Изобретение относитс к технике обработки изделий и материалов с помощью мощного непрерывного лазерного излучени , а именно к устройствам, предназначенным дл управлени пере- мещением лазерного луча, и может быть использоваио в промьшшенности дл высокопроизводительной автоматизированной сварки, резки, термообработки различных деталей, а также в измеритель- fO ной технике с угловым сканированием луча. Известен сканатор, содержащий кор пус, консольную упругую балку со ска нирующим элементом, электромагнитную систему возбуждени колебаний упругой балки. Свободный конец балки снаб жен ударной массой, расположенной симметрично между квум жесткими ограничител ми , образующими вместе сударной массой ударную пару. Известное устройство обеспечивает пилообразный режим колебаний с необходимыми частотами дл преобразовани и сглаживани пространственной неоднородности лазерного пучка. Однако известное устройство неприменимо дл управлени лучами технологических лазеров, так как сканирующий элемент (зеркало) должен быть достаточно массивным и водоохлаждаемым дл рассеивани выдел ющей с на его поверхности тепловой энергии , что существенно увеличивает габариты , массу сканатора и энергозатраты на возбуждение крупногабаритной колебательной системы. Наиболее близким к изобретению техническим рещением вл етс сканатор , содержащий коромысло со скани рующими зеркалом, установленное в корпусе с возможностью поворота относительно оси. качани , и электромаг нитную систему возбуждени колебаний коромысла. Недостатком известного сканатора вл етс повыщение энергозатрат, уве личение массы и габаритов сканатора ггри использовании его дл управлени лучами технологических лазеров. Кроме того, в известном сканаторе не предусмотрена стабилизаци параметров сканировани коромысла. Цель изобретени - снижение энергозатрат , уменьщение массы и габаритов сканатора, а также стабилизаци параметров сканировани . Цель достигаетс тем, что сканатор , содержащий коромысло со сканируемым зеркалом, установленное в корпусе с возможностью поворота относительно оси качани , и злектромагнитнзпо систему возбуждени колебаний коромысла , снабжен равноудаленными от оси качани идентичными ударными парами , элементы которых установлены соответственно ни плечах коромысла и в корпусе, при этом коромысло соединено с корпусом резонансными упругими элементами. На фиг.1 изображена-схема предлагаемого сканатора; на фиг.2 - схема лазерной обработки с использованием сианатора; на фиг.З - амплитудно-частотна характеристика колебаний виб роударной системы. Сканирующее зеркало 1 жестко закреплено на коромысле 2, которое установлено с -возможностью качани на оси 3 в корпусе 4 сканатора. Коромысло 2 св зано также с корпусом 4 резонансными упругими элементами 5 и имеет равноудаленные от оси 3 ударники 6. Жесткость резонансных упругих элементов 5 нар ду с моментом инерции коромысла 2 со сканирующим зеркалом 1 относИ|Тельно оси качани 3 определ ет частоту возбуждени резонансных колебанки f 1. На корпусе 4 на одинаковых рассто ни х от оси 3 и с одинаковыми зазорами относительно ударников 6 закреплены жесткие упоры 7, обеспечивающие соударени по нормали ударников 6 с упорами 7. Каждьй ударник 6 с соответствующим упором 7 образуют ударную пару. На корпусе также установлены электромагниты 8 системы возбуждени резонансных колебаний коромысла 2. На фиг.1 также показаны падающий 9 и отраженный 10 от зеркала 1 лазерные пучки. В лазерной технологической установке (фиг.2) сканатор устанавливаетс так, что прощедщий через фокусирующую систему 11 лазерный пучок 9 попадает на сканирующее зеркало 1. Отраженный сфокусированный пучак 10 направл етс на перемещающуюс со скоростью V деталь 12 в зону лазерной обработки 13. Амплитудна -частотна характеристика колебаний виброударной системы в общем случае имеет вид, приведенный на фиг.З. Здесь V- амплитуда угловых колебаний коромысла, f - частота электромагнитной системы возбуждени колебаний коромысла,W угловой зазор между жесткими упорами и ударниками в ударной паре. Пунктиром показана амплитудно-частотна характеристика механической системы без ударников и fp ее резонансна частота.
Устройство работает следующим об: разом.
Электромагниты 8 питаютс переменным током на резонансной частоте f р и возбуждают угловые колебани коромысла 2 с зеркалом 1. Необходима амплитуда угловых колебаний массивного сканирующего зеркала 1 с коромыслом 2 обеспечива1етс за счет резонансных свойств системы. Упругие удары ударников 6 об упоры 7 в ударных парах позвол ют в крайних положени х резко измен ть направление движени коромысла 2 на противоположное и обеспечить пилообразный закон угловых колебаний. Йри этом значительно снижаютс размеры, масса и количество электронной управл ющей аппаратуры сканатора по сравнению с прототипом. Затем частоту переменного тока, питают щего электромагниты 8, увеличивают, перевод т сканатор в рабочий режим колебаний (нелинейный эффект зат гивани амплитуды колебаний по часто те), соответствующий точке А на фиг.З, при котором реализуетс высокостабильный пилообразный закон колёбаний If (t) сканирующего зеркала 1. Сканатор также может быть возбужден непосредственно на частоте рабочего режима (точка А на фиг.З) путем подачи дополнительного импульса в электромагниты 8 системы возбуждени ,
В предложенном устройстве легко осуществл етс регулирование частоты и амплитуды сканировани . Первое путем изменени частоты возбуждени f и перемещени рабочей точки А по горизонтальному участку нелинейной ветви амплитудно-частотной характеристики (фиг.З). Второй - изменением зазоров между ударниками 6 и упорами 7 в ударных парах, дл чего упоры выполн ютс регулируемыми. При этом величину амплитуды колебаний Чд можно регулировать от нул до максимального значени достроенной пунктиром (фиг.З) амплитудно-частотной характеристики . .
За счет упругого взаимодействи в ударных парах и резонансных свойств системы устройство обеспечивает необходимое высокочастотное сканирование и пилообразный закон колебаний при массе и габаритах сканатора и управл ющей аппаратуры в дес тки раз меньших, чем у прототипа. Соответственно уменьшаютс энергозатраты. Резонансные свойства системы позвол ют существенно снизить требовани к форме возбуждающего сигнала и упростить электронную рхему управлени . В предложенном устройстве реализуетс высокостабильный по амплитуде закон колебаний пилообразной формы с практически посто нной угловой скоростью движени сканирующего зеркала в интервалах времени между соударени ми в ударных парах.