SU1004791A1

SU1004791A1 - Method of checking gas-tightness of gas transmission systems

Info

Publication number: SU1004791A1
Application number: SU792808427A
Authority: SU
Inventors: Борис Михайлович Васильев; Олег Федорович Огурцов; Виктор Андреевич Терешонков; Николай Антонович Кондруцкий
Original assignee: Предприятие П/Я В-2892
Priority date: 1979-08-09
Filing date: 1979-08-09
Publication date: 1983-03-15

Description

(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ СИСТЕМ (54) METHOD FOR TESTING SYSTEMS

1one

Изобретение относитс к технике испытаний на герметичность систем передачи газов высокой степени чистоты , преимущественно в производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.This invention relates to a leak testing technique for high purity gas transmission systems, primarily in the manufacture of semiconductor devices and integrated circuits.

Известен способ обнаружени утечек в вакуумных системах по проникновению контрольного вещества из окружающей среды в систему и сорбированию его индикатором 1.There is a known method for detecting leaks in vacuum systems by penetrating the control substance from the environment into the system and sorbing it with indicator 1.

Этот способ не позвол ет производить количественнуюоценку течи.This method does not allow a quantitative assessment of the leak.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс способ определени утечки в системе трубопроводов, заключающийс в том, что из потоков газа в трубопроводах отбирают пробы и исследуют их на наличие контрольного газообразного вещества, окружающего систему 2.Closest to the proposed technical entity is a method for determining leakage in a piping system, which consists in taking samples from gas streams in pipelines and examining them for the presence of a control gaseous substance surrounding system 2.

Этот способ также не позвол ет количественно оценить герметичность ПЕРЕДАЧИ ГАЗОВThis method also does not allow to quantify the tightness of the transfer of gases

системы без .нарушени хода технологического процесса.systems without disturbing the process flow.

Целью изобретени вл етс обеспечение возможности количественной оценки герметичности системы без нарушени хода технологического процесса . .The aim of the invention is to make it possible to quantify the tightness of the system without disrupting the process. .

Эта цель достигаетс тем, что согласно способу контрол герметичнос10 ти систем передачи газов, включающему операцию определени наличи в транспортируемом газе контрольного газообразного вещества, окружающего систему, измер ют концентрации конт15 рольного вещества на входе и выходе системы и расход транспортируемого газа и по этим данным определ ют степень герметичности.This goal is achieved in that according to the method of monitoring the tightness of the gas transmission systems, including the operation of determining the presence of a control gaseous substance surrounding the system in the transported gas, the concentrations of the control substance at the system inlet and outlet and the flow rate of the transported gas are measured degree of tightness.

2020

Произведение изменени концентрации контрольного газа на величину расхода транспортируемого газа характеризует скорость изменени количества контрольного вещества в системе, т.е. величину натекани . В качестве контрольного вещества могут быть использованы компоненты атмосферного воздуха, например, пары воды или кислород, не вход щие в состав транспортируемого газа. Формирование электрических сигналов, пропорциональных измер емым величинам, позвол ет автоматизировать способ. The product of the change in the concentration of the control gas by the flow rate of the gas being transported characterizes the rate of change in the amount of the control substance in the system, i.e. the amount of leakage. As a control substance, components of atmospheric air can be used, for example, water vapor or oxygen that are not part of the transported gas. The generation of electrical signals proportional to the measured values allows one to automate the method.

Способ осуществл етс следующим образом.The method is carried out as follows.

Например, при контроле герметичности газовой системы диффузионной печи, предназначенной дл транспортировки высокочастотных газов, осушенных до -б5 С по точке росы, измер ют концентрацию влаги на входе и выходе системы с помощью кунолометрических преобразователей с точноетью до 1-10 об.. Расход газа в системе измер ют с помощью термоанемометрического преобразовател расхода. В диапазоне расходов газа 18-36 л/ч регистрируема величина натекани составл ет П, мг/миFor example, when monitoring the tightness of a gas system in a diffusion furnace designed to transport high-frequency gases dried to -5 ° C at the dew point, the moisture concentration at the inlet and outlet of the system is measured using cunolometric converters with an accuracy of up to 1-10 vol. The system is measured using a thermo-anemometric flow converter. In the range of gas flow rates of 18-36 l / h, the recorded amount of leakage is P, mg / m

Использование предложенного способа позвол ет контролировать с высокой чувствительностью без прерывани технологического процесса количество проникающих в систему газообразных примесей и тем самым предотвратить брак при проведении таких процессов как диффузи , эпитакси , плазмохими .Using the proposed method makes it possible to control with high sensitivity without interrupting the technological process the amount of gaseous impurities penetrating into the system and thereby prevent marriage during such processes as diffusion, epitaxy, plasma chemistry.

Claims

1. The patent of England No. 142920-t, cl. G 1 N, pub. 1976.

2. The patent of Germany No. 1573799, cl. G 01 M 3/20, published. (prototype).