SU1118713A1 - Испаритель многокомпонентных материалов - Google Patents

Испаритель многокомпонентных материалов Download PDF

Info

Publication number
SU1118713A1
SU1118713A1 SU823486264A SU3486264A SU1118713A1 SU 1118713 A1 SU1118713 A1 SU 1118713A1 SU 823486264 A SU823486264 A SU 823486264A SU 3486264 A SU3486264 A SU 3486264A SU 1118713 A1 SU1118713 A1 SU 1118713A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
evaporator
outlet
housing
multicomponent material
material evaporator
Prior art date
Application number
SU823486264A
Other languages
English (en)
Inventor
Степан Петрович Олеськив
Борис Степанович Олеськив
Original Assignee
Oleskiv Stepan P
Oleskiv Boris S
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oleskiv Stepan P, Oleskiv Boris S filed Critical Oleskiv Stepan P
Priority to SU823486264A priority Critical patent/SU1118713A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1118713A1 publication Critical patent/SU1118713A1/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material

Abstract

ИСПАРИТЕЛЬ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий корпус с выходным отверстием, перекрытым заслонкой, отличающийс  тем, что с целью упрощени  конструкции испарител , заслонка- . выполнена в виде пробки из материала наиболее тугоплавкой компоненты, установленной в выходном отверстии.

Description

00 -ч1
со
I111
Изобретение ртаоситс  к нанесению покрытой в вакууме и может быть иснользовано . дл  получени  многокомпонентных покрытии.
Известен испаритель многокомпонеитных материалов, содержащий корпус с выходным отверстием; перекрытым заслонкой f).
Недостатком известного испарител   вл етс  сложность конструкции, так как дл  герметичного закрывани  выходного отверсти  требуетс  сложный механизм с притертыми сопр гаемыми поверхност ми корпуса иотарител  и заслонки, а дл  Автоматизации процесса выпуска паров из испарител  - специальна  электронна  след ща  система.
Цель изобретени  - упрощение конструкции испарител .
Поставленна  цель достигаетс  тем, что в испарителе многокомпонентных материалов, содержащем корпус с выходным отверстием, перекрытым заслонкой, последн   выполнена в виде пробки из материала наиболее тугоплавкой компоненты, установленной в выходном отверстии.
Испаритель позвол ет получить воспроизводимые пленки сложного состава за счет самоавтоматизации процесса выпуска пара, в состав которого вход т все компоненты исходного вещества, так как выходное отверстие открываетс  только при расплавлении наиболее тугоплавкой компоненты.
На чертеже показан предлагаемый испаритель , общий вид.
Испаритель состоит из корпуса 1, разделенного диафрагмой 2 на емкость 3 дл  испар емого , материала и камеру сменшвани  4, на торец которой одета заслонка 5 с выходным отверстием 6. Дл  разогрева испарител  джоулевым теплом за счет пропускани  тока по корпусу используетс  токоподводы 7. Выходное отверстие закрьгеаетс  пробкой 8, выполненной нз наиболее тугоплавкой компоненты испар емого многокомпонентного MatepHana.
Испаритель работает следующим образом.
Навеску дл  испарений приготовлшт из механической смеси А. ВС...Х , вз тых в соответствующих соотнощени х. Дл  загрузки испар емой навески корпус 1 испарител  выполнен разъемным, что позвол ет отделить камеру смешивани  4 от емкости 3 Дл  испар емого материала и быстро загрузить последнюю. (Выходное отверстие 6 закрьшают пробкой 8 из наиболее тугоплавкой компоненты смеси (вес пробки. учитываетс  при приготовлении навески). При достижении определенного разрежени  в вакуумной камере на испаритель подают напр жение такой величины, которое способно обеспе щть в коротком интервале временн нагрев испарител  на 420-450 К выще температуры испарени  наиболее тугоплавкой компоненты смеси А В С...Х . Пары сквозь отверсти  диафрагмы 2 поступают в камеру смешивани  4, где осуществл етс  процесс синтеза. Отверсти  в диафрагме выбираютс  из услови  исключени  попадани  неиспаривщихс  частиц из нижней части испарител  в верхнюю. Выпуск синтезированного пара из камеры смешивани  происходит автоматически при испарении проб ки из наиболее тугоплавкой компоненты, при этом пары испар ющейс  пробки участвуют в формировании покрыти .
Пример. испаренни механнческой смеси А В (PL -j Sn Se) , отличающихс  температурой испарени  (PL 600 К, Sn 50 К Se 480 К), в качестве пробки используетс  PL. X - 0,5 полный вес испар емой навески составл ет 1,308 г (PL 0,747 г, Sn 0,166 г, Se 0,395 г). Все пробки PL 0,2-0,6 мг. Дл  полного синтеза, испарени  пробки и выпуска паров испаритель нагревают до 1020-1050° К.
Изобретение позволит простыми средствами получать качественные многокомпонентные покрыти .

Claims (1)

  1. ИСПАРИТЕЛЬ МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий корпус с выходным отверстием, перекрытым заслонкой, отличающийся тем, что с целью упрощения конструкции испарителя, заслонка, выполнена в виде пробки из материала наиболее тугоплавкой компоненты, установленной в выходном отверстии.
    шгпг-тш
    1 1118713 2
SU823486264A 1982-07-08 1982-07-08 Испаритель многокомпонентных материалов SU1118713A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823486264A SU1118713A1 (ru) 1982-07-08 1982-07-08 Испаритель многокомпонентных материалов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823486264A SU1118713A1 (ru) 1982-07-08 1982-07-08 Испаритель многокомпонентных материалов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1118713A1 true SU1118713A1 (ru) 1984-10-15

Family

ID=21027506

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823486264A SU1118713A1 (ru) 1982-07-08 1982-07-08 Испаритель многокомпонентных материалов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1118713A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2615962C1 (ru) * 2015-12-04 2017-04-11 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)" (СГАУ) Испаритель многокомпонентных растворов

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Данилин Б. С. Вакуумна техника в производстее интефальных схем. М., Энерги , 1972, с. 150, рис. 5-1Г (прототип). *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2615962C1 (ru) * 2015-12-04 2017-04-11 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Самарский государственный аэрокосмический университет имени академика С.П. Королева (национальный исследовательский университет)" (СГАУ) Испаритель многокомпонентных растворов

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4076866A (en) Method of growing films by flash vaporization
SU1118713A1 (ru) Испаритель многокомпонентных материалов
Komai et al. Spectral analysis of Sr 3d XPS spectrum in Sr‐containing hydroxyapatite
Bell et al. The Absolute f-Values of lambda 3247 of Cu I and lambda 3720 of Fe I.
CA2094132A1 (en) Vapour deposition apparatus and method
NO130006B (ru)
JPS57169088A (en) Crucible
US4551303A (en) Method of using an evaporation source
US1448073A (en) Production and utilization of smoke-producing compositions
US1858456A (en) Phosphorus container
US4606296A (en) Evaporation cell for a liquid compound suitable for epitaxy by molecular jets
JPS5943876A (ja) 蒸発源
US3667524A (en) High-energy propellant containing coated hydrazinium azide
JPS5943875A (ja) 蒸発源及びその使用方法
US3459607A (en) High-energy propellant
JPS5943874A (ja) 蒸発材料収容器及びその使用方法
RU1789966C (ru) Электрофотографический материал
DE19852326A1 (de) Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats sowie Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Beschichtungsstoff
JPS6263672A (ja) 蒸着膜の蒸気処理法
SU1574697A1 (ru) Устройство дл осаждени пленок твердых растворов
JPS56127519A (en) Packer scale for fine powder and particle
US3116958A (en) Automatic feed for evaporation material
RU2615962C1 (ru) Испаритель многокомпонентных растворов
DE3931189A1 (de) Vorrichtung und verfahren zum erzeugen eines mit dem dampf eines wenig fluechtigen stoffes angereicherten gasstroms
Nash et al. More Lab Results On Vacuum Weathering Of Frozen Sulfur: Applications to Io