SU1323888A1

SU1323888A1 - Method of gauging gas-fired furnaces

Info

Publication number: SU1323888A1
Application number: SU864069039A
Authority: SU
Inventors: Борис Александрович Трегуб; Борис Васильевич Фадеев; Олег Анисимович Шелест; Владимир Альбертович Скудра
Original assignee: Предприятие П/Я В-8597
Priority date: 1986-02-26
Filing date: 1986-02-26
Publication date: 1987-07-15

Abstract

Изобретение относитс к области измерени малых потоков газа и позвол ет обеспечить расширение диапазона калибруемых течей и повышение точности измерении путем создани газовых потоков с малыми эталонными концентраци ми пробного газа и поддержание одинаковой газовой нагрузки на течеискатель при подаче пробного газа в него. В масс-спектрометрический течеискатель 8 подают равные потоки пробного газа от калибруемой течи 9 и от натекате- л 2. Эталонный поток через натекатель 2 создают из смеси пробного газа с технологически заданной концентрацией. Газовую нагрузку на течеискатель 8 при подаче потока от калибруемой течи 9 поддерживают равной газовой нагрузке от эталонного потока с помощью вентил -натекател 12. 1 ил. 7/ 8 СП V 00 ю оо сх 00 СХ5The invention relates to the field of measuring small gas flows and allows for expanding the range of calibrated leaks and improving measurement accuracy by creating gas streams with low reference concentrations of the test gas and maintaining the same gas load on the leak detector when the test gas is supplied to it. An equal flow of test gas from the calibrated leak 9 and leakage switch 2 is fed into the mass spectrometric leak detector 8. The reference flow through the leak detector 2 is created from a mixture of test gas with a technologically specified concentration. The gas load on the leak detector 8 when the flow from the calibrated leak 9 is maintained is equal to the gas load from the reference flow by means of a valve 12. 1 sludge. 7/8 SP V 00 y oo cx 00 CX5

Description

Изобретение относитс к измерительной технике, а именно к области измерени малых потоков газа при калибровке контрольных течей, используемых при контроле герметичности .The invention relates to a measurement technique, in particular to the field of measuring small gas flows during calibration of test leaks used in leak testing.

Целью изобретени вл етс расширение диапазона калибруемых течей и повышение точности путем обеспечени возможности создани газовых потоков с малыми эталон- концентраци ми пробного газа и поддержани одинаковой газовой нагрузки на течеискателе при подаче пробного газа в него.The aim of the invention is to expand the range of calibrated leaks and improve accuracy by allowing the creation of gas streams with low reference sample concentrations of gas and maintaining the same gas load on the leak detector when the sample gas is supplied to it.

На чертеже приведена схема устройства дл осуществлени способа.The drawing shows a diagram of an apparatus for carrying out the method.

Устройство состоит из .мановакуумет- ра 1, установленного на входе натекател 2. Трехходовой клапан 3 соединен с выходом натекател 2, с входом клапана 4 и одним коленом трубки масл ного дифференциального манометра 5, другое колено трубки которого соединено с входом клапана 6. Один конец трубопровода 7 соединен с масс- спектрометрическим течеискателем 8, другой - с выходами клапанов 4 и 6. Калибруема течь 9 соединена с входом клапана 10, выход которого соединен с трубопроводом 7. Вакуумный датчик 11, вентиль-натекатель 12 и клапан 13 соединены с трубопроводом 7.The device consists of a manometer 1 installed at the inlet of the choke 2. A three-way valve 3 is connected to the outlet of the nozzle 2, to the input of the valve 4 and one bend of the oil differential pressure gauge 5, the other bend of the tube of which is connected to the input of the valve 6. One end pipeline 7 is connected to a mass spectrometry leak detector 8, the other is connected to the outlets of valves 4 and 6. Calibrated leak 9 is connected to the inlet of valve 10, the outlet of which is connected to pipe 7. Vacuum sensor 11, leak valve 12 and valve 13 are connected to pipes wire 7.

Способ калибровки газовых течей осуществл етс следующим образом.The method for calibrating gas leaks is as follows.

В устройство устанавливают калибруемую течь 9, открывают клапан 10, подают поток пробного раза в течеискатель 8 от калибруемой течи 9 и измер ют показани по течеискателю 8. Затем закрЕ,1вают клапан 10, открывают клапан 4, с помощью трехходового клапана 3 и через патекатель 2 подают в течеискатель 8 поток эталонной смеси газа , равный по величине потоку газа от калибруемой течи 9.A calibrated leak 9 is installed in the device, the valve 10 is opened, test flow is supplied to the leak detector 8 from the calibrated leak 9 and the readings from the leak detector 8 are measured. Then close valve 10, insert valve 10, open valve 4, use three-way valve 3 and through the pathator 2 served in the leak detector 8, the flow of the reference gas mixture, equal in magnitude to the flow of gas from the calibrated leak 9.

Величину потока эталонной смеси газа с известным содержанием пробного газа определ ют , например, накопителем в известном объеме и измерением возрастани давлени масл ным дифференциальным манометром 5. Мала концентраци пробного газа в относительно большом потоке эталонной смеси газа в пределах 10 S...10 Вт (10-2...The magnitude of the flow of the reference gas mixture with a known content of the test gas is determined, for example, by a storage tank in a known volume and by measuring the increase in pressure by an oil differential pressure gauge 5. A small concentration of test gas in a relatively large flow of the reference gas mixture within 10 S ... 10 W ( 10-2 ...

... 10 л. мкм рт. ст./с) обеспечивает сравнение с потоком газа от калибруемой течи 9 относительно малой величины в пределах 10 ... ...10- Вт (10-..10-3л.мкмрт. ст./с). Выравнивание газовой нагрузки на масс-спектрометре течеискател 8 при раздельной регистрации потока пробного газа калибруемой течи 9 и эталонной смеси газа осуществл етс вентилем-натекателем 12. Конп троль величины газовой нагрузки осуществл етс с помощью вакуумного датчика 11. Контрольные течи с потоками газа в пределах 10-6...10-2 Вт (10-2...102 л.мкмрт. ст./с) сравниваютс с эталонными потоками газа 100%-ной концентрации.... 10 l. μm Hg Art./sec. provides a comparison with a gas flow from a calibrated leak 9 of relatively small magnitude within 10 ... ... 10-W (10 - 10.3l.m.mrt. Art./s). The gas load on the mass spectrometer of the leak detector 8 is equalized by separately registering the flow of test gas of the calibrated leak 9 and the reference gas mixture is carried out by a leak valve 12. The gas load is compressed using a vacuum sensor 11. Test leaks with gas flows within 10 -6 ... 10-2 W (10-2 ... 102 l.mkrt. St. / S) are compared with reference gas flows of 100% concentration.

5 Различные концентрации пробного газа в эталонной смеси газа могут быть получены с точностью 1...2%.5 Different concentrations of test gas in the reference gas mixture can be obtained with an accuracy of 1 ... 2%.

Поток газа калибруемой течи Q определ ют по формулеThe gas flow of the calibrated leak Q is determined by the formula

QT QM Вт (л. мкм рт. ст./с),QT QM W (l. Micron mercury. / S),

где Qjj - эталонный поток контрольного газа , Вт;where Qjj is the reference flow of the control gas, W;

С - концентраци пробного газа в эталонной смеси, %.C is the concentration of the sample gas in the reference mixture,%.

Применение предлагаемого способа не требует наличи сложных установок дл калибровки газовых течей.The application of the proposed method does not require complex installations for the calibration of gas leaks.

Claims

Invention Formula

The method of calibration of gas leaks, which consists in that a sample gas stream from the calibrated gas is alternately fed into the mass spectrometer measuring chamber of the leak detector.

and the reference sample gas flow, measures the signals on the leak detector and determines the magnitude of the leak being calibrated by comparing them, characterized in that, in order to broaden the range of calibrated leaks and improve accuracy, the flow of the test gas from the leak being calibrated is created from c. The sample gas is mixed with the process gas and is fed into the mass spectrometry chamber as part of this mixture, the value of this sample gas flow is chosen equal to the value of the reference flow, and when the sample gas flows, the same gas load is maintained on those cheerese.