SU1089465A1 - Реактив дл химического травлени - Google Patents
Реактив дл химического травлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU1089465A1 SU1089465A1 SU823514958A SU3514958A SU1089465A1 SU 1089465 A1 SU1089465 A1 SU 1089465A1 SU 823514958 A SU823514958 A SU 823514958A SU 3514958 A SU3514958 A SU 3514958A SU 1089465 A1 SU1089465 A1 SU 1089465A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- acid
- reagent
- vol
- chemical etching
- nitric
- Prior art date
Links
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
РЕАКТИВ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ; содержаний азотную, фосфорную и уксусную кислоты, о тличающийс тем, что, с целью вьивлени микровключений размером менее 3 мкм, он дополнительно содержит плавиковую кислоту при следующем соотношении компонентов, об.%; Азотна кисЛота (j 1,352 г/см) 4-6 Фосфорна кислота (j 1,696 г/см) 18-22 Уксусна кислота ( / 1,665 г/см) 60-70 Плавикова кислота ( j 1, 126 г/см-3) Остальное
Description
о
00
Ф
О) СП 1089465 Изобретение относитс к металлографии , в частности к химическим реактивам, предназначенным дл травлени шлифов с последующим исследованием их методом локального рентге- 5 носпёктрального анализа. Известен реактив til дп химического травлени шлифов ппфокого круга материалов, содержащий, ч: Азотна кислота 5 Плавикова кислота 3 Уксусна кислота 3 Однако травитель обладает высокой скоростью травлени поверхности (больше 20 { осм/мин), при обработке Г4атериапа в течение 1 мин зтим травителем снимаетс толстый ( 20 мкм) поверхностный слой, а следовательно , и микровключени размером менее 3 мкм, расположенные на поверхности , которые и должны подвергатьс микроанализу. При обработке материала в зтом реактиве менее 1 мин не достигаетс необходимого Дл локального рентгеноспектрального метода качества поверхности. . Наиболее близким к предлагаемому вл етс реактив 23 дл химического {фанлени , содержащий, мл: же ско вен го вы мен в р фор тел сле об. реа кот Азотна кислота 20 Сол на кислота 20 Фосфорна кислота 8 . Уксусна кислота 40 Однако в известном реактиве такпроисходит травление с высокой ростью, что не позвол ет качестно подготовить ошиф дл локальнорентгеноспектрального анализа. Цель изобретени - возможность влени микровключений размером ее 3 мкм. Дл достижени поставленной цели еактив, содержащий азотнуюj фосную и уксусную кислоты, дополниьно введена плавикова кислота при дующем соотношении компонентов, %: Азотна кислота ( j 1,352 г/смЪ Фосфорна кислота ( j « 1,696 г/смЗ) Уксусна кислота ( J 1,665 г/см) Плавикова кислота ( j 1,126 г/см) Остальное Дл опробовани предлагаемого ктива готов т композиции, состав орых приведен в табл. 1. Т а б л и ц а 1
20 18 22 19 20 18 23 20
5 4 6 5 3 7 6 5
20
8
Остальное
11
Остальное
20
Опробованные составы предлагаемого реактива используют дл вьшалеки образцов меди, сурьмы, никел и антимонида инди . При этом нерабочую поверхность образца покрывают химически стойким лаком. Рабочую поверхность образца, предварительно отшлифованную порошками М28 и Ml4 и алмазной пастой, погружают в реактив. Врем травлени при 18-22 С составл Скорость травлени , Реактив Медь Сурьма
1,6
3,0
Микровключенн размером 3 мкм вы вл ютс
23
80
Образуютс нерастворимые продукты реакции
Таким образом, обработка исследуei ix образцов в предлагаемом реактиве позвол ет обнаружить микровключени размером менее 3 мкм.Отклонение от указанных соотно- 50 шений компонентов приводит к резкому, изменению скорости травлени или ухудшению поверхности образца, а именно: если количество азотной кислоты меньше 4 об.%, то включени не 55 вы вл ютс , а если больше 6 об.%, то скорость травлени становитс ; больше 20 мкм/мин, что недопустимо;
ет 0,5-1 мин. При травлении образец слегка покачивают дл лучшего контакта поверхности с реактивом, далее образец промывают дистиллированной водой и просушивают.
Результаты травлени различных материалов в предлагаемом реактиве, в сопоставлении°с известным реактивом представлены в табл. 2.
Таблица 2
0,9
3.0
42
35
если количество плавиковой кислоты меньше, 8 об.%, то не раздел ютс фазы матрица - включение, а если больше 12 об.%, то границы раздела фаз очень сильно растравливаютс , что делает невозможным дальнейший анализ} если количество уксусной кислоты меньше 60 об:%, то скорость травлени резко возрастает, если больше 70 об.%, то, наоборот, сильно замедл етс и дл получени необходимого качества поверхности и вы влени микровключений требуетмкм/мин , материала I Никель I Антимонид инди
i1089465
с длительное врем ( до 30 мин)/с не все имеющиес на поверхности если количество фосфорной кислотымикровключени , а если больше меньше 18 об.Х. то травление поверх-22 об.%, то скорость травлени вознести идет неравномерно и вы вл ют-растает выше допустимой (3 мкм/мин)
Claims (1)
- РЕАКТИВ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ,' содержаний азотную, фосфорную и уксусную кислоты, о тличающийся тем, что, с целью выявления микровключений раз мерой менее 3 мкм, он дополнительно содержит плавиковую кислоту при следующем соотношении компонентов, об. %:
Азотная кисЛота (j- 1,352 г/см3) 4-6 Фосфорная кислота (j = 1,696 г/см3) 18-22 Уксусная кислота (J = 1,665 г/см3) 60-70 Плавиковая кислота ( j = Г,126 г/см3) Остальное >1089465 2
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823514958A SU1089465A1 (ru) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | Реактив дл химического травлени |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU823514958A SU1089465A1 (ru) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | Реактив дл химического травлени |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1089465A1 true SU1089465A1 (ru) | 1984-04-30 |
Family
ID=21036878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU823514958A SU1089465A1 (ru) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | Реактив дл химического травлени |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1089465A1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1325697C (zh) * | 2002-12-10 | 2007-07-11 | 关东化学株式会社 | 蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物制造反射板的方法 |
CN103471897A (zh) * | 2013-09-09 | 2013-12-25 | 河北科技大学 | 一种铝合金彩色金相着色方法 |
WO2016090063A1 (en) * | 2014-12-02 | 2016-06-09 | Texas Instruments Incorporated | IMPROVED PROCESS FOR NiFe FLUXGATE DEVICE |
-
1982
- 1982-11-29 SU SU823514958A patent/SU1089465A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
1. Травление полупроводников. Пер. с англ. М., Мир, 1965, с. 313. 2. Коваленко B.C. Металлургические реактивы. Справочник, М., Металлурги , 1981, с. 64. .Г---- . * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1325697C (zh) * | 2002-12-10 | 2007-07-11 | 关东化学株式会社 | 蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物制造反射板的方法 |
CN103471897A (zh) * | 2013-09-09 | 2013-12-25 | 河北科技大学 | 一种铝合金彩色金相着色方法 |
CN103471897B (zh) * | 2013-09-09 | 2015-06-17 | 河北科技大学 | 一种铝合金彩色金相着色方法 |
WO2016090063A1 (en) * | 2014-12-02 | 2016-06-09 | Texas Instruments Incorporated | IMPROVED PROCESS FOR NiFe FLUXGATE DEVICE |
US9840781B2 (en) | 2014-12-02 | 2017-12-12 | Texas Instruments Incorporated | Process for NiFe fluxgate device |
US10266950B2 (en) | 2014-12-02 | 2019-04-23 | Texas Instruments Incorporated | Process for NiFe fluxgate device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69117958T2 (de) | Elektrochemische biosensorstabilität | |
EP0932828B1 (de) | Anordnung für gassensorelektroden | |
DE10359173B4 (de) | Messvorrichtung mit mehreren auf einem Substrat angeordneten potentiometrischen Elektrodenpaaren | |
EP0587665B1 (en) | Electro-analysis of liquids and sensing elements for use therein | |
US5830343A (en) | Electrochemical analysis process | |
SU1089465A1 (ru) | Реактив дл химического травлени | |
Ambrose et al. | Characterization of photopolymerized decyl methacrylate as a membrane matrix for ion‐selective electrodes | |
DE3406773A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur chemischen analyse | |
Osteryoung et al. | Pulse voltammetric methods of analysis | |
WO1994028405A1 (en) | Electrochemical metal analysis | |
US4797192A (en) | Ion selective electrode apparatus with an earth electrode | |
EP0255328B1 (en) | Improved sodium ion selective electrode and method of use | |
Fossdal et al. | Polarographic determination of chloramphenicol | |
Wechter et al. | Voltammaetric characterization of small platinum-iridium-based mercury film electrodes | |
Wang | Anodic stripping voltammetry at graphite-epoxy microelectrodes for in vitro and in vivo measurements of trace metals | |
Smith et al. | Direct Titration of Potassium with Tetraphenylborate. Amperometric Equivalence-Point Detection | |
Cookeas et al. | Preconcentration of organic compounds at a diphenyl ether graphite paste electrode and determination of vanillin by adsorptive–extractive stripping voltammetry | |
Beňadiková et al. | Polarographic determination of some nitro group-containing pesticides | |
DE69305978T2 (de) | Verfahren und elektrodengerät zur analyse durch elektrochemisches abbeizen | |
EP0241991A2 (en) | Field effect transistor having a membrane overlying the gate insulator | |
DE10323638B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Entwicklung einer elektrochemischen Messanordnung | |
JP3449906B2 (ja) | 電気化学的分析装置 | |
JPH06249764A (ja) | シリコンウェハ表面の金属汚染分析用標準試料の作製方法 | |
Wang et al. | Sensitive and selective voltammetric measurements of tricyclic antidepressants using lipid-coated electrodes | |
SU1100527A1 (ru) | Реактив дл опробовани сплавов золота |