от заданной довод т ее до необходимого значени путем изменени напр жени коронного разр да и (или) в зкости диспергируемого раствора.
Основным требованием5 предъ вл емым к датчикам, вл етс стабильность его коэффициента преобразовани во времени, который определ етс ., в первую очередь5 посто нством структуры и состава влaгo гyвcтвитeльного сло , его расположением относительно электродов и подложки, а такж здгезией.
Использование электрического пол высокого напр жени позвол ет повысить адгезию пленок благодар модификации поверхности. Кроме того, оно улучзлает электрофизические характеристики образовавшихсп покрытий; формиру капилл рно-пористую структуру.
Согласно .изобретению канесение вещества дл обеспечени указанных свойств проводитс диспергированиел4 ВБ в .электрическом поле,, в результате чего зар женные капельки перенос тс ма подложку датчика и электроды , где формируетс влагочубствительный слой. Напр жение подбираетс до такой величины, пока у высоковольтного электрода не образуетс факел диспергируемой жидкости и размер капель, на которые раздробитс жидкость, не дocтигaet минимальной величины (10-40 мин),
Как было установлено экспериментально , приемлемое качество влагочувствительного сло получаетс при напр жении пор дка 5-60 кВ, Это напр жение можно по.лучить от серийно выпускаемь.х источников, используемых например5, в рентгеновской аппаратере
При напр жении менее 5 кВ факел неустойчив и, хот диспергаци возмона , однако имеет место выделение крупных капель, привод щих к нарушению однородности сло .
Кроме того, радиус п тна значително меньше размеров подложки датчика, в рвйультате чего, канесенньг слой неоднороден по толщине. При этом напр жении погрешность, вызнанна нестабильностью характеристик, составл ет 3-10% относитель ой влпжности в год. Верхний предел по напр жению неограничен. Однако при повышении напр жени усложн ютс требов ни к защите от электрических пробоев и технике безопасности. Это пр водит к услол-31;анию установки и увелнчекиго ее габаритов. На практике использовались напр жени обычно 15 20 кВ при рассто ни х от высоковоль ного электрода 3-4 см. Межэлектродное рассто ние выбиралось из услови электрического прочности газового промежутка между высоковоххьткын зле родом и подложкойS Одним из важнейших параметров, вли ющих на метрологические качеств датчика вл етс в зкость исходного раствора. Во-первых, BJfsKocTb определ ет качество диспергации, так как она вли ет на скорость поступлени ВВ через капилл р на коронирующий элек род. Во-зторых, в зкость особенно в .растворах с летучим растворителем, может оказать вли ние на тонкость диспергации жидкости вследствие из менени поверхностного нат жени в процессе пролета капли между элект .родами. В-третьих, как было установлено экспериментально, при равенстве кол честв твердой компоненты в чувствительных сло х датчиков возникают ра личи в их сопротивлени х вследствие того, что исходный раствор имел Иную концентрацию или в зкость Это можно объ снить тем, что в процессе нанесени ВВ- мозможно соз- дание пленки j виде моносло в слу чае малов зких растворов с малой концентрат;ией твердой компоненты. Если же раствор обладает более высокой в зкостью И растворитель имеет низкую температуру кипени , то влагочувствительный слой формируетс из частичек, имеющих форму , близкую к сферической, и имеет структуру иную, нежели .в первом случаеk Это приводит как к изменению сопротивлени , так и удельной поверхности вещества, т.е. по вл етс возможность управлени такой важной характеристикой сорбционных датчиков, как пористость. В-четвертьгх, в зкость при прочих равных услови х определ ет адгезионное сцепление пленки с подложкой . Как показали эксперименты, диспергирование жидкости с высокой в зкостью (более 50 сП J приводит к застыванию,капель в процессе пролета межэлектродного рассто ни и засыханию ВВ на выходе канала высоковольтного электрода, в результате чего пленка имеет незначительную адгезию к подложке, возможно отслаивание чувствительного сло . Это имеет место при высоких значени х влажности. Поэтом характеристика у таких датчиков нестабильна и срок их эксплуатации крайне ограничен . Так, например, при циклических изменени х влажности от 90 до 100% они выход т из стро через 6-12 циклов . Использование жидкого ВВ с в зкостью менее 0,2-0,3 сП нереально, так как при температурах К минимальную в зкость в этих пределах имеет малое число растворителей (например, гексон, нитробензол). Остальные растворители имеют боль-шую в зкость.Поэтому выбор значений , в зкости следует производить в указанньгх пределах. Количество нанесенного ВВ, как показали эксперименты, оказывает вли ние на метрологические характеристики датчика, например на инерционность . Чем толще слой ВВ, тем выше инерционность датчика, тем выше потгрешность измерени при контроле динамических процессов. Кроме того, возможность получени высокой точности дозировани , при выполнении изложенных требований, вл етс условием получени взаимозамен емых датчиков в серийном производстве. Поэтому количество наносимого ВВ необходимо контролировать, Как показывает рассмотрение различных способов нанесе-.ни ВБ, только диспергирование последнего в электрическом поле позвол ет обеспечить контроль за количеством нанесенного вещества, В этом случае практически все вещество переноситс на подложку (пор дка 95-98%), так как она вл етс вторым (низковольтным ) электродом. Это качество особенно важно при дозирова 1ном . нанесении ВВ на подложку в случае серийного производства и автоматизации процесса, Значение толщины пленки и колиества сухого остатка ВВ получаетс путем пересчета объема израсходован ного исходного раствора ВВ, который фиксируетс по делени м на стенках бункера и концентрации этого раствора . На чертеже показано устройство дл осуществлени предлагаемого способа, Предназначенньй дЛ наносимого вещества 1 бункер 2 кэготовлен из прозрачного диэлектрика с нанесенны ми на стенки делени ми. Буккер соед нен с высоковольтным электродом 3 имеющим отверстие дл подачи ВВ на его коронирующую часть Источник высокого напр жени 4 предназначен дл создани коронного разр да, перевод щего раствор ВВ в зону 5. Вторым электродом вл етс датчик, содержащий подложку 6 с электродами В цепь источника напр жени 4 включен микроамперметр 7, Повыша напр жение на источнике высокого напр же ни 4, добиваютс того, чтобы БВ диспергировалось в зону 5, и делают пробное нанесение на гладкую металл ческую поверхность, варьиру напр жением и скоростью поступлени ВВ, Полученна дисперсна фаза дотшна ровным слоем наноситьс на поверхность без разводов и п тен, которые получаютс вследствие попадани кру ных капель. После пробного нанесени , когда выбран режим, в котором будет работать устройство, в зону 5 вноситс датчик. Плавно перемеща его с домощью , например, двухкоординатного столика с винтовой подачей, нанос т ВВ. Дозировка ВВ производитс с помощью делений на стенках бункера, В качестве ВВ использовалс раствор полиакрилонитрила или органический ионит с функциональной сульфогруппой , в который дл увеличени адгезии с подложкой добавл лс резольнь лей. Так как датчики миниатюрны, то дп нанесени ВВ наиболее удобным оказалось использование иглы от шприца, диаметр канала которой составл ет 0,8 мм, а радиус остри 0,05 мм. Раствор сульфокислоты новолака клеем БФ с исходной в зкостью 0,9 подаетс на коронирующий электрод. Напр жение плавно уьеличиваетс и через 1-2 кВ контролируетс качест во покрыти , Если отмечаетс , что 1 76 при напр жении менее 8 кВ качество диспергации плохое - имеютс крупные капли и поверхность неровна , то напр жение увеличиваетс до 10 кВ. При этом раствор начинает диспергиро-ватьс -на более мелкие капли. Поверхность становитс более ровной, матовой ,, Однако при сн тии характерист .ики R () (R сопротивление, - относительна влалдаость)п6лученный влагочувствительныйслой может отклеитьс ,, так как капли застывали в полете и адгези их с подложкой была слабой В этом случае раствор разбавл етс ацетоном и доводитс до в зкости 0,7 сП, Увеличиваетс , как отмечалось напр жение с тем, чтобы получилс максималгным угол распылени при условии, чтобы поверхность датчика получилась бы :-злажной с целью повышени адгезии. Это происходит, например при 12 кВ, После нанесени ВВ и сушки измер етс сопротивление при различных влажност х В результате получают характеристику (4%) с крутизной меньшей требуемой. Следовательно, покрытие получаетс многослойным и клей при полимеризации создает добавочкое сопротивление, уменьша чувст вительность, Позто1.у еще более уменьшаетс концентраци кле , в зкосчь доводитс до 0,65 сП, В этом случае при напр женки 12 кВ на поверхности могут образоватьс излишки зкидкого растворител , который медленно испар етс с образованием паровного с подтеками влагочувствительного сло . Поэтому увеличиваетс напр жение до 20 кВ и одновременно увеличиваетс межэлектродное рассто ние. Поверхность влагочувствительной пленки получаетс ровной н прозрачной., без подтеков ,Растворитель в течение 015 с испар етс . После сутки измер етс характеристика (Ч%). Если она оп ть не удовлетвор ет по крутизне, например оп ть слишком полога S то несколько уменьшают межэлектродное рассто ние с одновременным уменьшением напр жени , например, до 18 кВ с целью укрупнени капель раствора. Если крутизна слишком больша , то рассто ние до коронирующего электрода несколько увеличивают с одновременным увеличе шен напр жени дл более тонкого 7 диспергировани раствора влагочуствительного вещества и большего испа ре1ш растворител во врем пролета капли от коронирукпцего электрода до подложки. Описанные операции повтор ютс до тех пор, пока не получают требуе мую крутизну характеристики и свойства , определ ющие надежность датчи ка и его метеорологические характеристики . После этого, варьиру количеством наносимого раствора, подбирают диапазон изменени сопротивлени при данной крутизне характеристики (номинал датчика). При использовании предлагаемого способа изготовлени сорбционных 78 датчиков влажности по сравнению с известным уменьшаетс погрешность измерени влажности за счет дрейфа характеристики в 2-4 раза. Кроме того , уменьшаетс разброс датчиков, по сопротивлению. Так, в парти х из 20 штук датчиков, изготовленных согласно предлагаемому способу, зона разброса не более 5% относительной влажнрсти(у датчиков , изготовленных по известному способу, зона разброса 10-20% ), Изобретение позвол ет улучшить параметры датчиков, что обеспечивает их более широкое и .эффективное использование в метеорологии, сельс ком хоз йстве и других отрасл х.
Claims (1)
- СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОРБЦИОННОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ВЛАЖНОСТИ ГАЗОВ путем нанесения на под- ложку с электродами раствора органического влагочувствительного вещества с последующей сушкой, отличи ю щ и й с я тем', что, с целью повышения стабильности работы изготавливаемых датчиков, нанесение на подложку раствора производят его диспергированием в поле коронного разряда, после сушки находят зависимость межэлектродного, сопротивления от влажности и в случае отклонения крутизны полученной характеристики от заданной доводят ее до необходимого значения путем изменения напряжения коронного разряда и (или) вязкости диспергируемого раствора.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823506990A SU1126857A1 (ru) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | Способ изготовлени сорбционного электрического датчика влажности газов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823506990A SU1126857A1 (ru) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | Способ изготовлени сорбционного электрического датчика влажности газов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1126857A1 true SU1126857A1 (ru) | 1984-11-30 |
Family
ID=21034175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU823506990A SU1126857A1 (ru) | 1982-11-01 | 1982-11-01 | Способ изготовлени сорбционного электрического датчика влажности газов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1126857A1 (ru) |
-
1982
- 1982-11-01 SU SU823506990A patent/SU1126857A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1 ..Берлинер М.А.Измерени члажности, М., Энерги ,1973, с.276-301. 2. Авторское свидетельство СССР № 424058, кл.С 01 N 27/02,1972 (прототип). * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69221475T2 (de) | Auf nanostrukturierten,zusammengestellten Filmen fundierte Sensoren | |
JP5815533B2 (ja) | イオン移動度センサーに供給するサンプルを調製する装置 | |
DE3818736C2 (ru) | ||
Wisitsoraat et al. | Electron beam evaporated carbon nanotube dispersed SnO 2 thin film gas sensor | |
Chiu et al. | Vacuum electrospray ionization study of the ionic liquid,[Emim][Im] | |
CN1198109A (zh) | 经真空闪蒸蒸发的聚合物复合材料 | |
GB2204991A (en) | Vacuum electronic device | |
Nathoo et al. | High field and ac properties of steric acid films | |
EP0046989A2 (de) | Selektiver Dünnschicht-Gassensor hoher Empfindlichkeit und Stabilität zum Nachweis und zur Messung von gasförmigen Kohlenwasserstoff-Verunreinigungen in der Luft auf der Basis von Wolframoxid (WOx)-Halbleitern, sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung | |
KR20160009740A (ko) | 말디톱 질량분석기에 이용가능한 시료 플레이트 및 상기 시료 플레이트의 제조방법, 그리고 상기 시료 플레이트를 이용한 질량분석 방법 | |
KR20170021398A (ko) | 말디톱 질량분석기에 이용가능한 시료 플레이트 및 상기 시료 플레이트의 제조방법 | |
SU1126857A1 (ru) | Способ изготовлени сорбционного электрического датчика влажности газов | |
US4140990A (en) | Probe for selectively detecting vapors, water vapor in particular | |
Teer et al. | Electrospray mass spectroscopy of macromolecule degradation in the electrospray | |
Santos et al. | Performance evaluation of a high-resolution parallel-plate differential mobility analyzer | |
US3715702A (en) | Relative humidity sensor | |
Morozov | Electrospray deposition of biomolecules | |
KR20040105360A (ko) | 레이저 탈착/이온화 질량 분석용 시료 홀더 및 그 제조방법 | |
EP0104636A2 (de) | Sauerstoffsensor und Verfahren zu dessen Herstellung | |
KR20190040652A (ko) | Maldi 질량분석법을 이용한 고분자의 정량분석방법 및 고분자 정량분석을 위한 maldi 질량분석용 시편의 제조방법 | |
US11971394B2 (en) | Electron capture detector | |
Bender et al. | Deposition of high quality coatings on SAW sensors using electrospray | |
Niessner et al. | Application of a multistep condensation nuclei counter as a detector for particle surface composition | |
US3703697A (en) | Relative humidity sensor | |
US3014858A (en) | Electrolytic film |