SU1014071A1 - Кассета дл травлени пластин - Google Patents

Abstract

1. КАССЕТА ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН, преимущесгвенно полупроводниковых , содержаща  основание в вице диска с отверстием в центре, на котором размешень по концентрическим окружност м два р да точечнБК фикс зторов в виде стержней, отличаю ш a   с   тем, что, с аелью повышени${ качества травлени , она снабжена цопол нительными основани ми и крышкой в . виде диска, при этом основное и дополнитепьные сюновани  и крышка установлены друг под другом на одинаковом рассто нии и соединены между собой стерасн ми точечных фиксаторов, причем стержни одного из р дов выполнены съемными и установлены попарно относительно двух стержней другого р да с возможностью образовани  гнезда дл  пластины.1 2. Кассета по п. 1, о т л и ч a ющ a   с   тем, что съемные штыр  точечных (фиксаторов соединены между собой попарно перемъгчкой, размешенной над крышкой.

Description

Изобретение огноситс  к полупроводниковой технике и может быть использовано в технологии произвоаства полу- щювоцниковых пластин.

Известно устройство дл  травлени  пластин, в котором пластина укрепл етс  на йне тефлоновой лодочки, плавающей в сосуде с травителем. Перемешивание травител  осуществл етс  инертным газом, подаваемым в сосуд через мелкие отверсти  t 1

Устройство не пригодно в услови х массового производства.

Наиболее близкой по технической сущности к изобретению  вл етс  кассета дл  травлени  пластин, содержаща  основание в виде диска с отверстием в центре, на котором размещены по концентрическим окружност м два р да 1 точечных фиксаторов в виде сгержней 22

В кассете пластины устанавливают между стержн ми вертикально, и возможно их соприкосновение между собой, что цвет плохое качество травлени  пластин.

Цель изобретени  - повышение качества травлени .

Поставленна  цель достигаетс  тем, чго кассета дл  травлени  пластин, преимущественно полупроводниковых, содержаща  основание в виде диска с отверстием Б центре, на котором размещены по концентрическим окружност м два р  да точечных фиксаторов в виде стержней она снабжена дополнительными основани ми и крьпдкой в виде диска, при этом основное и дополнительные основани  и крьшка установлены друг под другом на одинаковом рассто нии и соединены меж собой стержн ми точечных фиксаторов, причемстержни из р дов выполнены съемными-и установлены попарно относительно двух стержней другого р да с возможностью образовани  гнезда дл  пластины,

Кроме того, съемные штыри точечных фиксаторов соединены между собой попарно перемычкой, размешенной над крьпикой .

На фиг. 1 показана часть кассеты, вид сбоку; на фиг. 2 - то же, вид сверху .

Кассета состоит из жестко соединенных между собой дисков 1. выполненных из винипласта и 230 ±30 мм с отверстием в центре 0 110 + 30мм. Диски, верхний из которых  вл етс  крышкой.

расположены параллельно и на одинаково рассто нии друг от друга, равном 10 + 2 мм. Количество дисков может мен тьс  от 2 до 6 в.зависимости от емкости кассеты, и они соединены между собой стерн н ми 2 - 5, Кажда  пластина, помещенна  .между двум  дисками (рабочей стороной вверх) фиксируетс  с помощью четырех стержней, размещенных по двум концентрическим окружност м. При этом стержни одного р да выполнены съемными и установлены попарно относительно двух стержней другого р да с возможностью образовани  гнезда дл  пластины. Съемные штыри соединены между собой попарно перемычкой 6, размещенной над крышкой. На каждом диске может быть установлено до 12 пластин 0 40 мм, На крьщ1ке установлена ручка 7, имеюща вертикальный шток 8, который может бы соединен с валом электродвигател  (не показан).

Кассета работает следующим образом

При подготовке кассеты к работе стержни 2 и 3 вынимаютс , и в каждую  чейку образованную четырьм  стержн ми - помещаетс  пластина рабочей стороной вверх и фиксируетс  съемными стержн ми.

Кассета закрепл етс  на валу электродвигател  и совершает возвратно-поступательное движение в ванне с травителем При этом пластины наход тс  во взвешенном состо нии, кажда  пластина размещаетс  между четырьм  стержн ми и двум  основани ми и равномерно омьтаетс  травителем со всех сторон.

Диаметр отверсти  в центре каждого диска определен экспериментально и равен 1,5 диаметра пластин.

Рассто ние между дисками также . определено экспериментально и равно 0,20 ,25 диаметра пластины.

Кассета может быть выполнена из винипласта, фторопласта и других химически стойких материалов..

Кассета позвол ет получать пластины с разбросом по толщине 10-15 мкм (т.е. не превьш1ающим первоначальный).

Кассета может быть использована не только дл  травлени  полупроводниковьос пластин, но также и при проведении про .цессов про влени  фоторезиста, травлени  окисного сло , сло  металлизации и других фотолитографических процессов.

Ф(

Claims (2)

1. КАССЕТА ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН, преимущественно полупроводниковых, содержащая основание в виде диска с отверстием в центре, на котором размешены по концентрическим окружностям два ряда точечных фикса- торов в виде стержней, отличаю— щ а яся тем, что, с целью повышения качества травления, она снабжена дополнительными основаниями и крышкой в . вице диска, при этом основное и цополнительные основания и крышка установлены друг под другом на одинаковом расстоянии и соединены между собой стержнями точечных фиксаторов, причем стержни одного из рядов выполнены съемными и установлены попарно относительно двух стержней другого ряда с возможностью образования гнезда для пластины. ΐ

2. Кассета по π. 1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что съемные штыри точечных фиксаторов соединены между собой попарно перемычкой, размещенной нац крышкой.

SU ,..,1014071