SE537250C2 - Optisk halvledarförstärkare - Google Patents

Abstract

537 2 Sammandrag En optisk halvledarforstarkare (S0A), som är monolitiskt integrerad med en Mach-Zehndermodulator. Uppfinningen utmarks av att en eller flera terminalingangsvagledare (1) är anslutna till en optisk splitter (2), s5som en splitter av Y-grenstyp, en riktningskopplare eller en 1xN eller NxN multimodinterferens-MMI, som är anordnad att dela upp ljuset genom tv5 eller flera utg5ngsv5gledare, av att 5tminstone tv5 av splitterns terminalutg5ngsv5gledare (3,4) an- vands for att bilda en Mach-Zehnderinterferometermodulator, dar 5tminstone en arm hos interferometern har en fasmoduleringselektrod (7,8) och av att ett enda elektriskt anslutningsorgan (10) är anordnat att ansluta en gemensam spanning samtidigt till en respektive vald del (11) av vane arm eller respektive valda delar (12-15) av vane arm hos vAgledarna (1-6), som är anordnade efter splittern (2), men fore fasmoduleringselektroderna, eller al- ternativt att rthmnda enda elektriska anslutningsorgan är anordnat att ansluta namnda spanning till en vald del (13) av terminalingAngsvAgledaren (1), som är ansluten till namnda splitter och till en eller flera valda delar (11) av en eller !Ada av namnda armar efter splittern (2), men fore fasmoduleringselektroderna, till att medfora forstarkning eller minskade optiska forluster.

Description

537 2 Optisk halvledarforstarkare Foreliggande uppfinning hanfor sig till en optisk halvledarforstarkare.

Det Jr fordelaktigt att utrusta opto-elektroniska kretsar med organ for att justera signalin- tensiteten inom kretsen och/eller vid utgangen fra'n kretsen. En formAga att kunna justera effekten Jr anvandbar for att kompensera antingen for oonskade optiska forluster i kretsen, for att kompensera for 5Idrande av den optiska Ulan eller de optiska kallorna inom eller utanfor kretsen, och/eller for att justera uteffektniv5n for kretsen.

En metod for att majliggiira justeringar av styrkan has en optisk signal inom eller vid utg5ngen for en optisk krets, Jr att anordna en optisk halvledarforstarkare (SOA) n5gonstans langs med en ljusbana inom eller vid utgAngen hos den optiska kretsen. Detta angreppssatt kan anvandas i optiska kretsar som innefattar en sammansattning av diskreta kompo- nenter, en hybridenhet, som kombinerar diskreta och monolitiskt integrerade delar, eller en helt monolitiskt integrerad optisk krets.

Foreliggande uppfinning hanfor sig till den speciella tillampningen fOrstarkning av ljus fore inmatningen av ljus in i en optisk modulator eller omstallare av Mach-Zehndertyp (MZ) och mer specifikt till fallet dar en SOA Jr monolitiskt integrerad med en Mach-Zehndermo- dulator. Tidigare fackman har placerat en SOA antingen Wigs med den terminalv5gledare, som leder till modulatorns ingang, eller placerat en SOA i varje arm has en modulator eller omkopplare av MZ-typ.

SOA:s som är konfigurerade p5 dessa satt kan 5stadkomma de allmanna fordelar for den optiska kretsen, som foljer av optisk effektjustering, s5som beskrivits tidigare. I den sarskilda konfiguration, i vilken en SOA Jr placerad i varje arm has en MZ-modulator Jr det cla majligt att justera forstarkningen for varje SOA och armed justera effektforh5llandet mellan MZ-interferometerns tv5 grenar. Det har visat sig att en ojamn ingAngseffektfOr- delning in i armarna has MZ:n kan vara fordelaktigt for overforingsprestanda over fiber. 1 537 2 Placeringen av en SOA fore en Mach-Zehnder, eller placeringen av en SOA i varje arm hos en Mach-Zehnder, ger emellertid upphov till vissa nackdelar.

For det forsta akar tillsatsen av antingen en SOA fore en Mach Zehnder eller av en SOA i varje arm hos en Mach-Zehnder den optiska kretsens storlek.

For det andra kan placeringen av en SOA fore en MZ forsamra kretsens funktion, eftersom spontanemissionbrus, som alstras inom SOA:n kan na andra delar av den optiska kretsen, i synnerhet i de fall da SOA:n och MZ:n exempelvis är integrerade med en laser.

Placeringen av en SOA i varje arm hos en Mach-Zehnderinterferometer mojliggor justering av effektforhallandet i de tv5 armarna. Men om den respektive forspanningen, som maste tillforas till de tv5 SOA:s är olika, medfor uppstallda krav pa att kretsen delar forspanningsstrommen olika mellan de tva SOA:s eller pa anvandningen av en extra stromkalla sa att varje SOA kan vara forspand p5 ett oberoende satt, ytterligare kostnader for montering och delar, och kan ocksa aka den totala storleken for och effektforlusten i kretsen.

Uppfinningen som beskrivs har antingen eliminerar eller minskar konsekvenserna av alla nackdelar som beskrivits har.

Foreliggande uppfinning hanfor sig saledes till en optisk halvledarforstarkare (SOA), som är monolitiskt integrerad med en Mach-Zehndermodulator, dar en eller flera terminalingangsvagledare är anslutna till en optisk splitter, sasom en splitter av Y-grenstyp, en riktningskopplare eller en 1xN eller NxN multimodinterferens-MMI, som är anordnad att dela upp ljuset genom tv5 eller flera utgangsvagledare, dar atminstone tv5 av splitterns termi- nalutgangsvagledare anvands for att bilda en Mach-Zehnderinterferometermodulator, dar atminstone en arm hos interferometern har en fasmoduleringselektrod och dar ett elektriskt anslutningsorgan forefinns efter splittern, men fore fasmoduleringselektroden och utmarkes av att ett enda elektriskt anslutningsorgan är anordnat att ansluta en gemensam spanning samtidigt till en respektive vald del av varje arm eller respektive valda delar av varje arm has vagledarna, som är anordnade efter splittern, men fore fasmoduleringselek- 2 537 2 troderna eller alternativt att namnda enda elektriska anslutningsorgan är anordnat att ansluta namnda spanning till en vald del av terminalingAngsvAgledaren, som är ansluten till namnda splitter och till en eller flera valda delar av en eller !Ada av namnda armar efter splittern, men fore fasmoduleringselektroderna, till att medfora forstarkning eller mins- kade optiska forluster.

Uppfinningen beskrivs narmare i det foljande, delvis i samband med olika exemplifierande utforingsformer som visas i de bifogade ritningarna, vani Figur 1 är en ritning som illustrerar principen for foreliggande uppfinning - Figurerna 2 - 9 visar olika utforingsformer av foreliggande uppfinning Figur 10 är ett diagram.

Uppfinningen hanfor sig till monolitiskt integrerade opto-elektroniska kretsar och mer specifikt till en SOA, som är monolitiskt integrerad med en Mach-Zehndermodulator. Figur 1 illustrerar de grundlaggande elementen i en optisk splitter, som kan anyandas vid in- gAngsterminalen hos en Mach-Zehnderinterferometer.

I figur 1 betecknar hanvisningssiffran 1 en terminalingAngsvAgledare, hanvisningssiffran 2 betecknar en splitter, 3 och 4 betecknar terminalutgangsvagledare, 5 och 6 betecknar de respektive armarna hos en Mach-Zehnderinterferometer, 7 och 8 betecknar fasmodule- ringssektioner, 9 betecknar en kombinator och 16 betecknar en optisk fasjusteringssektion.

Enligt uppfinningen är en eller flera ingAngsvAgledare 1 anslutna till en optisk splitter 2, sAsom en splitter av Y-grenstyp, en riktningskopplare eller en 1xN eller NxN multimodsin- terferens-MMI, som är anordnad att dela upp ljuset genom tv5 eller flera utgAngsvAgledare 3, 4. Minst tva av splitterns utgangsvagledare 3, 4 anyands for att bilda en MachZehnderinterferometermodulator med tv5 armar 5, 6, dar Atminstone en av de tv5 armarna har en fasmoduleringselektrod 7, 8. En optisk halvledarforstarkare (S0A) är monolitiskt integrerad med Mach-Zehndermodulatorn. 3 537 2 Ett enda elektriskt anslutningsorgan 10 är anordnat att ansluta en gemensam spanning till en vald del eller valda delar 11, 12 av en eller flera av de vagledare, som är anordnade efter splittern, men fore fasmoduleringselektroden eller fasmoduleringselektroderna 7, 8, eller alternativt att sagda enda elektriska anslutningsorgan är anordnat att ansluta namn- da spanning till en vald del 13 av terminalingangsvagledaren 1, som är ansluten till namn- da splitter och till en eller flera valda delar 11 av en eller !pada av namnda armar efter splittern 2, men fore fasmoduleringselektroderna i syfte att medfora forstarkning eller minskade optiska %duster.

Enligt en utforingsform innefattar namnda valda del eller delar splittern 2.

Enligt en annan utforingsform innefattar sagda valda del eller delar ingangs- eller terminalutgangsvagledaren eller -vagledarna 3, 4 has splittern.

Enligt en ytterligare utforingsform innefattar sagda valda del eller delar en eller tva av namnda tva armar has Mach-Zehndermodulatorn.

Namnda utforingsformer kan kombineras. Detta illustreras i figurerna 2 - 9. I alla figurer anvands samma hanvisningsbeteckningar for att beteckna samma eller motsvarande element.

I figur 2 är de valda delarna 11, 12 belagna i terminalutgangsvagledarna 3, 4.

De valda delarna innefattar ett skikt av elektriskt ledande material.

I figur 3 innefattar de valda delarna 11, 12 ocksa en del av splittern.

I figur 4 innefattar de valda delarna ocksa en del 13 av terminalingangsvagledaren, men inte splittern. 4 537 2 I figur 5 innefattar de valda delarna terminaling5ngsv5gledaren s5val som terminalutgAngsvAgledarna och splittern.

S5som visas i figurerna 2 - 5 har de valda delarna i de respektive terminalutg5ngsv5gledar- na olika langder.

I figur 6 innefattar de valda delarna 11, 12 delar 14, 15 av b5da av namnda armar.

I figur 7 innefattar de valda delarna 11, 12 b5da terminaling5ngsv5gledarna och en del av endast en av namnda armar.

I figur 8 innefattar de valda delarna 11, 13 b5da sagda terminaling5ngsv5gledare och en del 15 av en av sagda terminalutengsv5gledare.

I fig. 9 innefattar de valda delarna olika lAnga delar av namnda armar.

Det är uppenbart att m5nga kombinationer kan goras av de namnda valda delarna. Fackmannen inom omrAdet har ingen svArighet att foresI5 andra kombinationer an de som visas i de bifogade figurerna.

Enligt en foredragen utforingsform är forstarkar-SOA:n anordnad s5 att terminalutg5ngsvagledarna 3, 4 forstarks olika mycket.

I alla de utforingsformer som illustreras i figurerna 2 - 9 har de valda delarna olika storlek, s5 att effekten som matas in i de tv5 fasmoduleringssektionerna hos namnda armar kom- mer att vara vasentligen olika.

Enligt uppfinningen är en eller flera ing5ngsv5gledare anslutna till en optisk splitter, som kan vara av Y-grentyp, en riktningskopplare eller en 1xN eller NxN multimodinteferens- MMI, som delar upp ljuset in i tva eller flera utgangsvAgledare. 537 2 I en foredragen utforingsform av uppfinningen är den sammanlagda langden hos forstarkningssektionerna i en forsta terminalutg5ngsv5gledare och i v5gledaren hos den MachZehnderarm, som är ansluten till denna forsta terminalutgAngsvAgledare vasentligen skild frAn den sammanlagda langden for forstarkningssektionerna i en andra terminalutg5ngs- vAgledare och i vAgledaren hos den Mach-Zehnderarm, som är ansluten till utgAngen has den andra terminalvagledaren.

I en annan utforingsform är langden has forstarkningssektionen i de tv5 terminalvAgledarna vid splitterns utg5ng eller i de armar, som kommer att bilda Mach-Zehnderinterferome- tern vasentligen lika, men ingAngseffekten in i fasmoduleringssektionen i en forsta arm hos interferometern kan bringas att vara vasentligen skild Iran ingangseffekten in i fasmoduleringssektionen i den andra armen, p5 grund av en eller en kombination av tv5 eller flera av foljande skillnader mellan delar av terminalutgAngsvAgledarna och/eller p5 grund av skillnader mellan de delar av interferometerns vagledare som foregar fasmodulerings- sektionerna, namligen en skillnad i optisk inneslutning eller vAgledarens bredd, en bredd- skillnad mellan de metall- eller halvledarskikt, som bildar det elektriska anslutningsorganet, en skillnad i terminalutgAngsvAgledarens bojningsforlust, en skillnad i passiva optiska forluster p5 grund av dopning eller implanteringar, en skillnad i parasitiska forluster p5 grund av narheten av metallkontakter eller en skillnad i forstarkning p5 grund av en skillnad i volym eller legeringskomposition has gainmaterialet.

I alla utforingsformer tillhandahalls en valfri fasjusterande sektion i en modulatorarm, som kan anyandas for att uppratth51Ia en onskad total fasskillnad mellan de tv5 armarna ifrAnvaro av hoghastighetsmodulering och som exempelvis kan anyandas for att kompensera for skillnader i fas mellan Mach-Zehnderarmarna nar SOA-strommen varieras. Tillsatsen av den fasjusterande sektionen kan mojliggora storre oberoende mellan valet av den forstarkning, som ges av SOA:n och valet av fasskillnad mellan armarna jamfort med fallet med att uppratthAlla en fast fasskillnad och en foranderlig utgAngseffekt med tv5 SOA:s som forspanns oberoende av varandra. Ett fasjusterande avsnitt är inte absolut nodvan- digt i samtliga fall, eftersom forandringar av Mach-Zehnderarmarnas likstromsforspanning I vissa fall kan vara tillrackliga for att mildra forandringar av fasskillnaden mellan interfero- 6 537 2 meterns armar, som kan uppst5 p5 grund av forandringar i SOA:ns forspanning. Den fasjusterande sektionen kan dessutom komma till nytta genom att den kan kompensera for oavsiktliga skillnader i optisk vaglangd, som uppst5r mellan armarna under tillverkningen.

Som exempel illustrerar figur 10 en berakning av effektforh5llandet vid intradet in i armar- na has en Mach-Zehnder i jamforelse med den totala forspanningsstrommen, som tillfors till en SOA, dar sagda SOA best5r av tv5 forstarkningssektioner, en forstarkningssektion med en langd av 200ptm i en forsta Mach-ZehndervAgledararm och 400 11M i den andra armen och dar de respektive 200pm och 400pm forstarkningssektionerna är samman- bundna med ett gemensamt elektriskt kontaktskikt. Ing5ngseffekten in i vane arm av Mach-Zehndern antas vara lika med 5,5 mW i den hogsta kurvan och 7,4 mW i den undre kurvan. Man kan se att effektforh5llandet mellan de b5da armarna varierar med ca 10% nar forspanningsstrommen till SOA:n varierar mellan 100 mA och 150 mA och att forh51- landet andras med ca 10% nar ineffekten okas med 30%. En sadan variation i uteffektfor- h5llandet är acceptabel for att mojliggora en overforingsprestanda med mindre an 1,5 dB lankdampning Over 90 km NDSF.

Eventuellt kan den optiska ineffekten till Mach-Zehndern och/eller forspanningen p5 SOAkontakten andras for att avsiktligt forandra effektforalandet i de tv5 armarna has Mach- Zehndern, i syfte att fininstalla den optiska signal-overforingen via fiber s5 att denna for- battras eller for att uppn5 andra fordelar vid drift av den optiska integrerade kretsen. S5- ledes kan den konfiguration som beskrivs i dessa utforingsformer ge en viss grad av avstambar effektdelning.

I ytterligare ett annat exempel p5 driften av chipet kan den optiska effekt, som matas in i ing5ngsv5gledaren has MZ:n och forspanningen som appliceras p5 den gemensamma SOA-kontakten Over MZ-armarna bade forandras p5 ett Adant satt att den totala summan av den optiska effekt som matas in i de tv5 armarna är konstant, men dar effektforh5llandet mellan de tv5 Mach-Zehnderarmarna andras. Detta forfarande for att andra anord- ningens installningar och samtidigt upprattala en konstant optisk uteffekt kan mojliggora 7 537 2 en justering av chipets utgAng for mer gynnsamma overforingsprestanda och/eller n5gon annan prestandavariabel eller livstidstillforlitlighetsfordel avseende den optiska kretsen.

Uppfinningen tillhandah5lIer ett antal fordelar.

For det forsta kommer anvandningen av en enda elektrisk kontakt for att uppn5 en ojamn forstarkning av ljus in i interferometerns tv5 grenar att minska kostnaden for och stone-ken hos kretsen i jamforelse med kretsar som kraver tv5 eller flera SOA-forspanningsstrommar.

For det andra kan den optiska kretsen forminskas i forhallande till tidigare kanda utforingsformer nar splittern (som best5r av terminaling5ngsv8gledaren, splittern och terminalutg5ngsv5gledarna) anvands for tv5 andam51, namligen 135de att dela och forstarka ljuset pa samma gang.

For det tredje, for det sarskilda fallet med en integration mellan SOA:n och Mach-Zehndern samt en laserkalla, är en ytterligare fordel med att placera SOA:n p5 det satt som fores15s i denna uppfinning, snarare an att placera SOA:n helt och hallet fore Mach-Zehndern, att eventuella optiska reflektioner fran splittern kan fa's att upptrada efter ett kor- tare avst5nd fr5n lasern och med begransad tv5passforstarkning. Reflektioner med redu- cerad amplitud och vid kortare ayst5nd Iran lasern, kan i vissa fall vara mindre skadliga for utsandningsegenskaperna for en laser som har utformats for att arbeta i franyaro av reflektioner.

I ett fjarde exempel, i jamforelse med placeringen av en SOA mellan en laserkalla och Mach-Zehndermodulatorn, kommer alla utforingsformer som innefattar n5gon del av den optiska forstarkningen inom terminalutgangsvagledarna hos Mach-Zehndermodulatorn eller i Mach-Zehndermodulatorns armar, att gynnas av en minskad verkningsgrad hos kopplingen av spontanemissionen fr5n SOA:n till andra delar av kretsen, eftersom det spontana brus, som alstras i varje arm är okorrelerat i fas med spontanemissionen i den andra armen och detta minskar storleken has namnda spontanemission frAn Mach-Zehn- 8 537 2 dermodulatorns armar in i den ovriga kretsen. Denna minskning av spontanemission kan gynna sidmodsundertryckningsforhAllandet for en enkelmodslaserkalla, som är integrerad med SOA:n och Mach-Zehndermodulatorn, till exempel. 1 konfigurationer dar SOA:n som beskrivs i denna uppfinning innefattar en del av sin langd som är anordnad fore splittern, och vissa delar av sin langd i terminalutgAngsvAgledarna eller vAgledararmar bortom split- tern, sasom visas i figurerna 4, 5, 10, 11, 12, kommer den bakat fardande ASE:n ocksa att minskas jamfort med fallet med en SOA med samma utformning betraffande forstarkningsv5gledaren som ligger helt och hAllet fore splittern, forutsatt ett givet varde for den totala forstarkningseffekten efter SOA:n. lett femte exempel leder den storre volymen av SOA-material till att kretsen drivs med reducerad stromtathet for en given mAluteffekt, vilket leder till drift med reducerad stromtathet och darfor storre forvantad lAngsiktig tillforlitlighet has kretsen. lett sjatte exempel undviks mojliga ytterligare optiska overskottsdelningsforluster genom att uppratthAlla en vAgledarsplitterkonstruktion som är geometriskt symmetrisk och ickeidealiteter undviks i reflektioner frAn splittern, eller i delningsforhAllandet i sig, som kan uppst5 pa' grund av eventuella svArigheter vid tillverkningen, som är forknippade med att konstruera en splitter som anvander en asymmetri i vagledargeometrin for att astadkom- ma ojamlik effektdelning. lett sjunde exempel, i utforingsformer dar SOA-regionerna är anordnade i de !pada terminalutgAngsvAgledarna och/eller i bAda utgAngsarmarna, dar varje arm erhAller ungefar halften av den inkommande optiska effekten, kommer SOA:n att ha ungefar den dubbla optiska effekttAligheten i jamforelse med en SOA som placeras fore splittern, nar SOA- elektroden är jordad eller omvant forspand for att dampa den optiska effekten.

Vissa exempel has den kanda tekniken tillhandahAller en delmangd av de fordelar som beskrivs ovan, men ingen kand utforingsform kan ge alla dessa fordelar samtidigt. 9 537 2 Foreliggande uppfinning kan varieras s5som angivits ovan, med avseende p5 namnda valda delar s5v5I som vad avser formen och egenskaperna for namnda elektriska kontaktorgan, utan att avvika frAn uppfinningsiden.

SAlunda skall foreliggande uppfinning inte vara begransad till de ovan beskrivna utforings- formerna, utan kan varieras inom ramen for patentkraven.

Claims (9)

537 2 Nya Patentkrav 1. En optisk halvledarforstarkare (SOA), som är monolitiskt integrerad med en Mach- Zehndermodulator, dar en eller flera terminaling5ngsv5gledare (1) är anslutna till en op- tisk splitter (2), sAsom en splitter av Y-grenstyp, en riktningskopplare eller en 1xN eller NxN multimodinterferens-MMI, som är anordnad att dela upp ljuset genom tva eller flera utg5ngsv5gledare, dar 5tminstone tv5 av splitterns terminalutg5ngsv5gledare (3,4) anvands for att bilda en Mach-Zehnderinterferometermodulator dar Atminstone en arm hos interferometern har en fasmoduleringselektrod och dar ett elektriskt anslutningsorgan (10) forefinns efter splittern (2), men fore fasmoduleringselektroden (7,8), kanne- tecknad a v att ett enda elektriskt anslutningsorgan (10) är anordnat att ansluta en gemensam spanning samtidigt till en respektive vald del (11) av varje arm, eller respektive valda delar (12-15) av vane arm hos vAgledarna (1-6), som är anordnade efter splittern (2), men fore fasmoduleringselektroderna eller alternativt att namnda enda elektriska anslutningsorgan är anordnat att ansluta namnda spanning till en vald del (13) av terminaling5ngsv5gledaren (1), som är ansluten till namnda splitter och till en eller flera valda delar (11) av en eller !Ada av namnda armar efter splittern (2), men fore fasmoduleringselektroderna, till att medfora forstarkning eller minskade optiska forluster. 2. En optisk halvledarforstarkare (SOA) enligt krav Lkannetecknad a v att forstarkar-SOA:n är anordnad s5 att terminalutgAngsvAgledarna (3,4) är olika forstarkta. 3. En optisk halvledarforstarkare (SOA) enligt krav 1 eller 2,kanneteck- nad a v att en optisk fasjusteringssektion (16) är anordnad i 5tminstone en modula- torarm hos Mach-Zehndermodulatorn, vilken justeringssektion (16) kan anvandas for att uppratthAlla en onskad total fasskillnad mellan de tv5 armarna (5,6) i frAnvaro av hoghastighetsmodulering. 4. En optisk halvledarforstarkare (SOA) enligt krav 1, 2 eller 3,kanneteck- nada v att sagda valda del eller delar innefattar splittern (2). 11 537 2 5. En optisk halvledarforstarkare (SOA) enligt krav 1, 2, 3 eller 4, kanne- tecknada v att sagda valda del eller delar innefattar terminalingAngsvAgleda- ren (1) eller terminalutg5ngsv5gledaren eller -Agledarna (3,4) hos splittern (2). 6. En optisk halvledarforstarkare (SOA) enligt krav 1, 2, 3, 4 eller 5, kanne- tecknada v att sagda valda del eller delar innefattar en eller tv5 av sagda tv armar (5,6) hos Mach-Zehndermodulatorn i en del av sagda arm eller armar som foregar fasmoduleringselektroderna (7,8) och av att de valda delarna är olika stora s5 att den effekt som matas in i de tv5 fasmoduleringssektionerna (7,8) hos sagda armar (5,6) kom- mer att vara vasentligen olika. 7. En optisk halvledarforstarkare (SOA) enligt krav 1, 2, 3, 4, 5 eller 6, k5nne- tecknad a v att den kombinerade langden has de forstarkande sektionerna i en forsta terminalutgAngsvAgledare och i vAgledaren hos den MZ-arm, som Jr ansluten till denna forsta terminalutgAngsvAgledare skiljer sig vasentligen fr5n den kombinerade langden has de forstarkande sektionerna i en andra terminalutg5ngsv5gledare och i vAgledaren i den Mach-Zehnderarm, som är ansluten till utgAngen has den andra terminalv5gledaren. 8. En optisk halvledarforstarkare (SOA) enligt krav 1, 2, 3, 4, 5 eller 6, kanne- tecknad a v att langden has forstarkningssektionen i de tv5 terminalv5gledarna vid splitterns utg5ng eller i namnda armar är vasentligen lika, av att namnda valda del eller delar är olika, sa att den effekt som matas in i fasmoduleringssektionen i en forsta av sagda armar has interferometern är vasentligen olika i jamforelse med den effekt som ma- tas in i fasmoduleringssektionen i den andra av namnda armar, p5 grund av en eller en kombination av tv5 eller flera av foljande skillnader mellan delar av terminalutgAngsvAgledarna och/eller p5 grund av skillnader mellan de delar av interferometerns v5gledare som foregar fasmoduleringssektionerna, namligen en skillnad i optisk inneslutning eller Ogledarens bredd, en breddskillnad mellan de metall- eller halvledarskikt, som bildar det elekt- riska anslutningsorganet, en skillnad i terminalutg5ngsv5gledarens bojningsforlust, en skill- nad i passiva optiska forluster p5 grund av dopning eller implanteringar, en skillnad i para- 12 537 2 sitiska forluster p5 grund av narheten av metallkontakter eller en skillnad i forstarkning p5 grund av en skillnad i volym eller legeringskomposition hos gainmaterialet. 9. En optisk halvledarforstarkare (S0A) enligt krav 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7 eller 8, k n - netecknad a v att en laser är integrerad med SOA:n och Mach-Zehnder- modulatorn. 13 delare Kombinerare Ingangsvagledare fasmoduleringssektion Eventuell fasjusten sektion 16 MZ inteferometerarmar utgangsvagledare "il 537 2 2/7 6 MN's% ANNVO.,.‘ NWWWWWW.. \NN, 0. ..\\■\\\\ W.V.A11NNWO.S. V.V.00ANXV.W.. W.W...\\■\NNWSNNWOO.N1 SNS\WSNN\ \NSNV, \NNWOO.NA \\•00. SXNSW.■ S 14 9 6 ••■••.\‘‘,.s.V..W. V.NN1S1N■SNS% NNNS.\\70..VANN 1. ■■••■••••.\\W.M. VANN!~ ...\\\NNWAN\ \\W 1. \\\N ...\NNNNN\NN\NNNX\N" 1. NNNNNNVOWINNNNW \Vs\ NNNNN•\ \ .0.NNNNNX \ SOMM VMS \ 91. 17 '61J VON."\NSSS MAN\ \\SA ..\\NNVOW \\NNWNNNV, MWMAN MN., 14 UI- WwWWWWw`Oms1WM,Wws.. WWWWWWWWWWWWWWWW, WWWWWWWNWWWWWWWWWW, WWWWWWWWN WWWWWWWWWW, VVV\WWWW\ WOMMONNWs WWWWWW. WWWWWM g 1.WWWWWWW \WWWW1 \\WWWW WWWWWW. Z I..\\WWWWWW WWWWWWW WWWWWWW WWWWWW. M1WWWW, WWWWWWW WWWWWWW Wwwwww, \\WOW\ \WWWW WWWWW \WOW WWWW.M. WWWWW WWWW. WWWWW WWW00. WM 6 NNX NNN,ANNN. NNNNNWNNN i. 1 WWWW. WWWW. MWOWN \ NN \NNNNN WWWW NM:W.:WOW WOMNNNNNNS. MNNWN 1NNNWOMOMN WWWWWWWWW0I. NNNWOMNNNNVONNW ..ANNNNN‘NNNNNNNNo ..\\VM\WWWWWWW WWWWWWW WWWWWWWWW NNWWWWWWWW OWWWWWWWW, \\WWWVOMM\NNAMM g Z

1. WWWWW. WWWWW, \\WM WM V, WNW\ WWWWWN \\WWWW, WWWWWW. WWWWWW, MANMANNWM NMNNNNNNNW \\WNW vs:Wo 96k1 5/7 537 2