DE19852326A1 - Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats sowie Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Beschichtungsstoff - Google Patents

Abstract

Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats, wobei ein pulver- oder granulatförmiger, dotierter Leuchtstoff in einer Bedampfungskammer einer Bedampfungsvorrichtung im Vakuum auf eine erwärmte Verdampfungsquelle gegeben wird, wo er sofort verdampft und sich auf dem Substrat abscheidet.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats.

Solche Substrate werden beispielsweise für Strahlungsdetekto­ ren, die im Rahmen röntgentechnologischer Anwendungen, wie beispielsweise der Radiologie oder der Mammographie einge­ setzt werden, verwendet. Mittels solcher Detektoren und ins­ besondere der leuchtstoffbeschichteten Substrate ist es mög­ lich, die einfallende Strahlung in mittels entsprechend nach­ geschalteter Elektronik ausles- und verarbeitbare Information umzuwandeln. Als hierfür geeignete dotierte Leuchtstoffe kom­ men Gallium-dotierte Systeme, wie beispielsweise CsBr:Ga, RbBr:Ga oder CsI:Ga zum Einsatz. Als Dotierstoff dient in einem Fall GaBr, im anderen Fall GaI.

Problematisch insbesondere bei dem Dotierstoff GaBr ist seine Instabilität, dieser Stoff ist nicht isoliert darstellbar. Aus US 5 736 069 ist ein Verfahren zum Erzeugen einer dortierten Leuchtstoffschicht auf einem Substrat bekannt, ge­ mäß welchem die Ausgangsstoffe für den Leuchtstoff entspre­ chend der gewünschten Dotierung zunächst gemischt, an­ schließend bei beispielsweise 400°C getrocknet und hiernach bei hoher Temperatur (z. B. 925°C) ein Einkristall des Leuchtstoffes gezüchtet wird. Der pulverförmige Leuchtstoff wird durch Mahlen des Einkristalls gewonnen und in einer Lösung eines Bindematerials (z. B. Polyethylenacrylat) in ei­ nem Lösungsmittel (z. B. Ethylenacetat) dispergiert. Das eigentliche Leuchtstoffsubstrat, beispielsweise die Leucht­ stofffolie, wird durch Beschichten (Aufrollen oder Sedimen­ tieren) des Substrats mit der Dispersion und anschließendem Trocknen hergestellt.

Eine weitere Möglichkeit der Beschichtung besteht darin, den dotierten Leuchtstoff im Rahmen einer gemeinsamen Verdampfung (Co-Verdamfung) zweier Stoff im Vakuum mittels zweier Ver­ dampfungsquellen unter Verwendung einer Bedampfungsvorrich­ tung aufzubringen. Die gewünschte Dotierung wird über die un­ terschiedlichen Kondensationsraten des Röntgenabsorberstoffes (im allgemeinen ein Alkalihalogenid, z. B. CsI, CsBr) und des Dotierungsmaterials, z. B. TlI, eingestellt. Im Rahmen eines solchen Verfahrens können aber nur solche Leuchtstoffe er­ zeugt werden, deren Dotierungsmaterial chemisch stabil oder zumindest als pulverförmiges Material isoliert herstellbar ist, was hinsichtlich des Dotierungsstoffes GaBr aber gerade nicht möglich ist.

Der Erfindung liegt damit das Problem zugrunde, ein verbes­ sertes Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats anzugeben.

Zur Lösung dieses Problem ist bei dem erfindungsgemäßen Ver­ fahren vorgesehen, daß ein pulver- oder granulatförmiger, dotierter Leuchtstoff in einer Bedampfungskammer einer Be­ dampfungsvorrichtung im Vakuum auf eine erwärmte Verdamp­ fungsquelle gegeben wird, wo er sofort verdampft und sich auf dem Substrat abscheidet, wobei erfindungsgemäß ein mit Gal­ lium dotierter Leuchtstoff verwendet werden kann.

Das erfindungsgemäße Verfahren geht von einem im Pulver- oder Granulatform vorliegenden, bereits dotierten Leuchtstoff aus, wie er beispielsweise gemäß US 5 736 069 herstellbar ist. Dieser insoweit "fertige" Leuchtstoff, der nun lediglich noch zur Herstellung des Substrats auf selbiges aufzubringen ist, wird im Vakuum der Bedampfungskammer einer "Blitzverdampfung" unterworfen, indem er auf eine hochgeheizte Verdampfungs­ quelle gegeben wird, auf welcher er unmittelbar nach dem Auf­ treffen verdampft, und anschließend auf dem Substrat unter Bildung der Beschichtung kondensiert. Die Blitzverdampfung ermöglicht es mit besonderem Vorteil eine Entmischung des dotierten Leuchtstoffes, der aus dem Röntgenabsorbermaterial und dem Dotierstoff besteht, zu vermeiden, was der Fall wäre, wenn dieser pulver- oder granulatförmige Leuchtstoff einer allmählichen Verdampfung, bei welcher er erst z. B. von Raum­ temperatur ausgehend hochgeheizt wird, zu besorgen wäre. Auf diese Weise kann unter Ausnutzung der vielen Vorteile eines Aufdampfverfahrens im Hinblick auf die Schichteigenschaften eine dotierte Leuchtstoffschicht und insbesondere eine mit Gallium dotierte Leuchtstoffschicht in einem Aufdampfverfah­ ren hergestellt werden, wobei es sich im Hinblick auf eine sofortige Verdampfung als zweckmäßig herausgestellt hat, wenn der verwendete pulver- oder granulatförmige Leuchtstoff einen mittleren Korndurchmesser ≦ 5 mm, insbesondere aus dem Be­ reich 0,05 mm bis 5 mm aufweist.

Erfindungsgemäß kann der Leuchtstoff aus einem Vorratsbehäl­ ter mittels einer Fördereinrichtung zur Verdampferquelle ge­ bracht werden, wobei hierfür zweckmäßigerweise ein Vibra­ tions- oder Zentrifugalförderer verwendet wird. Durch Va­ riation der Fördergeschwindigkeit kann vorteilhaft die auf die Verdampfungsquelle gegebene Leuchtstoffmenge eingestellt werden, d. h., auf diese Weise kann die Wachstumgeschwindig­ keit der Leuchtstoffschicht beeinflußt werden. Auch kann hierdurch das Verdampfungsverhalten beeinflußt werden, da hierüber kontrolliert werden kann, daß nicht zuviel Leucht­ stoff pro Zeiteinheit auf die Verdampfungsquelle gegeben wird, was zu Verdampfungsproblemen führen kann. Der Leucht­ stoff selbst kann vor Aufgabe auf die Verdampfungsquelle in einen Aufnahmetrichter mit einer Auslaßöffnung gegeben wer­ den, aus welcher er kontinuierlich und stetig auf die Ver­ dampfungsquelle rieselt.

Alternativ zur Förderung des Leuchtstoffs mittels der För­ dereinrichtung kann der Leuchtstoff auch in einen mit einer reversibel schließbaren Auslaßöffnung, deren Öffnungsgrad zur Einstellung der abgegebenen Leuchtstoffmenge erfindungsgemäß auch variiert werden kann, versehenen Aufnahmetrichter ge­ geben werden.

Als besonders zweckmäßig hat es sich erwiesen, wenn der in dem Vorratsbehälter und/oder der Fördereinrichtung und/oder dem Aufnahmetrichter befindliche Leuchtstoff gekühlt wird, bevorzugt auf Raumtemperatur, so daß vermieden wird, daß der Leuchtstoff bereits vor Aufgabe auf die Verdampfungsquelle infolge der im Inneren der Bedampfungskammer herrschenden Temperatur teilweise abdampft. Die Temperatur im Inneren der Bedampfungskammer beträgt ca. 150°C bis 250°C, wobei die Tem­ peraturerhöhung u. a. von dem während der Bedampfung erfin­ dungsgemäß erwärmten Substrat herrührt. Das Substrat selbst kann erfindungsgemäß während der Bedampfung rotieren, wobei in diesem Fall die Verdampfungsquelle zweckmäßigerweise ex­ zentrisch zur Rotationsachse angeordnet sein kann, um eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten.

Weiterhin kann eine Vordampfungsquelle mit Leuchtstoff- Dampfstrom leitenden Mitteln verwendet werden, wobei sich hierfür eine solche in Form eines seitlich geschlossenen Be­ hältnisses mit der Stromleitung dienenden Wänden als zweck­ mäßig erwiesen hat. Diese Wände ermöglichen zum einen, den abgehenden Leuchtstoff-Dampfstrom in Richtung des ggf. rotie­ renden Substrats zu kanalisieren und kontrolliert auf dieses zu leiten, daneben verhindern sie aber auch ein seitliches Spritzen des aufgegebenen Leuchtstoffs, wenn dieser wenn­ gleich für extrem kurze Zeitdauer in der flüssigen Phase vor­ liegt.

Neben dem Verfahren betrifft die Erfindung ferner eine Vor­ richtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Beschich­ tungsstoff, insbesondere einem Leuchtstoff, welche zur Durch­ führung des vorbeschriebenen Verfahrens geeignet ist. Diese Vorrichtung umfaßt eine Bedampfungskammer, in der ein Vakuum erzeugbar ist und in der wenigstens eine Bedampfungsquelle vorgesehen ist, die mittels eines zugeordneten Heizmittels erwärmbar ist, sowie zur Aufnahme des pulver- oder granulat­ förmigen Beschichtungsstoffes ausgebildeten Mittel, von denen oder mittels welcher der Leuchtstoff auf die dazu separat an­ geordnete Verdampfungsquelle zur sofortigen Verdampfung geb­ bar ist.

Die Mittel umfassen erfindungsgemäß einen den Beschichtungs­ stoff aufnehmenden Vorratsbehälter sowie eine diesem zugeord­ nete zur Fördereinrichtung, zweckmäßigerweise in Form eines Vibrations- oder Zentrifugalförderers, zum Fördern des Stof­ fes zur Verdampfungsquelle Ferner kann ein der Förderein­ richtung, deren Fördergeschwindigkeit zur Einstellung der Ab­ gabemenge variierbar ist, nachgeordneter Aufnahmetrichter mit einer Auslaßöffnung vorgesehen sein.

Gemäß einer ersten Erfindungsausgestaltung kann der Vorrats­ behälter außerhalb der Bedampfungskammer und die Förderein­ richtung sich in das Kammerinnere erstreckend angeordnet sein. Alternativ hierzu kann der Vorratsbehälter und die För­ dereinrichtung, und ggf. der Aufnahmetrichter, auch im Inne­ ren der Bedampfungskammer vorgesehen sein.

Gemäß einer weiteren Erfindungsausgestaltung können die Mit­ tel einen den Beschichtungsstoff aufnehmenden Aufnahmetrich­ ter mit einer reversibel schließbaren Auslaßöffnung umfassen, die zum Aufbringen des Beschichtungsstoffes geöffnet wird, und deren Öffnungsgrad variierbar sein kann. Auch eine Küh­ lung der Mittel kann vorgesehen sein.

Schließlich können an der Verdampfungsquelle Mittel zum Lei­ ten des Dampfstromes vorgesehen sein, wobei die Verdampfungs­ quelle hierfür vorteilhaft nach Art eines seitlich geschlos­ senen Behältnisses mit der Stromleitung dienenden Wänden aus­ gebildet sein kann, welche vom Behältnisboden senkrecht oder unter einem Winkel dazu abstehen können. Die Seitenwände selbst können hierbei gezielt erwärmbar sein, wozu ggf. sepa­ rate Heizmittel vorgesehen sein können. Neben der Möglich­ keit, daß das Substrat unter Verwendung von geeigneten Mit­ teln erwärmbar ist, kann das Substrat auch rotierbar sein, wobei die Verdampfungsquelle exzentrisch zur Rotationsachse angeordnet sein kann.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung er­ geben sich aus den im folgenden beschreiebenen Ausführungs­ beispielen sowie anhand der Zeichnungen. Dabei zeigen:

Fig. 1 eine Prinzipskizze einer erfindungsgemäßen Vorrich­ tung einer ersten Ausführungsform,

Fig. 2 eine Prinzipskizze einer Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform,

Fig. 3 eine Vorrichtung gemäß einer dritten Ausführungs­ form in Form einer Prinzipskizze und

Fig. 4 bis 10 verschiedene Ausführungsformen von Verdampfungs­ quellen.

Fig. 1 zeigt in Form einer Prinzipskizze eine erfindungsge­ mäße Vorrichtung 1 zum Bedampfen eines Substrats mit einem Beschichtungsstoff, wobei von dieser Vorrichtung äußere Ge­ häuseteile nicht dargestellt sind, sondern lediglich die Be­ dampfungskammer 2, auf die es hier entscheidend ankommt. In dieser Bedampfungskammer ist über nicht näher gezeigte Pum­ penmittel ein Vakuum erzeugbar. Im Inneren der Bedampfungs­ kammer 2 ist das Substrat 3 an entsprechenden Haltemitteln anbringbar, wobei dieses Haltemittel auch für eine Rotation des Substrats 3 ausgebildet seine können. Dem Substrat 3 zu­ geordnet ist eine Heizeinrichtung 4, um das Substrat auf eine Temperatur von ca. 150-250°C zu erwärmen, was eine Optimie­ rung der Schichteigenschaften ermöglicht, wie beispielsweise die Leuchteigenschaften, z. B. Lichtausbeute oder die Modula­ tionsübetragungsfunktion (MTF), wobei die Temperatur kontrol­ liert und geregelt werden kann.

Ferner ist im Inneren eine Verdampfungsquelle 5 vorgesehen, die elektrisch über entsprechende Stromzuführungen 6 heizbar ist. Auf diese Verdampfungsquelle 5 wird der zu verdampfende pulver- oder granulatförmige, dotierte Leuchtstoff gegeben, wobei die Verdampfungsquelle 5 im Zeitpunkt der Aufgabe be­ reits hochgeheizt ist. Als ein solcher dotierter Leuchtstoff kann beispielsweise CsBr:Ga, RbBr:Ga oder auch CsI:Ga verwen­ det werden. Die Aufgabe des pulver- oder granulatförmigen Leuchtstoffes, der einen mittleren Korndurchmesser von bevor­ zugt 0,05 bis 5 mm aufweisen sollte, auf die bereits hochge­ heizte Verdampfungsquelle führt zu einer "Blitzverdampfung", d. h., der Leuchtstoff wird sofort bei Auftreffen auf die heiße Verdampfungsquelle verdampft. Wie durch die Pfeile an­ gegeben, trifft der Dampfstrom auf das Substrat 3, wo er kon­ densiert und unter Erzeugung der Leuchtstoffschicht sich ab­ scheidet. Für eine gleichmäßige Beschichtung der Substratflä­ che hinsichtlich der Flächenbelegung wird die Verdampfungs­ quelle, die bevorzugt aus einem Wolfram- oder Molybdänblech besteht, bei einer rotierbarn Anordnung des Substrats 3 exzentrisch zur Rotationsachse des Substrats 3 angeordnet. Das heißt, das rotierende Substrat 3 wird quasi durch den relativ gerichtet nach oben strömenden Dampf hindurch ge­ dreht. Für eine noch gerichtertere Verdampfung des Leucht­ stoffs ist es vorteilhaft, die Verdampfungsquelle mit Seiten­ wänden zu versehen und auch diese mitzuheizen, wodurch der Dampfstrom einerseits kontrolliert und kanalisiert zur Kon­ densationsebene des rotierenden Substrats abgelenkt werden kann, zum anderen können beim wenngleich auch nur sehr kurz­ zeitigen Übergang in die flüssige Phase Spritzer vermieden werden. Auf die Ausgestaltung der Verdampfungsquelle wird nachfolgend noch eingegangen.

Um den Leuchtstoff auf die Verdampfungsquelle 5 aufzugeben, sind im gezeigten Beispiel Mittel 7, die den Leuchtstoff auf­ nehmen, vorgesehen. Diese Mittel 7 umfassen einen Vorratsbe­ hälter 8, in dem der pulver- oder granulatförmige Leuchtstoff aufgenommen ist. Diesem außerhalb der Bedampfungskammer 2 an­ geordneten Vorratsbehälter 8 ist eine Fördereinrichtung 9, beispielsweise ein Vibrations- oder Zentrifugalförderer nach­ geschaltet, die über eine entsprechende Vakuumdurchführung in das Innere der Bedampfungskammer 2 führt und im gezeigten Beispiel oberhalb der Verdampfungsquelle 5 endet. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird also der dotierte Leuchtstoff von außen in das Innere der Bedampfungskammer 2 gefördert, wobei die Verdampfungsrate über die steuerbare Fördergeschwindig­ keit und damit über die steuerbare Aufgabemenge regel- und kontrollierbar ist. Bei Abgabe des Leuchtstoffs von der För­ dereinrichtung rieselt dieser auf die Verdampfungsquelle, wo er infolge der hohen Temperatur der Verdampfungsquelle, die mindestens die Schmelztemperatur der einzelnen Leucht­ stoffkomponenten betragen muß, blitzartig verdampft. Es ver­ steht sich, daß der von außerhalb der Bedampfungskammer 2 beginnende Zuförderprozess derart erfolgt, daß das im Kammerinneren herrschende Vakuum nicht beeinträchtigt wird.

Fig. 2 zeigt eine weitere Ausführungsform einer erfindungsge­ mäßen Vorrichtung 1', die insoweit im Aufbau der aus Fig. 1 bekannten Vorrichtung entspricht, jedoch sind hier die Mittel 7' im Inneren der Bedampfungskammer 2 vorgesehen, d. h., die ursprüngliche Materialaufgabe wie auch die Förderung zur Ver­ dampfungsquelle 5 findet im Kammerinneren statt. Gemäß der Ausgestaltung nach Fig. 2 umfassen die Mittel 7' ferner einen der Fördereinrichtung 9' nachgeschalteten Aufnahmetrichter 10, an dessen unterem Ende eine Auslaßöffnung 11 vorgesehen ist, aus welcher der Leuchtstoff dann kontinuierlich auf die Verdampfungsquelle 5. Ein solcher Aufnahmetrichter kann auch bei den Mitteln 7 gemäß Fig. 1 vorgesehen sein. Der Aufnahme­ trichter kann auch am Auslaß des Vorratsbehälters des Mittels 7' ein, wobei die Fördereinrichtung 9' dann davon getrennt ist.

Schließlich zeigt Fig. 3 eine dritte erfindungsgemäße Vor­ richtung 1'', die im Grundaufbau ebenfalls der aus Fig. 1 be­ kannten Vorrichtung entspricht. Hier umfassen die Mittel 7'' einen Aufnahmetrichter 12, in den vor Beginn der Bedampfung der dotierte Leuchtstoff eingegeben wird. Dieser Aufnahme­ trichter 12 ist oberhalb der Verdampfungsquelle 5 angeordnet.

Am unteren Ende des Aufnahmetrichters 12 ist eine mittels eines Verschlußelements 13 reversibel schließbare Auslaßöff­ nung 14 vorgesehen, wobei der Öffnungsgrad der Auslaßöffnung 14 durch entsprechend weites Öffnen des Verschlußmittels 13 eingestellt werden kann, so daß auch hier die Aufgabemenge variierbar ist. Sämtliche Steuerungen der bei den beschriebe­ nen Vorrichtungen 1, 1' und 1'' relevanten Komponenten erfol­ gen über nicht näher gezeigte, außerhalb der Kammer angeord­ nete Steuermittel.

Schließlich zeigen die Fig. 4 bis 10 verschiedene Ausfüh­ rungsformen von Verdampfungsquellen. In der einfachsten Aus­ führungsform (Fig. 4 und 8) kann die Verdampfungsquelle aus einem ebenen Blech, bevorzugt aus Molybdän oder Wolfram, be­ stehen und beispielsweise einen rechteckigen oder runden Querschnitt aufweisen. Zur Ermöglichung einer gerichteten und kanalisierten Verdampfung ist es jedoch vorteilhaft, Mittel zum Leiten des von der Aufgabefläche abdampfenden Dampfstro­ mes vorzusehen, wozu, siehe die Fig. 5 bis 7 und 9 und 10, die jeweiligen Verdampfungsquellen nach Art eines Behältnis­ ses mit Seitenwänden 15 versehen sind. Diese Seitenwände 15 können beispielsweise bei den Ausgestaltungen gemäß Fig. 5 und 9 vom Boden im wesentlichen vertikal abstehen. Sie können jedoch auch, siehe die Fig. 6, 7 und 10, unter einem Winkel hierzu angeordnet sein. Bevorzugt werden beim Erhitzen der Verdampfungshülle auch die Seitenwände mitbeheizt, wozu ggf. separate Heizmittel vorgesehen sein können. Abschließend ist darauf hinzuweisen, daß jedes der Mittel 7, 7', 7'' über ge­ eignete Kühleinrichtungen gekühlt werden kann, so daß der je­ weils dort befindliche Leuchtstoff ebenfalls gekühlt wird. Dies kann beispielsweise mittels geeigneter, an den jeweili­ gen Mitteln vorgesehene Kühlstrecken, die beispielsweise von Kühlwasser durchströmt sind, erreicht werden. Das Kühlen des Leuchtstoffes bewirkt, daß dieser bei der im Kammerinneren herrschenden Temperatur nicht bereichts vor dem Aufbringen auf die Verdampfungsquelle abdampft oder aber sich ggf. ent­ mischt, was durch die unterschiedlichen Dampfdrucke der den dotierten Leuchtstoff bildenden Komponenten möglich sein kann.

Claims (28)

1. Verfahren zum Herstellen eines mit einem dotierten Leuchtstoff beschichteten Substrats, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein pulver- oder granulatför­ miger, dotierter Leuchtstoff in einer Bedampfungskammer einer Bedampfungsvorrichtung im Vakuum auf eine erwärmte Verdamp­ fungsquelle gegeben wird, wo er sofort verdampft und sich auf dem Substrat abscheidet.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein mit Gallium dotierter Leuchtstoff verwendet wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der pulver- oder granu­ latförmige Leuchtstoff einen mittleren Korndurchmesser ≦ 5mm, insbesondere aus dem Bereich 0,05mm bis 5mm aufweist.

4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Leuchtstoff aus einem Vorratsbehälter mittels einer För­ dereinrichtung zur Vedampfungsquelle gebracht wird.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Leuchtstoff mittels eines Vibrations- oder Zentrifugalförderers gefördert wird.

6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Einstellung der auf die Verdampfungsquelle gegebenen Menge an Leuchtstoff die Fördergeschwindigkeit variiert wird.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 6, da­ durch gekennzeichnet, daß der Leucht­ stoff vor Aufgabe auf die Verdampfungsquelle in einen Aufnah­ metrichter mit einer Auslaßöffnung gegeben wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß der Leucht­ stoff in einen mit einer reversibel schließbaren Auslaßöff­ nung versehenen Aufnahmetrichter gegeben wird, die zum Auf­ bringen auf die Verdampfungsquelle geöffnet wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zur Einstellung der auf die Verdampfungsquelle gegebenen Menge an Leuchtstoff der Öff­ nungsgrad der Auslaßöffnung variiert wird.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß der in dem Vorratsbehälter und/oder der Fördereinrichtung und/oder dem Aufnahmetrichter befindliche Leuchtstoff gekühlt wird.

11. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat während der Bedampfung erwärmt wird.

12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat während der Bedampfung rotiert.

13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Ver­ dampfungsquelle mit den Leuchtstoff-Dampfstrom leitenden Mit­ teln verwendet wird.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine Verdampfungsquelle in Form eines seitlich geschlossenen Behältnisses mit der Strom­ leitung dienenden Wänden verwendet wird.

15. Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrats mit einem Be­ schichtungsstoff, insbesondere einem Leuchtstoff, geeignet zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 14, umfassend eine Bedampfungskammer (2), in der ein Vakuum er­ zeugbar ist und in der wenigstens eine Verdampfungsquelle (5) vorgesehen ist, die mittels eines zugeordneten Heizmittels (6) erwärmbar ist, sowie zur Aufnahme des pulver- oder granu­ latförmigen Beschichtungsstoffes ausgebildete Mittel (7, 7', 7''), von denen oder mittels welcher der Leuchtstoff auf die dazu separat angeordnete Verdampfungsquelle (5) zur soforti­ gen Verdampfung gebbar ist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Mittel (7, 7') einen den Beschichtungsstoff aufnehmenden Vorratsbehälter (8) sowie eine diesem zugeordnete Fördereinrichtung (9) zum Fördern des Beschichtungsstoffes zur Verdampfungsquelle (5) umfassen.

17. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Fördereinrichtung (9) ein Vibration- oder Zentrifugalförderer ist.

18. Vorichtung nach Anspruch 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß zur Einstellung der auf die Verdampfungsquelle (5) abgegebenen Stoffmenge die Förder­ geschwindigkeit variierbar ist.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 18, da­ durch gekennzeichnet, daß die Mittel (7') einen der Fördereinrichtung (9) nachgeordneten Aufnahme­ richter (10) mit einer Auslaßöffnung (11) umfassen, in den der Beschichtungsstoff von der Fördereinrichtung (9) gebbar ist.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 19, da­ durch gekennzeichnet, daß der Vorrats­ ehälter (8) außerhalb der Bedampfungskammer (2) und die För­ dereinrichtung (9) sich in das Kammerinnere erstreckend ange­ ordnet ist, oder daß der Vorratsbehälter (8) und die För­ dereinrichtung (9) im Innern der Bedampfungskammer (2) ange­ ordnet sind.

21. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Mittel (7'') einen den Beschichtungsstoff aufnehmenden Aufnahmetrichter (12) mit ei­ ner reversibel schließbaren Auslaßöffnung (14) umfassen, die zum Aufbringen des Beschichtungsstoffes geöffnet wird.

22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zur Einstellung der aufzu­ bringenden Stoffmenge der Öffnungsgrad der Auslaßöffnung (14) variierbar ist.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 22, da­ durch gekennzeichnet, daß der von den Mitteln (7, 7', 7'') aufgenommene, gegebenenfalls der in dem Vorratsbehälter (8) und/oder der Fördereinrichtung (9) und/oder dem Aufnahmetrichter (10, 12) befindliche Leucht­ stoff kühlbar ist.

24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 23, da­ durch gekennzeichnet, daß die Verdamp­ fungsquelle (5) Mittel zum Leiten des Dampfstromes aufweist.

25. Vorrichtung nach Anspruch 24, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Verdampfungsquelle nach Art eines seitlich geschlossenen Behältnisses mit der Strom- Leitung dienenden Wänden (15) ausgebildet ist, wobei die ende (15) vom Behältnisboden senkrecht oder unter einem Win­ kel dazu abstehen.

26. Vorrichtung nach Anspruch 25, dadurch ge­ kennzeichnet, aß die Wände (15) gezielt er­ ärmbar sind.

27. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 26, da­ durch gekennzeichnet, daß Mittel (4) zum Erwärmen des Substrates (3) vorgesehen sind.

28. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15 bis 27, da­ durch gekennzeichnet, daß das Substrat (3) rotierbar und die Verdampfungsquelle (5) exzentrisch zur Rotationsachse angeordnet ist.