SU1255789A1 - Сверхвысоковакуумный затвор - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к вакуумной технике и предназначено дл  герметичного перекрыти  сверхвысоковакуумных коммуникаций . Целью изобретени   вл етс  повышение надежности работы затвора за счет уменьшени  нагрузки пар трени  в вакуумной полости при больших усили х герметизации уплотнени . В затворе привод выполнен в виде зубчатого колеса 15 с концентричными относительно проходного отверсти  профилированными выступами 16, смешенными по окружности один относительно другого. Асимметричный зубчатому колесу 15 нажимной диск 19 выполнен с идентичными торцовыми профилированными канавками 20, зеркально расположенными относительно выступов зубчатого колеса 15, между которыми размещен сепаратор 18 с роликами 17. В ведущем щтоке выполнен профилированный вырез, состо щий из последовательно сопр женных плоских поверхностей , контактирующий с осью, перпендикул рной оси штока и размещенной в опорах рычага, закрепленного в свою очередь на оси, параллельной оси штока. При этом один рычага св зан с размещенной на фланце пружиной, а другой конец св зан с шибером в виде уплотнительного диска 25. 7 ил. i (Л 21 S 9 18 77 to ел ел 00 ;0

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике , а именно к устройствам дл  герметичного перекрыти  сверхвысоковакуумных коммуникаций .

Цель изобретени  - повышение надежности работы за счет уменьшени  нагрузки пар трени  в вакуумной полости при больших усили х герметизации уплотнени .

На фиг. 1 показан сверхвысоковакуумный затвор, разрез; на фиг. 2 - фланец с механизмом перемещени ; на фиг. 3 - механизм неремещени  уплотнительного диска; разрез; на фиг. 4 - то же, вид сверху, разрез; на фиг. 5 - разрез А-А на фиг. 4; на фиг. 6 и 7 - развертки пары торцовых профилей соответственно в закрытом и открытом положени х затвора.

Затвор состоит из двух разъемных сварных корпусов 1 и 2, имеющих в плоскости разъема медную уплотнительную прокладку 3. Корпус 1 имеет герметично уплотненное с ним прокладкой 4 съемное седло 5 с проходным отверстием 6, а корпус 2 - основание 7 с фланцем 8, также имеющим проходное отверстие 9, соосное отверстию 6. Внутри затвора размещены металлический сильфон 10, герметично соединенный с фланцем 8 и подвижным диском 11 с проходным отверстием 12, соосным отверсти м 6 и 9, и металлическа  мембрана 13 с отверстием, соосным проходным отверсти м 6, 9 и 12, внешней периферией размещенна  между корпусами 1 и 2 через уплотнение 3, а внутренней периферией - между сильфоном 10 и диском 11 и сварена совместно с ними. Сильфон 10, фланец 8, мембрана 13 и корпус 1 образуют вакуумную полость затвора.

Вне вакуумной полости затвора на основании 7 соосно проходным отверсти м 6, 9 и 12 через упорный проволочный шарикоподшипник 14 размещено зубчатое колесо 15 с двум  идентичными профилированными торцовыми выступами 16, смещенными относительно друг друга на 180°. Зубчатое колесо 15 соединено с электромеханическим приводом (не показан) и воздействует через ролики 17, наход щиес  в сепараторе 18, на нажимной диск 19, имеющий две идентичные торцовые профилированные канавки 20, зеркально расположенные относительно выступов 16. Нажимной диск 19 св зан через тарельчатую пружину 21 с торцом подвижного диска 11. В свою очередь, в вакуумной полости между диском 11 и основанием корпуса 1 установлены возвратные пружины 22. Подвижный диск 11 контактирует с торцом штока 23, размещенного на основании корпуса 1, механизма 24 перемещени  (фиг. 3) шибера в виде уплотнительного диска 25, который закреплен на втулке 26, расположенной на оси 27. Ось 27 размещена в опорах 28, расположенных в корпусе 29 и крышке 30 механизма перемешени . Внутри кор

пуса 29 между крышкой 30 и втулкой 26 установлена пружина 31.

В ведущем штоке 23, размещенном в опорах 28 корпуса 29 и крышки 30, выполнен профилированный вырез 32, состо щий из плоских поверхностей 33 и 34, параллельных оси штока 23 и плоской поверхности 35, выполненной под углом к оси штока 23.

8профилированном вырезе 32 расположена контактирующа  с ним ось 36, размещенна 

в опорах 37 рычага 38, имеющего сквозное отверстие, через которое проходит шток 23, поджатый к корпусу 29 возвратной пружиной 39.

Одним своим концом рычаг 38 размещен на оси 40, расположенной в опорах 41 корпуса 29 и крышки 30, и соединен пружиной 42 с закрепленным на основании корпуса 1 штифтом, а на другом конце имеет сквозной пр мой паз 43, в котором установ- лен ролик 44, сопр женный с закрепленной на втулке 26 осью 45 и соединен с уплотни- тельным диском 25.

Затвор работает следующим образом. Затвор закрыт. При его открытии зубчатое колесо 15 вращаетс  от электромеханического привода, и ролики 17 скатываютс  по профилированным выступам 16 и канавкам 20. При этом под воздействием пружины 21 нажимной диск 19 движетс  поступательно вверх вдоль оси проходных отверстий 6, 9 и 12, в результате чего снимаетс  усилие герметизации с уплотнительной пары диск 25 - седло 5.

После сн ти  усили  герметизации (пружина 21 находитс  в свободном состо нии) дальнейшее поступательное движение диска 19 приводит к поступательному перемещению вверх вдоль оси проходных отверстий 6, 9 и 12 подвижного диска 11, которое осуществл етс  под воздействием пружин 22. При этом под воздействием пружины 31

диск 25 отходит от седла 5, двига сь поступательно вдоль оси проходных отверстий 6,

9и 12. В этот момент ось 36 в рычаге 38 контактирует с пр мой частью профилированного выреза 32 штока 23, перемеща сь по ней под воздействием пружины 39 на шток

23, в результате чего рычаг 38 остаетс  неподвижным. При последующем вращении колеса 15 поступательное перемещение подвижного диска 11 приводит к тому, что между диском 25 и седлом 5, а также между

дисками 25 и 11 образуютс  зазоры. После этого на ось 36 действует наклонна  часть профилированного выреза штока 23, в результате чего рычаг 38 под воздействием пружины 42 поворачиваетс , и, воздейству  на ролик 44 втулки 26, поворачивает уплотнительный диск 25 до полного открывани  проходного отверсти . Затвор открыт.

Закрытие затвора происходит в обратной последовательности, при этом электродвигатель вращаетс  в противоположную сторону .

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Сверхвысоковакуумный затвор, содержащий шибер со ступицей и уплотнением, расположенный между фланцами с проходными отверсти ми и св занный в вакуумной полости с рычагом его перемещени , снабженным ведущим штоком, подвижным в осевом направлении уплотнительным диском, герметично соединенным с фланцами посредством упругих звеньев и св занным с приводом , отличающийс  тем, что, с целью повышени  надежности, привод выполнен в виде зубчатого колеса, на торце которого выполнены концентричные относительно проходного отверсти  профилированные выступы , смещенные по окружности один относительно другого, и асимметричного зубчатому колесу нажимного диска, на торце которого выполнены идентичные профилированные канавки, зеркально расположенные относительно выступов зубчатого колеса, с установленным в них сепаратором с роликами, при этом в ведущем штоке выполнен профилированный вырез, состо щий из сопр женных плоских поверхностей, две из которых параллельны оси штока, а расположен- на  между ними - наклонна к этой оси, причем рычаг закреплен на оси, параллельной оси штока, и снабжен дополнительной осью, установленной в опорах перпендикул рно оси штока и контактирующей с профилированным вырезом, а фланец снабжен пружиной, св занной с одним из концов рычага, противоположный конец которого св зан с шибером.

   Л

   f.

   Л

   г4

   jg 0 28 гз

   I I

   г

   фиг.5

   -(1)(1)(

   фиг.В

   f

   фиг. 7

   Составитель Н. Лынник

   Редактор А. ШишкинаТехред И. ВересКорректор О. Лугова 

   Заказ 4802/37Тираж 880Подписное

   ВИИИПИ Государственного комитета СССР

   по делам изобретений и открытий

   113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5

   Филиал ППП «Патент, г. Ужгород, ул. Проектна , 4