SU1062432A1

SU1062432A1 - Vacuum plant

Info

Publication number: SU1062432A1
Application number: SU823474543A
Authority: SU
Inventors: Виктор Александрович Шапиро; Сергей Борисович Титов; Игорь Владимирович Абрамзон
Original assignee: Омский политехнический институт
Priority date: 1982-07-21
Filing date: 1982-07-21
Publication date: 1983-12-23

Abstract

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, содержаща последовательно соединенные диффузионный и форвакуумный насосы и вымораживающую ловущку, расположенную на входе диффузионного насоса, отличающа с тем, что, с целью снижени энергоемкости, вымораживающа ловущка выполнена в виде вихревого, холодильника, вход которого подсоединен к выхлопу форвакуумного насоса . бШЛОПA VACUUM INSTALLATION containing a series-connected diffusion and backing pumps and a freezing trap located at the inlet of the diffusion pump, characterized in that, in order to reduce energy intensity, the freezing trap is made in the form of a vortex refrigerator, the inlet of which is connected to the exhaust fume pump. BSLOP

Description

Изобретение отйоситс к вакуумной технике .The invention relates to vacuum technology.

Известна вакуумна установка, содержаща пароструйный насос и охлаждаемую ловушку заливного типа 1.A known vacuum unit comprising a steam jet pump and a filler type 1 cold trap.

Эксплуатаци известной установки сопр жена с неудобствами, св занными с частой заменой отработанного хладагента, а также требует затрат на приобретение и транспортировку хладагента.The operation of a known installation is associated with the inconvenience associated with frequent replacement of the spent refrigerant, and also requires the cost of purchasing and transporting the refrigerant.

Известна также вакуумна установка, содержаща последовательно соединенные диффузионный и форвакуумный насосы и вымораживающую ловущку, расположенную на входе диффузионного насоса 2.Also known is a vacuum unit comprising a series-connected diffusion and forevacuum pumps and a freezing trap located at the inlet of the diffusion pump 2.

Однако эта установкой требует наличи отдельного компрессора дл снабжени охладител сжатым воздухом, что удорожает систему и усложн ет ее эксплуатацию.However, this installation requires a separate compressor to supply the chiller with compressed air, which increases the cost of the system and complicates its operation.

Целью изобретени вл етс снижение энергоемкости.The aim of the invention is to reduce energy consumption.

,,,,

Указанна цель достигаетс тем, что вThis goal is achieved by the fact that

вакуумной установке, содержащей последовательно соединенные диффузионный и форвакуумный насосы и вымораживающую ловушку , расположенную на входе диффузионного насоса, вымораживающа ловушка выполнена в виде вихревого холодильника, вход которого подсоединен к выхлопу форвакуумного насоса.A vacuum unit containing series-connected diffusion and forevacuum pumps and a freezing trap located at the inlet of the diffusion pump; the freezing trap is made in the form of a vortex cooler, the inlet of which is connected to the exhaust of the fore vacuum pump.

На чертеже изображена предлагаема установка, продольный разрез.The drawing shows the proposed installation, a longitudinal section.

Вакуумна установка содержит последовательно соединенные диффузионный 1 и форвакуумный, например газобалластный.Vacuum installation contains series-connected diffusion 1 and fore vacuum, for example gas ballast.

насосы 2 и вымораживающую ловушку, расположенную на входе диффузионного насоса 1. Вымораживающа ловущка выполнена в виде вихревого холодильника 3, вход которого подсоединен к выхлопу форвакуумного насоса 2. Вихревой холодильник 3 охлаждает конденсирующую поверхность 4 ловушки . Диффузионный насос 1 производит откачку из объема 5.pumps 2 and a freezing trap located at the inlet of the diffusion pump 1. The freezing trap is made in the form of a vortex cooler 3, the inlet of which is connected to the exhaust of the foreline pump 2. The vortex cooler 3 cools the condensing surface 4 of the traps. Diffusion pump 1 produces pumping from volume 5.

Форвакуумный насос 2 снабжен краномнатекателем 6.The foreline pump 2 is equipped with a crane 6.

Установка-работает следующим образом.Installation works as follows.

Откачиваемый газ из объема 5 проходит ловушку, поступает в диффузионный насос 1, из него - в форвакуумный насос 2 и передаетс на выхлоп.The evacuated gas from volume 5 passes the trap, enters the diffusion pump 1, from it to the foreline pump 2 and is transferred to the exhaust.

В то же врем балластный газ (воздух) из атмосферы через кран-Еатекате.ть 6 поступает в рабочий объем насоса 1 и передаетс на его выхлоп. С выхлопа газ поступает на впуск вихревого холодильника и охлаждаетс в его объеме. Охлажденный газ понижает температуру конденсируюшей поверхности 4 ловушки.At the same time, the ballast gas (air) from the atmosphere through the crane Eatecate. 6 enters the working volume of the pump 1 and is transferred to its exhaust. From the exhaust, the gas enters the inlet of the vortex cooler and is cooled in its volume. The cooled gas lowers the temperature of the condensing surface 4 of the trap.

Использование вместо автономного охладител , питаемого от отдельного компрессора сжатым воздухом, вихревого холодильника , питаемого сжатым воздухом с выхлопа форвакуумного насоса существенно снижает общую стоимость вакуумной системы.Using instead of an autonomous cooler, powered by a separate compressor with compressed air, a vortex cooler, fed with compressed air from the exhaust of the foreline pump, significantly reduces the total cost of the vacuum system.

Кроме того, использование простого в конструктивном отношении вихревого холодильника и независимость от внешних источников сжатого воздуха значительно упрощает эксплуатацию предложенной вакуумной системы, снижает ее энергоемкость.In addition, the use of a structurally simple vortex cooler and independence from external sources of compressed air greatly simplifies the operation of the proposed vacuum system and reduces its energy consumption.

Claims

VACUUM INSTALLATION, containing a diffusion and forevacuum pumps connected in series and a freezing trap located at the inlet of the diffusion pump, characterized in that, in order to reduce energy consumption, the freezing trap is made in the form of a vortex, refrigerator, the input of which is connected to the exhaust of the fore-vacuum pump.

Exhaust

SU ,,,, 1062432