о: а
со Изобретение относитс к вакуумной текнике, в частности к вакуумной коммутационной аппаратуре, и может быть использовано в вакуумных системах, требующих применени высокотемпературкого прогрева. Известен сверхвысоковакуумный aaiw вор с эпектропневматическим приводом, имеющий цва исполнительных органа, оцин из которых перемещает уппотнитепьный орган цо полного открыти или перекрыти прохоцных отверстий, а другой осуществл ет герметичное уплотнение седла затвора 13 . Недостатки известного затвора - слож ность и пониженна надежность автома тического управлени , а также повышенные масса и габариты, в частности рассто ние между фланцами проходного отверсти , что уменьшает проводимость затвора. Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и- достигаемому результату вл етс сверквысоковакуумный затвор, содержащий шибер со ступицей и уплотнением, расположенный между фланцами с проходными отверсти ми и св занный в вакуумной полости с механизмом перемещени , снабженным рычагом и управл емым подвижным в осевом направпении диском, герметично соединенным с фланцами посредством сильфовов и св занным с приводом С2 3 . Недостатком указанного затЬора вл етс сложность механизма силового привоца . увепачивающего рассто ние между фланцами прокодного отверсти и имеющего т желонагруженные пары трени , что приводит к уменьшенной проводимооти затвора Т пониженным ресурсу и наде ности работы. Кроме того, конструкци механизма перемещени сложна дл регулировки положени шибера и требует повышенного .хода сильфонов дл полного открыти и перекрыти , что также увеличивает рао сто ние между фланцами. Цель изобретени - упрощение конструкции и повышение надежности и долговечности . Поставленна цель дсх тигаетс тем.что в сверхвысоковакуумном затворе, содерж щем шибер со ступицей и уплотнением, расположенный между фланцами с проход ными отверсти ми и св занный в вакуумной полости с механизмом перемещени , снабженным рычагом и управл емым подвижным в осевом направлении диском герметично соединенным с фланцами поо редством сильфонов и св занным с приводом , механизм перемещени снабжен подпружиненной втулкой, установленной на фланце с возможностью осевого пер&мещени и имеющей радиальный палец, а рычаг выполнен в виде випки, снабженной ступицей с профилированным , в который введен палец втулки, причем ступица шибера снабжена роликом , расположенным внутри вилки рычага . На фиг.1 изображен высоковакуумный затвор, разрез; на фиг. 2 - фланец с механизмом, перемещени в закрытом положении затвора; на фиг. 3 - механизм перемещени шибера в открытом положении затвора, разрез; на фиг. 4 разрез А-А на фиг. 3; на фиг. 5 - вид Б на фиг. 3 (01 при открытии и перекрытии проходного отверсти ; 5 - при герметизации и разгерметизации затвора). Затвор состоит из фланца 1, содержащего седло 2 и проходное отверстие 3, и фланца 4 между которыми через разъемные герметичные уплотнени 5 и 6 размещен сильфонный узел, COCTOS щий из фланца 7 с проходным отверстием 8, диска 9 и герметично соединенного с ними сильфонами 10 и 11 подвижного диска (поршн ) 12. Между фланцем 4 и диском 9 размещен герметично уплотненный прокладками 13 и 14 цилиндр 15, полость которого разделена кольцевым уплотнением 16 поршн 12 на две камеры 17 и 18, которые соединены через управл ющее устройство с источником сжатого газа или жидкости (не показан). Внутри вакуумной полости на фланце 1 расположен механизм перемещени шибера 19 (фиг.2). Механизм перемещени (фиг.З и 4) имеет подвижную втулку 20, контактирующую с основанием поршн 12 и размещенную в корпусе 21 с основанием 22 на пружинах 23. Во втулке 20 в радиальном направлении относительно ее оси на подшипнике 24 расположен палец 25, конец которого входит в профилированный паз 26 ступицы 27 (фкг,5) рычага 28, выполненного в виде вилки. Ступица 27 рйзмещена на пйдшшшиках 29 неподвижной оси ЗО. Конец рычага 28 охватывает ролик 31, насаженный на неподвижную ось 32, размещенную эксцентрично на ступице 33 шибера 19 с уплотнением 34 относительно ее оси 35. Между оскованием ступицы 33 и основанием 22 размещены пружины 36. Затвор работает следующим образом. При его открытии в камеру 17 управ л ющее устройство подаетс сжатый воэ дух и поршень 12 движетс поступа :тепьно вцопь оси проходных отверстий влево, снима усилие герметизации с уппотнитепьной пары (уплотнение 34-сед по 2). При этом под воздействием пружин 36 шибер 19 отходит от сецпа 2, двига сь поступательно относительно оси проходных отверстий 3 и 8, вследствие того, что конец пальца 25 втулки 2О, движущейс под воздействием пружин 23, находитс в npjbмой части паза 26 ступицы 27 (фиг.5) и не передает движени рычагу 28, который остаетс в покое, не воздейству на ступицу 33 шибера 19. Таким образом, при размещении пальца 25 в пр мой части профилированного паза 26 шибер 19 может двигатьс толь ко поступательно вдоль оси проходных отверстий, при этом длина пр мой части паза 26 рассчитываетс так, чтобы при разгерметизации между уплотнением 34 шибера 19 и седлом 2, а также между торцом шибера 19 и поршнем 12 были образованы гарантированные зазоры цп предотвращени повреждений уплотнительных поверхностей. После образовани указанных гарантированных зазоров поступательное движение поршн 12 под воздействием пружин 36 ограничиваетс упором ступиЦЬ1 33 в корпус 21. При последующем движении поршн 12 втулка 20, перемеща сь поступательно под воздействием пружин 23, выводит конец пальца 25 из пр мой части паза 26 ступицы 27 на наклонную часть. При этом палец 25, двига сь поступательно и воздейству на наклонную часть паза ступицы 27, преобразует поступательное движение втулки 20 во вращательное движение ступицы 27 вокруг неподвижной оси 30. Ступица 27, враща сь, поворачивает св занный с ней рычаг 28, который, в свою очередь, воздействует через ролик 31 на ось 32, закрепленную на. ступице 33 шибера 19 и смещенную относительно оси поворота ступицы 33 ра рассто ние, гарантирующее угол поворота шибера 19, соответствующее полному открытию и перекрытию им проходных отверстий 3 и 8. Таким образом , рычаг 28, воздейству на ось 32, заставл ет поворачиватьс вокруг оси 35 ступицу 33 и св занный с ним шибер 19, открыва проходное отверстие 3, при этом передаточные отношени между звень ми механизма перемещени выбраны так, что при незначительном поступательном ходе поршн 12 обеспечиваетс полное открытие и перекрытие проходимых отверстий. После этого давление в камере 17 снимаетс . Закрытие клапана происходит в обратной последовательности, при этом сжатый воздух подаетс в камеру 18. Технико-экономическа эффективность изобретени заключаетс в повышении проводимости предлагаемого затвора, ресурса работы, надежности, а также в упрощении его конструкции.
Фие.2
Buff В