2. Установка дл контрол герметичности полых изделий, содержаща вакуумную камеру дл размещени коит ролируемого издели , систему подачи индикаторного газа и масс-спектрометрический течейскатель, отличающа с тем, что, с целью исключени вредного воздействи индикаторного газа на изделие, она снабжена индикаторной камерой, сообщенной с полостью издели и соеди3 ненной через запорный орган с массспектрометрическим течеискателем, выравнивающей камербй с эластичные разделителем, одна из полостей которой сообщаетс с полостью издели , а друга соединена через регул тор давлени с системой подачи индикаторного газа и сообщена через запорный орган с индикаторной камерой и системой подачи и регулировани рабочего газа , соединенной с индикаторной камерой.2. Installation for monitoring the tightness of hollow products, containing a vacuum chamber for placing a coit-driven product, an indicator gas supply system and a mass spectrometry leak detector, characterized in that, in order to eliminate the harmful effects of indicator gas on the product, it is equipped with an indicator chamber communicated with the cavity of the product and connected through a shut-off organ with a mass spectrometric leak detector, leveling the chamber with an elastic separator, one of the cavities of which communicates with the cavity of and, and the other is connected through a pressure regulator with a tracer gas delivery system and communicated through the closure member with the indicator chamber and the supply system and controlling the working gas, connected with an indicator chamber.
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике, а именно к контролю герметичности полых изделий , не допускающих контакта с индикаторным газом, например, летатель ных аппаратов с оптико-электронным оборудованием. Известен способ контрол герметич ности полых изделий, заключающийс в том, что контролируемое изделие помещают в вакуумную камеру,заполн ют его индикаторным газом до заданного давлени и определ ют герметичность с помощью масс-спектрометрического течеискател путем регистрации индикаТорного газа в вакуумной камере. Известна установка дл контрол герметичности полых изделий , содержаща вакуумную камеру дл размещени контролируемого издели , систему подачи индикаторного газа и массспектрометрический течейскатель, сое диненный с вакуумной камерой 1 }. Недостатком известных способа и устройства вл етс то, что при конт роле изделий., на которые индикаторный газ,например гелий, оказывает вредное воздействие, необходимо проведение последующей сложной и длительной операции удалени индикаторного газа из издели . Цель изобретени - исключение вредного воздействи индикаторного газа на изделие. Указанна цель достигаетс тем, что согласно способу контрол герметичности полых изделий, заключающе мус в том, что контролируемое изделие помещают в вакуумную камеру, заполн ют его газом до заданного дай лени и определ ют герметичность с помощью масс-спектрометрического течеискател , полость издели сообщают с индикаторной камерой, наполн ют их до заданного давлени рабочим газом, до того же давлени наполн ют индикаторным газом выравнивающую камеру, выдерживают изделие в вакуумной камере в течение заданного времени, разобщают полость издели с индикаторной камерой , затем последнюю сообщают с выравнивающей камерой на заданное врем , разобщают их и соедин ют индикаторную камеру с масс-спектрометрическим течеискателем . Кроме того, установка дл контрол герметичности полых изделий , содержаща вакуумную камеру дл размещени контролируемого издели , систему подачи индикаторного газа и масс-спектрометрический течейскатель, снабжена индикаторной камерой, сообщенной с полостью издели и соединенной через запорный орган с массспектрометрическим течеискателем,выравнивающей камерой с эластичным разделителем , одна из полостей которой сообщаетс с полостью издели , а друга соединена через регул тор давлени с системой подачи индикаторного газа и сообщена через запорный орган с индикаторной камерой и системой подачи и регулировани рабочего газа, соединенной с индикаторной камерой. На чертеже представлена схема ус тановки. Установка дл контрол герметичности полых изделий содержит вакуумную камеру 1, соединенную через запорный орган 2 с откачивающим устройством 3 и предназначенную дл размещени издели t. Индикаторна камера 5 соединена с системой подачи рабочеf-o газа, содержащей баллон 6 с газом , запорный орган 7 и регул тор 8 давлени , с масс-спектрометрическим течеискателем Э через запорный орган 10 и с атмосферой - через запорный орган 11. Полость издели Ц сообщаетс с индикаторной камерой через запорный орган 12. Выравнивающа камера 13 имеет эластичный разделитель I, образующий две полости, одна из которых (полость 15) сообщаетс с no лостью издели через запорный орган 16 j а дру га (полост ь 17 ) соединена с системой подачи рабочего газа , сбдержащей баллон 18, регул тор 19 Давлени и запорный орган 20, через запорный орган 21 с атмосферой и через запорный орган 22 с индикаторной камерой 5. Способ осуществл ют следующим образом . Изделие t помещают в вакуумную камеру 1, которую затем откачивают, Отк рывают запорные органы 7 и 11 и сообщают индикаторную камеру 5 с системой подачи рабочего газа с атмосферой ч и производ т продувку камеры 5 раббчим газом. Затем закрывают запорный орган 11, открывают запорный орган 20 и сообщают полость издели и индикаторную камеру 5 с системой подачи рабочего газа, заполн ют их рабочим газом до давлени закрывают запорный орган 11. После итого производ продувку полости 17 выравнивающей камеры 13 индикаторным газом и наполн ют ее индикаторным газом до давлени Р. Открывают запорный орган 16 и пре цизионно выравнивают давление в поло ст х 15 и 17, изделии и индикатор ной камере 5 посредством эластичного г азонепроницаемого разделител It.SaK рывают запорные органы 20 и 12,отк .рывают запорный орган 22 и создают диффузионное перетекание индикаторного газа (гели )в индикаторную камеру . Через врем t , определ емое исход из чувствительности массспектрометриче ,ского течеискател 9, регистрируют с помощью последнего диффузионный фон {ofл) йндикаторноготаза в индикаторной камере 5. После повторной продувки индикаторной камеры рабочим газом вновь создают давление рабочего газа Р в полости издели k, индикаторной камере 5 и полости 15 и равное ему давление индикаторного газа .в полости 17 выравнивающей камеры 13« после чего производ т выдержку в вакуумной ка мере 1 издели k, сообщенного с индикаторной камерой 5, при давлении в вакуумной камере Р в течение времени ty, определ емого требовани ми по герметичности издели и рассчитываемого по формуле /у +V УР МЗА ИК/ Ot полученной из решени дифференциального уравнени ар. & С иа|д ик описывающего процесс молекул рного перетекани рабочего газа из издели k в вакуумную камеру 1 через течь, величиной В при начальных условиР и t где V д- объем полости издели ; Vyjjj-- объеминдикаторной камеры; Р - текущее давление в изделии и индикаторной камере; Pjjj - атмосферное давление; .- молекул рный вес рабочего газа; Hft - молекул рный вес воздуха. Поистечении времени выдержки закрывают запорный орган 12,,открывают запорный орган 22 и .перепускают индикаторный газ из полости 17 выравнивающей камеры 13 в индикаторную камеру 5 в течение времени Ц, определ емого по формуле . ик d en -2Р 2в,(р+р) г 11 V VI/ -РГ-12 . полученной из решени дифференциального уравнени 6IP2 в,(Р-р,) грг V Р ИК 0( описывающего процесс в зкого перетекани газа из полости 17 выравнивающей камеры 13 в индикаторную камеру 5 при начальных услови х Р- Р и t О, где величина течи, определ ема проходным сечением трубопроводов между индикаторной и выравнивающей камерами; коэффициент в зкости индикаторного газа;The invention relates to instrumentation engineering, in particular, to the monitoring of the tightness of hollow articles that do not allow contact with indicator gas, for example, flying apparatuses with optical-electronic equipment. A known method of monitoring the hermetic integrity of hollow articles consists in placing the test article in a vacuum chamber, filling it with indicator gas to a predetermined pressure, and determining the tightness using a mass spectrometric leak detector by registering an indicator gas in a vacuum chamber. A known installation for monitoring the integrity of hollow articles, comprising a vacuum chamber for housing a test article, an indicator gas supply system and a mass spectrometry leak detector connected to a vacuum chamber 1}. A disadvantage of the known method and device is that when monitoring products, for which a tracer gas, such as helium, has a detrimental effect, it is necessary to carry out a subsequent complex and lengthy operation to remove tracer gas from the product. The purpose of the invention is to eliminate the harmful effects of indicator gas on the product. This goal is achieved by the fact that, according to the method of monitoring the tightness of hollow products, which implies that the controlled product is placed in a vacuum chamber, it is filled with gas until a predetermined pressure is given, and the leak-tightness is determined using a mass spectrometric leak detector; chamber, fill them to a predetermined pressure with the working gas, fill the leveling chamber to the same pressure with the indicator gas, maintain the product in the vacuum chamber for a specified time, unite The cavity of the product with the indicator chamber is then communicated with the leveling chamber for a predetermined time, separated and connected to the indicator chamber with a mass spectrometric leak detector. In addition, the installation for monitoring the tightness of hollow articles, containing a vacuum chamber for accommodating a controlled product, an indicator gas supply system and a mass spectrometric leak detector, is equipped with an indicator chamber communicated with the product cavity and connected through a gate valve to a mass spectrometric leak detector, leveling chamber with an elastic separator , one of the cavities of which communicates with the cavity of the product, and the other is connected via a pressure regulator to the indicator gas supply system and communicated through a shut-off element with an indicator chamber and a supply and control system for the working gas connected to the indicator chamber. The drawing shows an installation diagram. The installation for controlling the tightness of hollow articles comprises a vacuum chamber 1 connected through a shut-off member 2 to a pumping device 3 and designed to accommodate an item t. The indicator chamber 5 is connected to a working gas supply system comprising a gas cylinder 6, a shut-off element 7 and a pressure regulator 8, to a mass spectrometric leak detector E through a shut-off body 10 and to the atmosphere through a shut-off body 11. The cavity C of the product C is reported with the indicator chamber through the shut-off element 12. The leveling chamber 13 has an elastic separator I, which forms two cavities, one of which (cavity 15) communicates with the product's part through the shut-off body 16 j and the other (cavity 17) is connected to the working supply system gas sbde zhaschey cylinder 18, a regulator 19 pressure and the blocking member 20 through the locking body 21 with the atmosphere and through the locking body 22 with the display chamber 5. The process is carried out as follows. The product t is placed in a vacuum chamber 1, which is then pumped out, the locking bodies 7 and 11 are opened and the indicator chamber 5 is communicated with the working gas supply system with an atmosphere of h and the chamber 5 is blown with working gas. Then shut off valve 11 is closed, shut off valve 20 is opened and the product cavity and indicator chamber 5 are connected with the working gas supply system, filled with working gas to the pressure, shut off valve 11 is closed. After flushing the cavity 17 of the leveling chamber 13 is completed with indicator gas and filled its indicator gas to the pressure P. The valve is opened 16 and precision pressure is equalized in bars 15 and 17, the product and the indicator chamber 5 by means of an elastic, gas-tight separator It.SaK dig the locking organs s 20 and 12, TCI .ryvayut valve plug 22 and create diffusional flow of tracer gas (helium) in the indicator chamber. After a time t determined from the sensitivity of the mass spectrometry of the leak detector 9, the diffusion background (indicator) of the indicator tube in the test chamber 5 is recorded with the help of the latter. After re-purging the test chamber with the working gas, pressure of the working gas P is again created in the cavity k, the indicator chamber 5 and the cavity 15 and the pressure of the indicator gas equal to it. In the cavity 17 of the leveling chamber 13 ", after which they are soaked in vacuum chamber 1 of product k, which communicates with the indicator chamber 5, at a pressure of vacuum chamber P for a time ty, determined by the requirements for the product tightness and calculated by the formula / y + V P RUR MPA IR / Ot obtained from the solution of the differential equation ar. & C ia d ik describing the process of molecular flow of the working gas from the product k into the vacuum chamber 1 through the flow, the value of B at initial conditions and t where V d is the volume of the cavity of the product; Vyjjj-- volume indicator camera; P - the current pressure in the product and the indicator chamber; Pjjj - atmospheric pressure; .- molecular weight of the working gas; Hft is the molecular weight of air. After the exposure time has elapsed, the shut-off member 12 is closed, the shut-off member 22 is opened, and the indicator gas is passed from the cavity 17 of the leveling chamber 13 into the indicator chamber 5 during the time C determined by the formula. IR d en -2R 2c, (p + p) g 11 V VI / -RG-12. obtained from solving the differential equation 6IP2 в, (Р-р,) grg V Р IR 0 (describing the process of viscous gas flow from the cavity 17 of the leveling chamber 13 to the indicator chamber 5 under the initial conditions Р-Р and t О, where the leakage , determined by the flow area of the pipelines between the indicator and leveling chambers; the coefficient of viscosity of the indicator gas;
s 1033883 s 1033883
pr- коэффициент в зкости рабочегоней о «oCg - ot. суд т о велимине негаза; ,герметичности издели . Ру текущее давление в выравнивающей и индикаторной каме-, Применение предлагаемого способа pax, 5и установки позвол ет исключить неПосле этого закрывают-запорный оргпосредственный контакт издели с инган 22, открывают запорный орган 10дикаторным газом , оказывающим на и измер ют с помощью масс-спектро- ,изделие вредное воздействие, и улучметрйческого течеискател 9 уровень ;шить услови эксплуатации издели , а индикаторного газа в индикаторной ка- также исключить операцию удалени инMepectg и по разности измеренных уров -дикаторного газа из издели .pr is the viscosity coefficient of the workers “oCg - ot. the judgment of the magnitude of the gas; , tightness of the product. The current pressure in the leveling and indicator chambers, the application of the proposed method pax, 5 and the installation allows for the elimination of non-closure-shut-off direct contact of the product with the ingan 22, opens the shut-off organ with 10 gauge gas exerting on and measuring with mass spectrometry, the product is harmful, and a level 9 leakage detector; sew the conditions of use of the product, and the indicator gas in the indicator also exclude the operation of removing InMepectg and the difference products.