SU1089405A1 - Фотоэлектрический микроскоп - Google Patents

Фотоэлектрический микроскоп Download PDF

Info

Publication number
SU1089405A1
SU1089405A1 SU792801297A SU2801297A SU1089405A1 SU 1089405 A1 SU1089405 A1 SU 1089405A1 SU 792801297 A SU792801297 A SU 792801297A SU 2801297 A SU2801297 A SU 2801297A SU 1089405 A1 SU1089405 A1 SU 1089405A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
slit
modulator
optical axis
microscope
rectangular
Prior art date
Application number
SU792801297A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Вячеславович Романов
Константин Михайлович Шестаков
Леонид Иванович Павлов
Василий Сергеевич Садов
Валентин Евгеньевич Василевский
Original Assignee
Институт электроники АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт электроники АН БССР filed Critical Институт электроники АН БССР
Priority to SU792801297A priority Critical patent/SU1089405A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1089405A1 publication Critical patent/SU1089405A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП, содержавши .источник излучени  и оптически св занные проекционную систему, приэменный блок в виде скрепленных друг сдругом светоделительного кубика и двух пр моугольных призм, установленных на смежных гран х симметрично относительно светоделительной диагональной плоскости, щелевой модул тор и регистрирующий блок, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности, он снабжен третьей пр моугольной призмой, установленной с одной из двух пр моугольных призм на грачи светоделительного кубика перпендикул рно оптической оси микроскопа, щелевой модул тор вьшолнен в виде двухщелевой диафрагмы , щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещени  двух пр моуголь (Л lajx призм равна рассто нию между щел ми щелевого модул трра. ОО ;о 4 о ел

Description

Изобретение относитс  к измерительной техника и может использоватьс  дл  регистрации границы объекта при линейных и угловых измерени х . Известен фотоэлектрический микрос коп содержащий источник света, оптическую проекционную сист&му, щель, фотоприемник и блок регистрации 1J Недостаток микроскопа-невысока  точность измерени , обусловленна  нечувствительностью к знаку смещени  системы наведени  от положени , соответствующего точному наведению на штрих, так как независимо от знака этого смещени  два изображени  штриха одинаково расход тс  и дпительность соответствуюп|их импульсов от совмещенш х изображений штриха в обоих случа х возрастает. Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  фото электрический микроскоп, содержащий источник излучени  и оптически св занные проекционную систему, призменный блок в виде двух скрепленных друг с другом светоделительного кубика и двух пр моугольных призм, установленных на смежных гран х симметрично относительно светоделитель- ной диагональной плоскости, щелевой модул тор и регистрирующий блок 2 Недостатком известного микроскопа  вл етс  невысока  точность, обуслов ленна  зависимостью результатов измерени  от формы и размера штриха, поскольку дп  определени  положени  объекта необходимо получать отсчетны импульсы от обеих границ изображени  объекта. Цель изобретени  - повышение точности измерени . Указанна  цель достигаетс  тем, что фотоэлектрический микроскоп, содержащий источник излучени  и оптически св заиные проекционную систему призменный блок в виде скрепленных друг с другом светоделительного куби ка и двух пр моугольных призм, установленных на смежных гран х симметр 1чно относительно светоделительной диагональной плоскости, щелевой модул тор и регистрирующий блок, снабжен третьей пр моугольной призмой, установленной с одной из двух пр моугольных призм на грани светоделительного кубика перпендикул рно опти ческой оси микроскопа, щелевой модул тор выполнен в виде двухщелевой диафрагмы, щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещени  двух пр моугольных призм равна рассто нию между щел ми щелевого модул тора. На чертеже представлена схема фотоэлектрического микроскопа. Фотоэлектрический микроскоп содержит источник 1 излучени , проекционную систему 2, призменный блок 3 в виде скрепленных друг с другом светоделительного кубика 4 и трех пр моугольных призм 5-7, призмы 5 и 6 установлены на смежных гран х симмет-. рично относительно светоделительной диагональной плоскости, призмы 6 и 7 установлены на грани светоделительного кубика 4 перпендикул рно оптической оси микроскопа со смещением, щелевой модул тор 8 выполнен в виде двухщелевой Диафрагмы, щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещени  призм 6 и 7 равна рассто нию между щел ми щелевого модул тора В, регистрирующий блок 9, а также объект 10, располагаемый на оптической оси микроскопа между источником I излучени  и проекционной системой 2. Устройство работает следуюищм образом . Источник 1 излучени  освещает объект 10, изображение границы которого проекционной системой 2 через призменный блок 3 проецируетс  в плоскость щелевого модул тора 8. Призмы 6 и 7 двойного изображени , смещены относительно оптической оси микроскопа в противоположные стороны,, при этом в плоскости щелей модул тора 8 образуютс  два изображени  границы объекта 10, причем одно из изображений имеет вид ступеньки. Световой noTQK через щели модул тора 8 попадает на регистриру101ций блок 9. При перемещении границы объекта 10 к оптической оси микроскопа ва изображени  границы объекта 10 перемещаютс  в направлении одно к ругому. В момент регистрации полоени  границы объекта 10 при совпаении границы объекта 10 с оптичесой осью микроскопа в плоскости щеей щелевого модул тора 8 образуют  два щтриховых знака, один - светый на темном поле, другой - темный 3 10894 на светлом поле, причем ширина их одинакова. При отклонении границы объекта 10 относительно оптической оси в ту или иную сторону ширина знаков мен етс , причем одного увеличи-s ваетс , а другого - уменьшаетс . При сканированииизображений границы щелевым модул тором 8 с амплитудой. С ольшей суммы ширины щели и половины ;рассто ни  между щел ми, в регистри-ю рующий блок 9 поступают импульсы фототока . В случае, когда граница объекта 10 не доходит до оптической оси или переходит ее, длительности импульсов фототоков не равны и толь-is 054 ко в момент совпадени  границы объекта 10 с оптической осью наступает равенство длительностей импульсов. Равенство длительностей импульсов можат быть зафиксировано любым из известных способов, Таким образом, при помощи предлагаемой конструкции фотоэлектрического микроскопа получают т счетные импульсЫ от одной границы изображени  объекта, благодар  чему на точность измерени  не вли ет форма и размер объекта, а также соотношение его с шириной щ&пи модул тора.

Claims (1)

  1. ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП, содержащий источник излучения и оптически связанные проекционную систему,·' призменный блок в виде скрепленных друг с другом светоделительного ку- бика и двух прямоугольных призм, установленных на смежных гранях симметрично относительно светоделительной диагональной плоскости, щелевой модулятор и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, он снабжен третьей прямоугольной призмой, установленной с одной из двух прямоугольных призм на грани светоделительного кубика перпендикулярно оптической оси микроскопа, щелевой модулятор выполнен в виде двухщелевой диафрагмы, щели которой смещены в противоположные стороны от оптической оси на величину, равную длине щели, а величина смещения двух прямоугольных призм равна расстоянию между щелями щелевого модулятора.
    'е >
SU792801297A 1979-07-24 1979-07-24 Фотоэлектрический микроскоп SU1089405A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792801297A SU1089405A1 (ru) 1979-07-24 1979-07-24 Фотоэлектрический микроскоп

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792801297A SU1089405A1 (ru) 1979-07-24 1979-07-24 Фотоэлектрический микроскоп

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1089405A1 true SU1089405A1 (ru) 1984-04-30

Family

ID=20842790

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792801297A SU1089405A1 (ru) 1979-07-24 1979-07-24 Фотоэлектрический микроскоп

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1089405A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР № 494602, кл. G 01 В 9/04, -1976. 2, Авторское свидетельство СССР : . № 567093, кл,. G 01 В 9/04, 1977 (прототип). *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2913984B2 (ja) 傾斜角測定装置
EP0666975B1 (en) Coincidence sensor for optical rangefinders
US20080007711A1 (en) Range finder
US3658426A (en) Alignment telescope
JP2793740B2 (ja) 測量機
SU1089405A1 (ru) Фотоэлектрический микроскоп
US3552857A (en) Optical device for the determination of the spacing of an object and its angular deviation relative to an initial position
RU2384812C1 (ru) Автоколлиматор для измерения угла скручивания
US3317739A (en) Microscope with photoelectric scanner for accurately determining the position of a line
SU451902A1 (ru) Фотоэлектрический микроскоп
US3833302A (en) Method and apparatus for the automatic photoelectric trapping of local changes of optically effective object structures
SE7407984L (sv) Forfarande och anordning for fotoelektrisk bestemning av leget av atminstone ett skerpeplan av en bild
JPH0718791B2 (ja) 示差屈折率計
SU1073572A1 (ru) Фотоэлектрический двухкоординатный автоколлиматор
SU781891A1 (ru) Звукосниматель
JPS5827847B2 (ja) 角度測定用の光学配列
SU787891A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлимационный датчик крена
SU1737398A1 (ru) Измеритель углового положени сканирующего зеркала
SU528532A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор
SU1485014A1 (ru) Устройство для определения изменений рефракции
SU528444A1 (ru) Автоколлимационна марка-отражатель
SU953458A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор
SU1080053A1 (ru) Способ определени положени фокальной плоскости объектива и устройство дл его осуществлени
SU739333A1 (ru) Фотоэлектрический автоколлиматор дл фиксации углового положени объекта
CN104315999A (zh) 一种双轴可调数字式光电自准直仪