SU1003004A1 - Оптико-интегрирующее устройство - Google Patents
Оптико-интегрирующее устройство Download PDFInfo
- Publication number
- SU1003004A1 SU1003004A1 SU797770573A SU7770573A SU1003004A1 SU 1003004 A1 SU1003004 A1 SU 1003004A1 SU 797770573 A SU797770573 A SU 797770573A SU 7770573 A SU7770573 A SU 7770573A SU 1003004 A1 SU1003004 A1 SU 1003004A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- waveguide
- photodetectors
- modes
- optical
- arrangement
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12004—Combinations of two or more optical elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к оптикоинтегрирующим устройствам дл инкрег ментного измерени длины или углов.
Известно оптико-интегрирующее j устройство дл интерференционного измерени . При этом падак ций луч света внутри сло волновода первым частично пропускающим элементом разлагаетс на две составл ющие, кото- Q рые провод тс через рефлектирующие элементы в месте, у которого нахо- . дитс второй.частично пропускающий элемент, предназначаемый дл собирани обеих составл ющих луча и даю- с щего возможность дл интерференции.
Изготовление подобного устройства с необходимой определенной точностью отражаемых и пропускаемых свойств отдельных элементов возможно реали- 20 зовать только с большими затратами. Кроме того, дл функционировани измерительного прибора решающим вл етс относительное положение отражающих элементов по отношению к час- 25 тично пропускающим элементам. Из этого результируют технологические трудности.
Цель изобретени - разработка оптико-интегрирующего устройства зО
дл интерференционного измерени , которое обладало бы по отношению к макрооптическим исполнени м преимуг ществом малой габаритности конструкции , низкими затратами на изготовление , Мс1лой чувствительностью по отношению к температур 1м и вибраци м и незначительным расходом энергии.
В основу изобретени положена задача путем применени оптико-интегрирующего устройства устранить названные -недостатки уровн техники. Прибор должен примен тьс универсально дл измерени длины, углов, изменений температур и т.п.
Данна задача согласно изобретению решаетс оптико-интегрирующим устройством, состо щим из наход щегос между носителем и диэлектрическим слоем многомодного волновода тем, что на диэлектрическом слое энергетически соединен с волноводом р д фотоприемников 7-16, смещенных эдин относительно другого на 11/20 А
Согласно изобретению преимущество состоит в том, что к первому |фотоприемнику 7 р да фотоприемников ;7-16 может быть установлен следующип
фотоприсмник, смещенный на четверть интерференционного периода.
На чертеже изображены возможные варианты исполнени устройства.
На носителе 1 находитс двухмодный волновод 2, покрытый .диэлектри .ческим слоем 3, эффективна оптическа преломл юща .сила которого вл :етс меньшей, чем у волновода. На одном конце волновода находитс св зывающа решетка 4. Первый лазерный пучок 5, содержащий волну типа ТЕд, падает под синхронным углом дл данной волны на св зывак цую решетку 4, так что волна типа ТЕр в волноводе 2 возбуждаетс .. Второй лазерный пучок б, с.одержащий волну типа ТЕ , направл етс под синхронным углом, присущим дл данной волны, на св зывающую решетку 4. В волноводе 2 возбуждаетс одновременно волна типа ТЕ.Волновод 2 должен обладать такими свойствами, чтобы эффективные коэффициенты преломлени дл волны типа ТЕд и волны типа ТЕ только незначительно отличались друг от друга .
В качестве примера могут быть приведены следующие значени
ТЕ,
Эфф,
эФФ
вл етс эффективным поп
Эфф казателем преломлени по направлению распространени энергии;
Чволновое число по направлению ; k
волновое число лазерного света;
4k-, разница волновых чисел по направлению.
сли значени 1 различаютс на 57, то в волноводе образуетс рференционный образец, обладаюпо направлению z периодом мкм
2Ji
г-На поверхности волновода на рассто нии по 420 мкм установлены узкие св зывающие решетки шириной rJ 20 мкм. Данные решетки (не изображены на чертеже ) обладают низкой эффективностью вывода мощности. Отбираема
этими решетками энерги поступает на фотодиоды 7-16, которые наклеены на диэлектрический слой 3. На основании бокового смещени фотодиодов по отношению к максимуму интенсивности регистрируема интенсивность посто нно падает в приведенном примере по направлению z . Если лазерный пучок 5 и лазерный пучок б формируютс пор дком + 1 и - 1 дифракционного максимума спек.тра облученного масштаба решетки, то интерференционный полосовой рисунок перемещаетс в волноводе по направлению z на 2Л если измерительна решетка будет сдвинута на один решеточный период. С помощью первого фотоприемника 7 производитс .инкрементное считывание в единицах полупериода измерительной решетки. Фотоприемники 7-16, смещенные относительно друг друга на 11/207. , образуют в своей- совокупности оптический нониус, так что за единицу измерени можно будет принимать 1/20 периода измерительной решетки. Если р дом с первым фотоприемником 7 будет установлен не изображенный на рисунке последующий фотоприемник, который смещен отноА
сительно первого на
то можно
4 .
будет различать перемещение измерительной решетки вперед и назад. Изображенные в волноводе линии представл ют собой схематическое распределение интенсивности.
Claims (1)
1.Оптико-интегрирующее -устройст40 во, состо щее иэ наход щегос между
носителем и диэлектрическим слоем многомодного волновода, отличающеес тем, что на диэлектрическом слое р д фотоприемников 45 7-16, смещенных один относительно ;.. другого соответственно на 11/20 Л , св заны энергетически с волноводом,
2,Устройство по п. 1, отличающеес тем, что к первому
5Q фотоприемнику 7 р да фотоприемников 7-16 .установлен следующий фотоприемник , смещенный на четверть интерференционного , периода.
Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной
Ведомством по изобретательству Германской Демократической Республики ,
7 S 9 Л // Л fJ 74f ff fff „ X
fa
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DD20570678A DD137022B1 (de) | 1978-06-01 | 1978-06-01 | Integriert-optische Anordnung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1003004A1 true SU1003004A1 (ru) | 1983-03-07 |
Family
ID=5512863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU797770573A SU1003004A1 (ru) | 1978-06-01 | 1979-05-16 | Оптико-интегрирующее устройство |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4324492A (ru) |
DD (1) | DD137022B1 (ru) |
SU (1) | SU1003004A1 (ru) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2613826B1 (fr) * | 1987-04-07 | 1990-10-26 | Commissariat Energie Atomique | Capteur de deplacement en optique integree |
EP1221581A1 (en) * | 2001-01-04 | 2002-07-10 | Universität Stuttgart | Interferometer |
US6856733B2 (en) * | 2001-12-07 | 2005-02-15 | Intel Corporation | 1xN fanout waveguide photodetector |
US9267891B2 (en) * | 2011-06-06 | 2016-02-23 | The Regents Of The University Of California | Multiplex fluorescent particle detection using spatially distributed excitation |
WO2013162528A1 (en) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Analyzing light by mode interference |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3560724A (en) * | 1968-08-19 | 1971-02-02 | Us Navy | Optical correlators |
US3674335A (en) * | 1970-05-25 | 1972-07-04 | Bell Telephone Labor Inc | Light wave coupling into thin film light guides |
-
1978
- 1978-06-01 DD DD20570678A patent/DD137022B1/de active IP Right Grant
-
1979
- 1979-05-16 SU SU797770573A patent/SU1003004A1/ru active
- 1979-05-21 US US06/040,935 patent/US4324492A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DD137022A1 (de) | 1979-08-08 |
DD137022B1 (de) | 1981-07-29 |
US4324492A (en) | 1982-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0390092B1 (en) | Encoder | |
CN101825432B (zh) | 双波长光纤干涉大量程高分辨率位移测量系统 | |
EP0311144A3 (en) | Optical instrument for measuring displacement | |
US5481106A (en) | Encoder with an optical scale and interference of zero and first order diffraction beams | |
CN102818531B (zh) | 一种基于重叠多光栅的动态应变测量仪 | |
JPS63153408A (ja) | 相対変位測定装置 | |
CN101881634A (zh) | 基于awg的高速多通道光纤光栅传感解调系统及方法 | |
CN100350219C (zh) | 基于长周期光纤光栅对传感器的复用和解调方法及其设备 | |
US6940601B2 (en) | Method and apparatus for estimating chromatic dispersion in fibre bragg gratings | |
SU1003004A1 (ru) | Оптико-интегрирующее устройство | |
JPS63231217A (ja) | 移動量測定装置 | |
JPS6023282B2 (ja) | 相対変位測定装置 | |
JP3030905B2 (ja) | 定点検出装置 | |
GB2055193A (en) | Measuring optical interference | |
CN112649914A (zh) | 基于飞秒激光相位掩模法制备倾斜蓝宝石光纤光栅的方法 | |
Mashev et al. | Formation of blazed holographic gratings | |
JPH07113583B2 (ja) | ファブリーペロー干渉計を用いた広波長域同時測定型分光器 | |
JP2603338B2 (ja) | 変位測定装置 | |
SU1350489A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений объектов | |
CN117073731B (zh) | 基于长周期光纤光栅的光纤迈克尔逊干涉装置及制备方法 | |
SU1527612A1 (ru) | Устройство дл оптической регистрации величины смещени дифракционной решетки | |
SU949336A1 (ru) | Устройство дл измерени пр молинейности поверхностей | |
SU1392357A1 (ru) | Интерферометрический датчик дл измерени угла поворота объектов | |
RU176011U1 (ru) | Оптическая схема ультрапрецизионного голографического датчика линейных перемещений с управляемым фазовым модулятором | |
SU1525662A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений |