Изобретение относитс к контроль но-измерительной технике и может быть использовано, например, в приборостроении дл контрол толщины напыл емых в вакууме, пленок. Известно устройство фотометрического контрол оптической толщины пленок, напыл емых в вакууме, со держащее источник света, установленные последовательно по ходу светового луча монохроматор и фотоприемник , блок дифференцировани , блок повторного дифференцировани , блок сравнени и блок управлени процессом напылени Cl. Недостатком известного устройства вл етс то, что с его помощью можно измер ть лишь равнотолщинные слои при h k Л/4, где Л- длина волны излучени , при этом длина вол ны фиксирована, Цель изобретени - обеспечение возможности контрол неравнотолщинных пленок. Поставленна цель достигаетс тем, что устройство фотометрическог |контрол оптической толщины пленок, напыл емых в вакууме, содержащее источник света, установленные последовательно по ходу светового луча монохроматор и фотоприемник, блок дифференцировани , блок повтор кого дифференцировани , блок сравнени и блок управлени процессом напылени , снабжено преобразователем , делителем с блоком коммутации блоком ввода и обработки информации фотоприемник, преобразователь, блок дифференцировани , блок повторного дифференцировани , делитель с блоком коммутации, блок сравнени и блок управлени процессом напылени соединены последовательно, первый и второй выходы блока ввода и обработ ки информации соединены соответстве но с вторыми входами блока сравнени и делител с блоком коммутации, блок дифференцировани соединен с третьим входом делител с блоком коммутации. На фиг.1 представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг.2 график зависимости сигнала на выходе блока ввода и обработки информации от величины И; на фиг.З .график зависимости Afi/L ошибки измерени от Н. Устройство состоит из источника света, монохроматора 2, соединенных последовательно фотоприемника 3, преобразовател 4, блока 5 дифферен цировани , блока б повторного дифференцировани , делител 7 с блоком коммутации, блока 8 сравнени и бло ка 9 управлени процессом напылени блока 10.ввода и обработки информации , соединенного с вторыми входами делител 7 с блоком коммутации и бл ка 8 сравнени . Блок 9 управлени процессом напылени предназначен дл контактировани с вакуумной камерой 11, в которой производитс напыление и устанавливаетс источник 1 света. Устройство работает следующим образом . Зависимость сигнала О (t) на выходе фотоприемника 3 от времени- t при нанесении сло пленки- при условии, что темп осаждени V вещества за врем нанесени сло пленки посто нен , определ етс выражением . . A-t-Dcoa 4Ж.1, ViNt где Vi - -оптическа толщина; Т - коэффициент пропускани нанесенного сло ; А и D - величины, характеризуемые оптическими свойствами покрыти и завис щие от Vi показател преломлени осажденного вещества, от Ио показател преломлени подложки и h,( - показател преломлени среды, в которой происходит процесс нанесени сло ; В - коэффициент, завис щий от светового потока на. входе оптической схемы устройства, от пропускани оптического тракта и от чувствительности .Фотоприемника 3. Из выражени (1) видно, что функци иЯ) будет принимать, свои экстремальные (U(-t) B/A+D t B/A-D) значени в случае, когда .itl, что соответствует моментам времени, когда . )-Kгде К 0,1,2...; 1 - длина волны излучени ; d - геометрическа толщина. Известнр, что при достижении функцией экстремума ее перва производна . 60 (t) равиа нулю. В моменты времени, когда 30-(t)/(, можно регистрировать информационнвт Сигнал, не учитыва численных знаени коэффициентов А, B,D , ошибки в пределении которых значительным бразом.с казьшаютс на точности опреелени коэффициента пропускани , а следовательно, и на точности опеделени оптической толщины сло ленки. Производитс регистраци моментов, когда К Д-/4. Из выражени (1) видно, что оптическа толщина сло t входит в аргумент гармонической составл ющей CX3S функции U (i) . Таким образом, зна аргумент 41Г/Д,11 или величину, однозначно им определ емую, можно контролировать ;оптические толщины наносимых слоев Пленки и прерывать процесс нанесени в момент достижени величиной, однозначно определ емой .аргумент, шеред заданного значени . В началеработы устройства сигнал после фотоприемника 3 на входе преобразовател 4 описываетс выра жением (1), На выходе преобразовател 4 получаетс обратное значени входноГ-о сигнала i A- Dcos- nvt BblXV uio 6 Затем преобразованный сигнсший,), поступает на вход блока5 дифференцировани , на выходе которого по| вл етс сигнал di ebtxA) А% Vi JsiM-Y yiVt л Сигнал с выхода блока 5 диффepe цировани поступает на вход блока 6 повторного дифференцировани , на выходе которого по вл етс сиг . нал ««.- V --Hfbf Это делаетс дл того, чтобы в результате последующих действий получить функцию, однозначно завис |щую от оптической толщины наносимой пленки и других известных величин (h, V , А. ) и не завис щую от козффициентов А, В и Т) ( см.выражение 1 т.е. избавитьс от недостатков, при сущих методу фотометрировани при фиксированной длине волны, и сравнить в блоке 8 сравнени .сигнал, оп сываемый этой функцией, с сигналом вырабатываемым блоком 10, в резуль тате ввода в него заранее заданных значений: h , , Л , V . t . Делитель 7 производит деление сигнала, поступающего с выхода блока 5 дифференцировани (см.выражение 5), на сигнал поступающий с выхода блока б повторного диффереацировани (см. выражение б), дл получени с выхода делител 7 функции вида bburTS -b2 f- -ii 9ш- jMV либо после перекоммутации его входов он осуществл ет деление сигнала , поступающего с выхода блока б (см.формулу 6), на сигнал, поступаьэщий с выхода блока 5 (см. формулу 5), дл по/гучени на выходе делител 7 сигнала, описываемого Функцией вида . . -.Ibou-. .t--u;ciguut J,msAf ; Перекоммутаци входа делител 7 производитс в зависимости от величины ,. Сигнал на перекоммутацию входов делител 7 поступает от управл кнцего выхода блока 10 ввода и обработки информации в результате обработки поступающих в блок 10 входных данных: -И, h , V , А . Таким образом, в зависимости от Н (фиг.2)сигнал на выходе делител 7 будет измен тьс либо как функци l/wtg-cj i при 1Г/4+ТК Е 2Т/ , либо как функци (ff при + -Г(к-1)Н«5Г/4 +Г(К-1), где К 0,1..., и будет соответственно сравниватьс в блоке 8 сравнени либо с сигналом, соответствующим величине либо с сигналом, соответствук цим величине . , cucigfH, поступающим с второго блока 10 и однозначно завис щим от заданной оптической толщины сло и от |других известных параметров процесса (от VI - показател преломлени вещества наносимого сло ; от V - скорости осаждени вещества; от Л- ллины волны, на которой ведетс фотометрирование ). В момент равенства сигналов, поступающих на входы блока 8 сравнени (l/a-Ko-CtJ-t п либо оу ctgUJt )ct| Н 47С/Л.И V-fc ; H- --7ViV-t 1i) , т.е. когда- on-. |Тическа толщина нанесенного сло ленки И равна заданной , на выходе блока 8 по вл етс сигнал, поступающий на блок . 9 управлени процессом напылени и прерывающий напыление. Предлагаемое устройство позвол ет вести контроль оптических толщин многослойных покрытий непосредственно -по детали { без применени свидетелей специальных подложе количество которых равно количеству разнородных слоевi вход щих в многослойное покрытие), так как и формулы, описывающие сигналы, посту паюпоие в блок В сравнени , не входит коэффициент А, завис щий от показател преломлени подложки Ид . Изменение вида выходного сигнал делител 7 (перекоммутайи входов) и значени сигнала на втором выходе блока 10 в зависимости от величины Н, вырабатываемой в блоке 1 ( см.выражени 7-11), введено с той целью, чтобы сравнение сигналов BI блоке 8 происходило на асимптотичес ких участках кривых (фиг.2), т.е. там, где (arctgX)x -гпГ5 ( тоже и дл arcctg X). Как видно из фиг.З, максимальна относительна ошибка (uV ) будет при значени х + КSr/2 (К 0,1...), и ошибка быстро уменьшаетс , стрем сь к нулю,когда Л стремитс к значени м: К7Г/2 ( ,1...) . Дри и)- КК72, т.е. когда зависимость сигнала., поступающего с выхода делител 7, от w€ принимает асимптот ческий характер, значение величины сигнала, поступающего с второго вы хода блока 10, дл сравнени с блока 8 с величиной сигнала, поступаю щей с выхода делител 7, может регулироватьс в зависимости от тре буемой точности контрол . Кроме того, существенно снижаетс вли ние:на точность контрол дисперсии, технологических колебаний показателей преломлени ,И , и) и технологических колебаний скорости осаждени вещества (V), так как сравниваемые величины (см. выражени 8-12) не завис т от коэффициентов А и D, которые вл ютс функци ми от Ио, и и V1 , а изменение показател преломлени осаждаемого вещества ЛИ вл етс функцией от изменени скорости осаждени вещества, Л-У , , uV и йи вл ютс функци ми, завис щими от Изменени остаточного давлени в вакуумной камере, также исключена возможность результата контрол от абсолютного значени светового потока на входе оптической системы и зависимость результата контрол от спектральной чувствительности фотоприемника 3 и спектрёшьного коэффициента пропускани оптической сис темы , так как в выражени (7), (8), (10) и (11) не входит коэффици евт В. При этом относительна ошибка (uii/) в определении оптической толщины Наносимого сло , возникающа в случае отклонени от заданных значений коэффициента преломлени и скорости осаждени наносимого вещества , когда Н f т.е. когда относительна ошибка будет максимальной (фиг.З), будет равна следующей величине. Пусть действительное значение показател преломлени наносимого вещества и , (И и ), а скорости осаждени -V, (V7n) и пусть #---V- , Тогда в момент поступлени команды на прерывание процесса нанесени сигналы,, поступающие в блок 8 сравнени , будут равны, т.е. mc-tgt4;t aC H (то же и . Отсюда следует, что V,Vctг иd- Vct Ж d л л Л ,.,,..Wv .с(ГШ1Д-)и(3 г о ООП , MV ( .,02- ,7779 po(j, ДТ yifl-vid &Vi у-Via-- - 0,7854 poqна -ii 0,7654-0,7779 „, .Таким образом, максимальна отосительна ошибка при контроле опической толщины на носимого сло при ыполнении услови (12) не превышат 1%. Предлагаемое устройство обеспечиает возможность получени покрытий с оптическими толщинами Ch) , не кратными Л/4(Ь; кЛ/4), что позвол ет на рактике получать рассчитанные конструкции покрытий.с повышенными требовани ми к форме спектральной кривой пропускани (отражени ) и наперед заданными параметрами, возожность контрол без применени сменных свидетелей. Экономический эффект от внедрени изобретени составит 200 тыс. руб. (f Фиг. 2