DE19852326A1 - Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats sowie Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Beschichtungsstoff - Google Patents
Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats sowie Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem BeschichtungsstoffInfo
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Abstract
Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats, wobei ein pulver- oder granulatförmiger, dotierter Leuchtstoff in einer Bedampfungskammer einer Bedampfungsvorrichtung im Vakuum auf eine erwärmte Verdampfungsquelle gegeben wird, wo er sofort verdampft und sich auf dem Substrat abscheidet.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines mit
einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats.
Solche Substrate werden beispielsweise für Strahlungsdetekto
ren, die im Rahmen röntgentechnologischer Anwendungen, wie
beispielsweise der Radiologie oder der Mammographie einge
setzt werden, verwendet. Mittels solcher Detektoren und ins
besondere der leuchtstoffbeschichteten Substrate ist es mög
lich, die einfallende Strahlung in mittels entsprechend nach
geschalteter Elektronik ausles- und verarbeitbare Information
umzuwandeln. Als hierfür geeignete dotierte Leuchtstoffe kom
men Gallium-dotierte Systeme, wie beispielsweise CsBr:Ga,
RbBr:Ga oder CsI:Ga zum Einsatz. Als Dotierstoff dient in
einem Fall GaBr, im anderen Fall GaI.
Problematisch insbesondere bei dem Dotierstoff GaBr ist seine
Instabilität, dieser Stoff ist nicht isoliert darstellbar.
Aus US 5 736 069 ist ein Verfahren zum Erzeugen einer
dortierten Leuchtstoffschicht auf einem Substrat bekannt, ge
mäß welchem die Ausgangsstoffe für den Leuchtstoff entspre
chend der gewünschten Dotierung zunächst gemischt, an
schließend bei beispielsweise 400°C getrocknet und hiernach
bei hoher Temperatur (z. B. 925°C) ein Einkristall des
Leuchtstoffes gezüchtet wird. Der pulverförmige Leuchtstoff
wird durch Mahlen des Einkristalls gewonnen und in einer
Lösung eines Bindematerials (z. B. Polyethylenacrylat) in ei
nem Lösungsmittel (z. B. Ethylenacetat) dispergiert. Das
eigentliche Leuchtstoffsubstrat, beispielsweise die Leucht
stofffolie, wird durch Beschichten (Aufrollen oder Sedimen
tieren) des Substrats mit der Dispersion und anschließendem
Trocknen hergestellt.
Eine weitere Möglichkeit der Beschichtung besteht darin, den
dotierten Leuchtstoff im Rahmen einer gemeinsamen Verdampfung
(Co-Verdamfung) zweier Stoff im Vakuum mittels zweier Ver
dampfungsquellen unter Verwendung einer Bedampfungsvorrich
tung aufzubringen. Die gewünschte Dotierung wird über die un
terschiedlichen Kondensationsraten des Röntgenabsorberstoffes
(im allgemeinen ein Alkalihalogenid, z. B. CsI, CsBr) und des
Dotierungsmaterials, z. B. TlI, eingestellt. Im Rahmen eines
solchen Verfahrens können aber nur solche Leuchtstoffe er
zeugt werden, deren Dotierungsmaterial chemisch stabil oder
zumindest als pulverförmiges Material isoliert herstellbar
ist, was hinsichtlich des Dotierungsstoffes GaBr aber gerade
nicht möglich ist.
Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, ein verbes
sertes Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten
Leuchtstoff beschichteten Substrats anzugeben.
Zur Lösung dieses Problem ist bei dem erfindungsgemäßen Ver
fahren vorgesehen, daß ein pulver- oder granulatförmiger,
dotierter Leuchtstoff in einer Bedampfungskammer einer Be
dampfungsvorrichtung im Vakuum auf eine erwärmte Verdamp
fungsquelle gegeben wird, wo er sofort verdampft und sich auf
dem Substrat abscheidet, wobei erfindungsgemäß ein mit Gal
lium dotierter Leuchtstoff verwendet werden kann.
Das erfindungsgemäße Verfahren geht von einem im Pulver- oder
Granulatform vorliegenden, bereits dotierten Leuchtstoff aus,
wie er beispielsweise gemäß US 5 736 069 herstellbar ist.
Dieser insoweit "fertige" Leuchtstoff, der nun lediglich noch
zur Herstellung des Substrats auf selbiges aufzubringen ist,
wird im Vakuum der Bedampfungskammer einer "Blitzverdampfung"
unterworfen, indem er auf eine hochgeheizte Verdampfungs
quelle gegeben wird, auf welcher er unmittelbar nach dem Auf
treffen verdampft, und anschließend auf dem Substrat unter
Bildung der Beschichtung kondensiert. Die Blitzverdampfung
ermöglicht es mit besonderem Vorteil eine Entmischung des
dotierten Leuchtstoffes, der aus dem Röntgenabsorbermaterial
und dem Dotierstoff besteht, zu vermeiden, was der Fall wäre,
wenn dieser pulver- oder granulatförmige Leuchtstoff einer
allmählichen Verdampfung, bei welcher er erst z. B. von Raum
temperatur ausgehend hochgeheizt wird, zu besorgen wäre. Auf
diese Weise kann unter Ausnutzung der vielen Vorteile eines
Aufdampfverfahrens im Hinblick auf die Schichteigenschaften
eine dotierte Leuchtstoffschicht und insbesondere eine mit
Gallium dotierte Leuchtstoffschicht in einem Aufdampfverfah
ren hergestellt werden, wobei es sich im Hinblick auf eine
sofortige Verdampfung als zweckmäßig herausgestellt hat, wenn
der verwendete pulver- oder granulatförmige Leuchtstoff einen
mittleren Korndurchmesser ≦ 5 mm, insbesondere aus dem Be
reich 0,05 mm bis 5 mm aufweist.
Erfindungsgemäß kann der Leuchtstoff aus einem Vorratsbehäl
ter mittels einer Fördereinrichtung zur Verdampferquelle ge
bracht werden, wobei hierfür zweckmäßigerweise ein Vibra
tions- oder Zentrifugalförderer verwendet wird. Durch Va
riation der Fördergeschwindigkeit kann vorteilhaft die auf
die Verdampfungsquelle gegebene Leuchtstoffmenge eingestellt
werden, d. h., auf diese Weise kann die Wachstumgeschwindig
keit der Leuchtstoffschicht beeinflußt werden. Auch kann
hierdurch das Verdampfungsverhalten beeinflußt werden, da
hierüber kontrolliert werden kann, daß nicht zuviel Leucht
stoff pro Zeiteinheit auf die Verdampfungsquelle gegeben
wird, was zu Verdampfungsproblemen führen kann. Der Leucht
stoff selbst kann vor Aufgabe auf die Verdampfungsquelle in
einen Aufnahmetrichter mit einer Auslaßöffnung gegeben wer
den, aus welcher er kontinuierlich und stetig auf die Ver
dampfungsquelle rieselt.
Alternativ zur Förderung des Leuchtstoffs mittels der För
dereinrichtung kann der Leuchtstoff auch in einen mit einer
reversibel schließbaren Auslaßöffnung, deren Öffnungsgrad zur
Einstellung der abgegebenen Leuchtstoffmenge erfindungsgemäß
auch variiert werden kann, versehenen Aufnahmetrichter ge
geben werden.
Als besonders zweckmäßig hat es sich erwiesen, wenn der in
dem Vorratsbehälter und/oder der Fördereinrichtung und/oder
dem Aufnahmetrichter befindliche Leuchtstoff gekühlt wird,
bevorzugt auf Raumtemperatur, so daß vermieden wird, daß der
Leuchtstoff bereits vor Aufgabe auf die Verdampfungsquelle
infolge der im Inneren der Bedampfungskammer herrschenden
Temperatur teilweise abdampft. Die Temperatur im Inneren der
Bedampfungskammer beträgt ca. 150°C bis 250°C, wobei die Tem
peraturerhöhung u. a. von dem während der Bedampfung erfin
dungsgemäß erwärmten Substrat herrührt. Das Substrat selbst
kann erfindungsgemäß während der Bedampfung rotieren, wobei
in diesem Fall die Verdampfungsquelle zweckmäßigerweise ex
zentrisch zur Rotationsachse angeordnet sein kann, um eine
gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten.
Weiterhin kann eine Vordampfungsquelle mit Leuchtstoff-
Dampfstrom leitenden Mitteln verwendet werden, wobei sich
hierfür eine solche in Form eines seitlich geschlossenen Be
hältnisses mit der Stromleitung dienenden Wänden als zweck
mäßig erwiesen hat. Diese Wände ermöglichen zum einen, den
abgehenden Leuchtstoff-Dampfstrom in Richtung des ggf. rotie
renden Substrats zu kanalisieren und kontrolliert auf dieses
zu leiten, daneben verhindern sie aber auch ein seitliches
Spritzen des aufgegebenen Leuchtstoffs, wenn dieser wenn
gleich für extrem kurze Zeitdauer in der flüssigen Phase vor
liegt.
Neben dem Verfahren betrifft die Erfindung ferner eine Vor
richtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Beschich
tungsstoff, insbesondere einem Leuchtstoff, welche zur Durch
führung des vorbeschriebenen Verfahrens geeignet ist. Diese
Vorrichtung umfaßt eine Bedampfungskammer, in der ein Vakuum
erzeugbar ist und in der wenigstens eine Bedampfungsquelle
vorgesehen ist, die mittels eines zugeordneten Heizmittels
erwärmbar ist, sowie zur Aufnahme des pulver- oder granulat
förmigen Beschichtungsstoffes ausgebildeten Mittel, von denen
oder mittels welcher der Leuchtstoff auf die dazu separat an
geordnete Verdampfungsquelle zur sofortigen Verdampfung geb
bar ist.
Die Mittel umfassen erfindungsgemäß einen den Beschichtungs
stoff aufnehmenden Vorratsbehälter sowie eine diesem zugeord
nete zur Fördereinrichtung, zweckmäßigerweise in Form eines
Vibrations- oder Zentrifugalförderers, zum Fördern des Stof
fes zur Verdampfungsquelle Ferner kann ein der Förderein
richtung, deren Fördergeschwindigkeit zur Einstellung der Ab
gabemenge variierbar ist, nachgeordneter Aufnahmetrichter mit
einer Auslaßöffnung vorgesehen sein.
Gemäß einer ersten Erfindungsausgestaltung kann der Vorrats
behälter außerhalb der Bedampfungskammer und die Förderein
richtung sich in das Kammerinnere erstreckend angeordnet
sein. Alternativ hierzu kann der Vorratsbehälter und die För
dereinrichtung, und ggf. der Aufnahmetrichter, auch im Inne
ren der Bedampfungskammer vorgesehen sein.
Gemäß einer weiteren Erfindungsausgestaltung können die Mit
tel einen den Beschichtungsstoff aufnehmenden Aufnahmetrich
ter mit einer reversibel schließbaren Auslaßöffnung umfassen,
die zum Aufbringen des Beschichtungsstoffes geöffnet wird,
und deren Öffnungsgrad variierbar sein kann. Auch eine Küh
lung der Mittel kann vorgesehen sein.
Schließlich können an der Verdampfungsquelle Mittel zum Lei
ten des Dampfstromes vorgesehen sein, wobei die Verdampfungs
quelle hierfür vorteilhaft nach Art eines seitlich geschlos
senen Behältnisses mit der Stromleitung dienenden Wänden aus
gebildet sein kann, welche vom Behältnisboden senkrecht oder
unter einem Winkel dazu abstehen können. Die Seitenwände
selbst können hierbei gezielt erwärmbar sein, wozu ggf. sepa
rate Heizmittel vorgesehen sein können. Neben der Möglich
keit, daß das Substrat unter Verwendung von geeigneten Mit
teln erwärmbar ist, kann das Substrat auch rotierbar sein,
wobei die Verdampfungsquelle exzentrisch zur Rotationsachse
angeordnet sein kann.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung er
geben sich aus den im folgenden beschreiebenen Ausführungs
beispielen sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipskizze einer erfindungsgemäßen Vorrich
tung einer ersten Ausführungsform,
Fig. 2 eine Prinzipskizze einer Vorrichtung gemäß einer
zweiten Ausführungsform,
Fig. 3 eine Vorrichtung gemäß einer dritten Ausführungs
form in Form einer Prinzipskizze und
Fig. 4
bis 10 verschiedene Ausführungsformen von Verdampfungs
quellen.
Fig. 1 zeigt in Form einer Prinzipskizze eine erfindungsge
mäße Vorrichtung 1 zum Bedampfen eines Substrats mit einem
Beschichtungsstoff, wobei von dieser Vorrichtung äußere Ge
häuseteile nicht dargestellt sind, sondern lediglich die Be
dampfungskammer 2, auf die es hier entscheidend ankommt. In
dieser Bedampfungskammer ist über nicht näher gezeigte Pum
penmittel ein Vakuum erzeugbar. Im Inneren der Bedampfungs
kammer 2 ist das Substrat 3 an entsprechenden Haltemitteln
anbringbar, wobei dieses Haltemittel auch für eine Rotation
des Substrats 3 ausgebildet seine können. Dem Substrat 3 zu
geordnet ist eine Heizeinrichtung 4, um das Substrat auf eine
Temperatur von ca. 150-250°C zu erwärmen, was eine Optimie
rung der Schichteigenschaften ermöglicht, wie beispielsweise
die Leuchteigenschaften, z. B. Lichtausbeute oder die Modula
tionsübetragungsfunktion (MTF), wobei die Temperatur kontrol
liert und geregelt werden kann.
Ferner ist im Inneren eine Verdampfungsquelle 5 vorgesehen,
die elektrisch über entsprechende Stromzuführungen 6 heizbar
ist. Auf diese Verdampfungsquelle 5 wird der zu verdampfende
pulver- oder granulatförmige, dotierte Leuchtstoff gegeben,
wobei die Verdampfungsquelle 5 im Zeitpunkt der Aufgabe be
reits hochgeheizt ist. Als ein solcher dotierter Leuchtstoff
kann beispielsweise CsBr:Ga, RbBr:Ga oder auch CsI:Ga verwen
det werden. Die Aufgabe des pulver- oder granulatförmigen
Leuchtstoffes, der einen mittleren Korndurchmesser von bevor
zugt 0,05 bis 5 mm aufweisen sollte, auf die bereits hochge
heizte Verdampfungsquelle führt zu einer "Blitzverdampfung",
d. h., der Leuchtstoff wird sofort bei Auftreffen auf die
heiße Verdampfungsquelle verdampft. Wie durch die Pfeile an
gegeben, trifft der Dampfstrom auf das Substrat 3, wo er kon
densiert und unter Erzeugung der Leuchtstoffschicht sich ab
scheidet. Für eine gleichmäßige Beschichtung der Substratflä
che hinsichtlich der Flächenbelegung wird die Verdampfungs
quelle, die bevorzugt aus einem Wolfram- oder Molybdänblech
besteht, bei einer rotierbarn Anordnung des Substrats 3
exzentrisch zur Rotationsachse des Substrats 3 angeordnet.
Das heißt, das rotierende Substrat 3 wird quasi durch den
relativ gerichtet nach oben strömenden Dampf hindurch ge
dreht. Für eine noch gerichtertere Verdampfung des Leucht
stoffs ist es vorteilhaft, die Verdampfungsquelle mit Seiten
wänden zu versehen und auch diese mitzuheizen, wodurch der
Dampfstrom einerseits kontrolliert und kanalisiert zur Kon
densationsebene des rotierenden Substrats abgelenkt werden
kann, zum anderen können beim wenngleich auch nur sehr kurz
zeitigen Übergang in die flüssige Phase Spritzer vermieden
werden. Auf die Ausgestaltung der Verdampfungsquelle wird
nachfolgend noch eingegangen.
Um den Leuchtstoff auf die Verdampfungsquelle 5 aufzugeben,
sind im gezeigten Beispiel Mittel 7, die den Leuchtstoff auf
nehmen, vorgesehen. Diese Mittel 7 umfassen einen Vorratsbe
hälter 8, in dem der pulver- oder granulatförmige Leuchtstoff
aufgenommen ist. Diesem außerhalb der Bedampfungskammer 2 an
geordneten Vorratsbehälter 8 ist eine Fördereinrichtung 9,
beispielsweise ein Vibrations- oder Zentrifugalförderer nach
geschaltet, die über eine entsprechende Vakuumdurchführung in
das Innere der Bedampfungskammer 2 führt und im gezeigten
Beispiel oberhalb der Verdampfungsquelle 5 endet. Bei diesem
Ausführungsbeispiel wird also der dotierte Leuchtstoff von
außen in das Innere der Bedampfungskammer 2 gefördert, wobei
die Verdampfungsrate über die steuerbare Fördergeschwindig
keit und damit über die steuerbare Aufgabemenge regel- und
kontrollierbar ist. Bei Abgabe des Leuchtstoffs von der För
dereinrichtung rieselt dieser auf die Verdampfungsquelle, wo
er infolge der hohen Temperatur der Verdampfungsquelle, die
mindestens die Schmelztemperatur der einzelnen Leucht
stoffkomponenten betragen muß, blitzartig verdampft. Es ver
steht sich, daß der von außerhalb der Bedampfungskammer 2
beginnende Zuförderprozess derart erfolgt, daß das im
Kammerinneren herrschende Vakuum nicht beeinträchtigt wird.
Fig. 2 zeigt eine weitere Ausführungsform einer erfindungsge
mäßen Vorrichtung 1', die insoweit im Aufbau der aus Fig. 1
bekannten Vorrichtung entspricht, jedoch sind hier die Mittel
7' im Inneren der Bedampfungskammer 2 vorgesehen, d. h., die
ursprüngliche Materialaufgabe wie auch die Förderung zur Ver
dampfungsquelle 5 findet im Kammerinneren statt. Gemäß der
Ausgestaltung nach Fig. 2 umfassen die Mittel 7' ferner einen
der Fördereinrichtung 9' nachgeschalteten Aufnahmetrichter
10, an dessen unterem Ende eine Auslaßöffnung 11 vorgesehen
ist, aus welcher der Leuchtstoff dann kontinuierlich auf die
Verdampfungsquelle 5. Ein solcher Aufnahmetrichter kann auch
bei den Mitteln 7 gemäß Fig. 1 vorgesehen sein. Der Aufnahme
trichter kann auch am Auslaß des Vorratsbehälters des Mittels
7' ein, wobei die Fördereinrichtung 9' dann davon getrennt
ist.
Schließlich zeigt Fig. 3 eine dritte erfindungsgemäße Vor
richtung 1'', die im Grundaufbau ebenfalls der aus Fig. 1 be
kannten Vorrichtung entspricht. Hier umfassen die Mittel 7''
einen Aufnahmetrichter 12, in den vor Beginn der Bedampfung
der dotierte Leuchtstoff eingegeben wird. Dieser Aufnahme
trichter 12 ist oberhalb der Verdampfungsquelle 5 angeordnet.
Am unteren Ende des Aufnahmetrichters 12 ist eine mittels
eines Verschlußelements 13 reversibel schließbare Auslaßöff
nung 14 vorgesehen, wobei der Öffnungsgrad der Auslaßöffnung
14 durch entsprechend weites Öffnen des Verschlußmittels 13
eingestellt werden kann, so daß auch hier die Aufgabemenge
variierbar ist. Sämtliche Steuerungen der bei den beschriebe
nen Vorrichtungen 1, 1' und 1'' relevanten Komponenten erfol
gen über nicht näher gezeigte, außerhalb der Kammer angeord
nete Steuermittel.
Schließlich zeigen die Fig. 4 bis 10 verschiedene Ausfüh
rungsformen von Verdampfungsquellen. In der einfachsten Aus
führungsform (Fig. 4 und 8) kann die Verdampfungsquelle aus
einem ebenen Blech, bevorzugt aus Molybdän oder Wolfram, be
stehen und beispielsweise einen rechteckigen oder runden
Querschnitt aufweisen. Zur Ermöglichung einer gerichteten und
kanalisierten Verdampfung ist es jedoch vorteilhaft, Mittel
zum Leiten des von der Aufgabefläche abdampfenden Dampfstro
mes vorzusehen, wozu, siehe die Fig. 5 bis 7 und 9 und 10,
die jeweiligen Verdampfungsquellen nach Art eines Behältnis
ses mit Seitenwänden 15 versehen sind. Diese Seitenwände 15
können beispielsweise bei den Ausgestaltungen gemäß Fig. 5
und 9 vom Boden im wesentlichen vertikal abstehen. Sie können
jedoch auch, siehe die Fig. 6, 7 und 10, unter einem Winkel
hierzu angeordnet sein. Bevorzugt werden beim Erhitzen der
Verdampfungshülle auch die Seitenwände mitbeheizt, wozu ggf.
separate Heizmittel vorgesehen sein können. Abschließend ist
darauf hinzuweisen, daß jedes der Mittel 7, 7', 7'' über ge
eignete Kühleinrichtungen gekühlt werden kann, so daß der je
weils dort befindliche Leuchtstoff ebenfalls gekühlt wird.
Dies kann beispielsweise mittels geeigneter, an den jeweili
gen Mitteln vorgesehene Kühlstrecken, die beispielsweise von
Kühlwasser durchströmt sind, erreicht werden. Das Kühlen des
Leuchtstoffes bewirkt, daß dieser bei der im Kammerinneren
herrschenden Temperatur nicht bereichts vor dem Aufbringen
auf die Verdampfungsquelle abdampft oder aber sich ggf. ent
mischt, was durch die unterschiedlichen Dampfdrucke der den
dotierten Leuchtstoff bildenden Komponenten möglich sein
kann.
Claims (28)
1. Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten
Leuchtstoff beschichteten Substrats, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein pulver- oder granulatför
miger, dotierter Leuchtstoff in einer Bedampfungskammer einer
Bedampfungsvorrichtung im Vakuum auf eine erwärmte Verdamp
fungsquelle gegeben wird, wo er sofort verdampft und sich auf
dem Substrat abscheidet.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein mit Gallium dotierter
Leuchtstoff verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der pulver- oder granu
latförmige Leuchtstoff einen mittleren Korndurchmesser ≦ 5mm,
insbesondere aus dem Bereich 0,05mm bis 5mm aufweist.
4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der
Leuchtstoff aus einem Vorratsbehälter mittels einer För
dereinrichtung zur Vedampfungsquelle gebracht wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Leuchtstoff mittels eines
Vibrations- oder Zentrifugalförderers gefördert wird.
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Einstellung der auf
die Verdampfungsquelle gegebenen Menge an Leuchtstoff die
Fördergeschwindigkeit variiert wird.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, da
durch gekennzeichnet, daß der Leucht
stoff vor Aufgabe auf die Verdampfungsquelle in einen Aufnah
metrichter mit einer Auslaßöffnung gegeben wird.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, daß der Leucht
stoff in einen mit einer reversibel schließbaren Auslaßöff
nung versehenen Aufnahmetrichter gegeben wird, die zum Auf
bringen auf die Verdampfungsquelle geöffnet wird.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch ge
kennzeichnet, daß zur Einstellung der auf die
Verdampfungsquelle gegebenen Menge an Leuchtstoff der Öff
nungsgrad der Auslaßöffnung variiert wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 9, da
durch gekennzeichnet, daß der in dem
Vorratsbehälter und/oder der Fördereinrichtung und/oder dem
Aufnahmetrichter befindliche Leuchtstoff gekühlt wird.
11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Substrat während der Bedampfung erwärmt wird.
12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Substrat während der Bedampfung rotiert.
13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß eine Ver
dampfungsquelle mit den Leuchtstoff-Dampfstrom leitenden Mit
teln verwendet wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch ge
kennzeichnet, daß eine Verdampfungsquelle in
Form eines seitlich geschlossenen Behältnisses mit der Strom
leitung dienenden Wänden verwendet wird.
15. Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Be
schichtungsstoff, insbesondere einem Leuchtstoff, geeignet
zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 14,
umfassend eine Bedampfungskammer (2), in der ein Vakuum er
zeugbar ist und in der wenigstens eine Verdampfungsquelle (5)
vorgesehen ist, die mittels eines zugeordneten Heizmittels
(6) erwärmbar ist, sowie zur Aufnahme des pulver- oder granu
latförmigen Beschichtungsstoffes ausgebildete Mittel (7, 7',
7''), von denen oder mittels welcher der Leuchtstoff auf die
dazu separat angeordnete Verdampfungsquelle (5) zur soforti
gen Verdampfung gebbar ist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Mittel (7, 7') einen den
Beschichtungsstoff aufnehmenden Vorratsbehälter (8) sowie
eine diesem zugeordnete Fördereinrichtung (9) zum Fördern des
Beschichtungsstoffes zur Verdampfungsquelle (5) umfassen.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Fördereinrichtung (9) ein
Vibration- oder Zentrifugalförderer ist.
18. Vorichtung nach Anspruch 16 oder 17, dadurch
gekennzeichnet, daß zur Einstellung der auf
die Verdampfungsquelle (5) abgegebenen Stoffmenge die Förder
geschwindigkeit variierbar ist.
19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 18, da
durch gekennzeichnet, daß die Mittel
(7') einen der Fördereinrichtung (9) nachgeordneten Aufnahme
richter (10) mit einer Auslaßöffnung (11) umfassen, in den
der Beschichtungsstoff von der Fördereinrichtung (9) gebbar
ist.
20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 19, da
durch gekennzeichnet, daß der Vorrats
ehälter (8) außerhalb der Bedampfungskammer (2) und die För
dereinrichtung (9) sich in das Kammerinnere erstreckend ange
ordnet ist, oder daß der Vorratsbehälter (8) und die För
dereinrichtung (9) im Innern der Bedampfungskammer (2) ange
ordnet sind.
21. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Mittel (7'') einen den
Beschichtungsstoff aufnehmenden Aufnahmetrichter (12) mit ei
ner reversibel schließbaren Auslaßöffnung (14) umfassen, die
zum Aufbringen des Beschichtungsstoffes geöffnet wird.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch ge
kennzeichnet, daß zur Einstellung der aufzu
bringenden Stoffmenge der Öffnungsgrad der Auslaßöffnung (14)
variierbar ist.
23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 22, da
durch gekennzeichnet, daß der von den
Mitteln (7, 7', 7'') aufgenommene, gegebenenfalls der in dem
Vorratsbehälter (8) und/oder der Fördereinrichtung (9)
und/oder dem Aufnahmetrichter (10, 12) befindliche Leucht
stoff kühlbar ist.
24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 23, da
durch gekennzeichnet, daß die Verdamp
fungsquelle (5) Mittel zum Leiten des Dampfstromes aufweist.
25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch ge
kennzeichnet, daß die Verdampfungsquelle nach
Art eines seitlich geschlossenen Behältnisses mit der Strom-
Leitung dienenden Wänden (15) ausgebildet ist, wobei die
ende (15) vom Behältnisboden senkrecht oder unter einem Win
kel dazu abstehen.
26. Vorrichtung nach Anspruch 25, dadurch ge
kennzeichnet, aß die Wände (15) gezielt er
ärmbar sind.
27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 26, da
durch gekennzeichnet, daß Mittel (4)
zum Erwärmen des Substrates (3) vorgesehen sind.
28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 27, da
durch gekennzeichnet, daß das Substrat
(3) rotierbar und die Verdampfungsquelle (5) exzentrisch zur
Rotationsachse angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998152326 DE19852326A1 (de) | 1998-11-12 | 1998-11-12 | Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats sowie Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Beschichtungsstoff |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1998152326 DE19852326A1 (de) | 1998-11-12 | 1998-11-12 | Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats sowie Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Beschichtungsstoff |
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