SU1005212A1 - Способ изготовлени светофильтров дл коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов - Google Patents

Способ изготовлени светофильтров дл коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов Download PDF

Info

Publication number
SU1005212A1
SU1005212A1 SU813250383A SU3250383A SU1005212A1 SU 1005212 A1 SU1005212 A1 SU 1005212A1 SU 813250383 A SU813250383 A SU 813250383A SU 3250383 A SU3250383 A SU 3250383A SU 1005212 A1 SU1005212 A1 SU 1005212A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
evaporator
colour
screens
film
color
Prior art date
Application number
SU813250383A
Other languages
English (en)
Inventor
Михаил Андреевич Ровенский
Игорь Николаевич Хомич
Алла Валентиновна Сороневич
Анна Ивановна Мороз
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8677
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8677 filed Critical Предприятие П/Я В-8677
Priority to SU813250383A priority Critical patent/SU1005212A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1005212A1 publication Critical patent/SU1005212A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Изобретение относитс  к электронной технике, в частности к технологи изготовлени  светофильтров, примен емых при нанесении экранов цветных кинескопов. Известны способы изготовлени  све тофильтров нанесением на рабочую поверхность линзы фоточувствительного сло  с последующим экспонированием и про влением С 1. Однако полученные такими способами покрыти , легко повреждаютс  механически , имеют малый срок службы и ограниченный диапазон оптической плотности. Известен также способ изготовлени  светофильтров, заключающийс  в вакуумном напылении пленки хрома на промежуточный испаритель и перепылении пленки на кварцевую подложку све тофильтра |,2 , Однако получить указанным способом светопоглощающее покрытие с необходимым распределением толщины пок рыти  не представл етс  возможным из-за того, что распыл емый материал конденсируетс  на холодную подложку, поэтому не обеспечиваетс  достаточна  адгези  материала к промежуточному испарителю и при перепылении на подложку рисунок искажаетс . Это делает невозможным получение светофильтров сложной асимметричной формы , необходимых дл  обеспечени  равной экспозиции по всей площади экрана цветного кинескопа при его изготовлении фотоспособом. Целью изобретени   вл етс  повышение качества цветных кинескопов. Указанна  цель достигаетс  тем, что согласно способу изготовлени  светофильтров дл  коррекции освещен ности при экспонировании экранов цветных кинескопов, заключающемус  в вакуумном напылении пленки хрома на промежуточный испаритель и перерылении пленки на кварцевую подложку светофильтра, напыление.пленки 3 осуществл ют на промежутомный испа (эитель , прогретый до 15015С и подрожку , нагретую до , причем напыление пленки на промежуточный Испаритель производ т через трафаре т.. При этом наилучшее качество покэыти  получаетс , если напыление осуществл ют со скоростью Л/С. В предлагаемом способе промежуточный плоский испаритель служит подложкой конденсата. На нем с помощью трафарета создаетс  предварительна  форма будущего покрыти , которое.должно иметь конфигурацию, соответствующую типу кинескопа и распределению плотности светофильтр и хорошую адгезию к подложке. Темпе ратура промежуточного испарител  145°С  вл етс  минимально допустимой температурой, котора  обеспечивает формирование конденсата ,, не от слаивающегос  при последующем перепылении . Нагрев до более высокой те пературы практически нецелесообразен , так как не оказывает вли ни  на качество покрыти . Что касаетс  состава и парциального давлени  остаточных газов во врем  напылени  (давление ниже 8 Па), то они не оказывают стол существенного вли ни  на адгезию пленки к промежуточному испарению или к подложке светофильтра, которое привело бы к отслаиванию осажденной пленки. Степень загр знени  подложки оказывает существенное вли  ние на свойства пленок, |1оэтому пр межуточный испаритель очищаетс  про калкой в вакууме при температуре не сколько высшей, чем температура испарени  хрома. Подложка светофильтра также подвергаетс  очистке. Выбор температуры подложки светофильтра обусловлен следующим соображением . Прогрев подложки должен создать высокую адгезию материала светофильтра к ее поверхности, чтоб обеспечить длительную ( не менее год эксплуатацию светофильтра в производственных услови х. Понижение тем пературы подложки при напылении сопровождаетс  резким ухудшением адгезии пленки светофильтра к ее поверхности . Повышение температуры по ложки сверх оптимальной (, Т 00±5° С) увелич;ивает впекаемость пленки в прозрачное основание , что суш.ествен 124 но затрудн ет процесс регенерации дорогосто щей подложки после выхода из стро  светофильтра. Если напыление пленки на промежуточный испаритель проводитс  при тем пературе ниже 150±5°С то при перепылении конденсата на прозрачную подложку он частично отслаиваетс , что отрицательно вли ет на качество светофильтра (см.таблицу). Величина скорости напылени  как на промежуточный испаритель, так и на подложку светофильтра выбрана экспериментально и  вл етс  компромиссным решением двух конкурирующих задач , а именно стремление получить сплошную; безостровковую пленку светофильтра при возможно малых толщинах требует увеличени  скорости осаждени , в свою очередь, слишком энергичное распыление вещества светофильтра сопровождаетс  его разбрыз гиванием, что приводит к искажени м градиента оптической плотности светофильтра. Экспериментально установлено, что Незначительные отклонени  в параметрах процесса напылени  влекут за собой в конечном счете заметные отклонени  величин коэффициента прозрачности светофильтра. Критерием дл  определени  пределов изменени  указанных параметров  вл етс  требование о недопустимости отклонени  коэффициента прозрачности светофильтра более чем на 2% в ту или другую сторону от требуемого при фиксированной навеске распыл емого вещества. Поверхностное распределение оптической плотности светофильтра регулируетс  площадью, формой и взаимным расположением отверстий трафарета, величиной навески испар емого вещества , рассто нием между испарител ми, а также между промежуточным испарителем и подложкой светофильтра. П р и и е р. По предложенному и известному способам изготовлены светопоглощающие покрыти  на кварцевых линзах, используемых дл  корректировки светового потока на установках Экспонировани  мозаичных экранов 61ЛКЗЦ и экранов со щелевой маской 25ЛК2Ц. Изготовление светофильтров дл  экспонировани  экрана 25ЛК2Ц осуществл етс  в установке вакуумного напылени  УРМ 3-279-017 следукхчим образом .
Вольфрамовые ленточные испарители выставл ютс  один над другим таким образом, чтобы лини , соедин юща  их центры,  вл лась вертикалью длиной 90 мм, плоскости испарителей при этомs должны быть горизонтальны. С нижней поверхностью верхнего промежуточного испарител  совмещаетс  трафарет.В нижний испаритель помещаетс  навеска металлического хрома массой20±0,1 мг ю После достижени  вакуума psSltPTla на промежуточный испаритель,нагретый до температуры , напыл етс  хром. Затем удал етс  трафарет , а между испарител ми, соблюда  взаим- 15 ную центровку, устанавливаетс  подложка - кварцева  линза ф227 на рас сто нии 18 мм от промежуточного испарител  и на ее верхнюю поверхность нагретую до , сублимируетс  20 конденсат с промежуточного испарител .
Светофильтры, полученные по известному и предлагаемому способам, ис- 25 пользованы при фотоэкспонировании экранов.
Результаты корир«ктировки светового потока указанными светофильтрами зо сведены в таблицу , где в относительных единицах даны величины светового потока, замер нные в п тнадцати точках на поверхности экрана.
Из таблицы видно , что даже при симметричном распределении светового потока установки фотоэкспонировани  коррекци  лучше обеспечиваетс  светофильтром, полученным по предлагаемому способу. А при несимметричной индикатрисе излучени  световода коррекци  обеспечиваетс  только светофильтром , изготовленным по предлагаемой технологии(см. графу отклонени  реальной освещенности от требуемой).
Применение предлагаемого способа изготовлени  светопоглощающего покрыти  обеспечивает по сравнению с известным следующие преимущества: возможность изготовлени  несимметричных светофильтров сложной конфигурации; простоту технологии.
Технологическа  простота позвол ет реализовать его на любой установке вакуумного напылени .
Изготовленные по предлагаемому способу светопоглощающие покрыти  дл  корректировки светового потока на установках экспонировани  дают возможность наладить серийный выпуск экранов цветных кинескопов 25Ж2Ц и улучшить качество экранов кинескопов 61ЛКЗЦ.
9100521210

Claims (2)

1. Способ изготовлени  светофильт-
2. Способ по п.1 , о т л и ч а юров дл  коррекции освещенности при щ и и с   тем, что напыление и пеэкспонировании экранов цветных кине- 5 репыление пленки осуществл ют со скопов, заключающийс  в вакуумном скоростью А/С, напылении пленки хрома на промежу-Источники информации ,
точный испаритель и перепылении плен- прин тые во внимание при экспертизе ки на,кварцевую подложку светофильт- 1. Малкиель В. С. Современное со
ра, отличающийс  тем, сто ние и пути улучшени  качества
что с целью повышени  качества цвет-цветных кинескопов. Зарубежна  элек
ных кинескопов, напылен,ие пленки осу-1тронна  техника, |19(), 1976,
ществл ют на промежуточный испари-стр. . тель прогретый до С и под- 2, Патент США ff , ложку, нагретую до , причем кл. 117-215 i опублик. 1968 (прототип).
испаритель производ т через трафарет,
SU813250383A 1981-04-25 1981-04-25 Способ изготовлени светофильтров дл коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов SU1005212A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813250383A SU1005212A1 (ru) 1981-04-25 1981-04-25 Способ изготовлени светофильтров дл коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813250383A SU1005212A1 (ru) 1981-04-25 1981-04-25 Способ изготовлени светофильтров дл коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1005212A1 true SU1005212A1 (ru) 1983-03-15

Family

ID=20943894

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813250383A SU1005212A1 (ru) 1981-04-25 1981-04-25 Способ изготовлени светофильтров дл коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1005212A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6345579B2 (ru)
DE3742204C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer korrosionsfesten, weitgehend absorptionsfreien Schicht auf der Oberfläche eines Werkstücks
SU1005212A1 (ru) Способ изготовлени светофильтров дл коррекции освещенности при экспонировании экранов цветных кинескопов
US2431923A (en) Photographic record and method of forming same
CA1056658A (en) Method of vapor deposition
JP3259914B2 (ja) 干渉膜形成用網目フィルタの製造方法及び干渉膜形成装置
CN1233525C (zh) 在玻璃和玻璃制品表面形成精细图案的方法
US3986069A (en) Color stripe filter with two protective layers
US5556664A (en) Method of forming a phosphor screen
SU1709425A1 (ru) Способ изготовлени светофильтра дл коррекции освещенности при фотоэкспонировании экранов цветных электронно-лучевых трубок
RU1793406C (ru) Способ нанесени просветл ющего покрыти
DE4314251C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Aufdampfen absorbierender dünner Schichten auf ein Substrat
CN1169183C (zh) 改进对比度的彩色阴极射线管
JPS5916973A (ja) 多層光学膜の形成方法
JPS6052571A (ja) パタ−ン形成方法
KR930006884B1 (ko) 칼라수상관 노광장치의 광량 보정필터 제조방법
SU1647505A1 (ru) Способ получени электрофотографического носител
JP2008158345A (ja) 光学フィルターの製造方法
JPS58209035A (ja) 螢光面のフイルミング方法
CN116791055A (zh) 一种自动监测膜厚镀膜设备及工艺
JPH0413682B2 (ru)
DE2460827B2 (de) Verfahren zum Herstellen einer dielektrischen Schicht über einer Metallisierungsschicht
JP2727540B2 (ja) 光学的膜厚制御装置
CA1054973A (en) Sputter-coating of glass sheets or other substrates
JPS5935496B2 (ja) 露光装置用補正フイルタの製造方法