SE528404C2 - Sensorarrangemang - Google Patents

Sensorarrangemang

Info

Publication number
SE528404C2
SE528404C2 SE0402566A SE0402566A SE528404C2 SE 528404 C2 SE528404 C2 SE 528404C2 SE 0402566 A SE0402566 A SE 0402566A SE 0402566 A SE0402566 A SE 0402566A SE 528404 C2 SE528404 C2 SE 528404C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
arrangement according
sensors
angle
sensor
sensitivity
Prior art date
Application number
SE0402566A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0402566D0 (sv
SE0402566L (sv
Inventor
Gert Andersson
Henrik Roedjegaard
Original Assignee
Imego Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Imego Ab filed Critical Imego Ab
Priority to SE0402566A priority Critical patent/SE528404C2/sv
Publication of SE0402566D0 publication Critical patent/SE0402566D0/sv
Priority to PCT/SE2005/001570 priority patent/WO2006043890A1/en
Priority to EP05796298A priority patent/EP1802941A4/en
Publication of SE0402566L publication Critical patent/SE0402566L/sv
Publication of SE528404C2 publication Critical patent/SE528404C2/sv
Priority to US11/849,681 priority patent/US7814791B2/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/02Rotary gyroscopes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C21/00Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00
    • G01C21/10Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00 by using measurements of speed or acceleration
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C21/00Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00
    • G01C21/10Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00 by using measurements of speed or acceleration
    • G01C21/12Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00 by using measurements of speed or acceleration executed aboard the object being navigated; Dead reckoning
    • G01C21/16Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00 by using measurements of speed or acceleration executed aboard the object being navigated; Dead reckoning by integrating acceleration or speed, i.e. inertial navigation
    • G01C21/166Mechanical, construction or arrangement details of inertial navigation systems

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Description

25 30 35 528 404 Dessutom utgör föreliggande uppflnnlng en för förenkling i förhållande US 4,179,818 och en förbättring av traditionell IMU uppbyggnad.
Av dessa skäl är ett redundant sensorarrangemang tillhandahåilet för symmetrisk respons i ett ortogonalt x-, y- och z-koordinatsystem. Arrangemang innefattar fyra enaxliga sensorer i fom1 av gyroskop eller accelerometer, varvid varje sensor har en kánslighetsaxel och varje känslighetsaxei är riktad i en riktning, varvid en symmetrisk mättnoggrannhet erhålles i alla riktningar genom att en lutningsvinkel (o) mellan ett xy-plan och varje nämnd sensor kånelighetsaxlar liggeri ett intervall av 25°-50°, företrädesvis cza 35°, d.v.s. arctan(I/~/2_) =35.3°.
Kortfattat beskrivning av ritningar I det följande kommer uppfinningen att beskrivas på ett icke begränsande sätt med hänvisning till bifogade ritningar, i vilka: Fig. 1 visar schematiskt ett första utförande av montering av accelerometrar eller gyroskop, Fig. 2 visar schematlskt ett andra utförande av montering av accelerometrar eller gyroskop, Fig. 3-5 visar schematiskt och i perspektiv ett föredraget utförande ett sensorarrangemang enligt uppflnningen, och Fig. 6 visar schematlskt ännu ett utförande av montering av sensorer, enligt uppflnnlngen.
Detaljerad beskrivning av utförlngsexemplen Principen för sensoremas montering visas i Fig. 1, vilken visar schematiskt ett första utförande av ett sensorarrangemang 10 med på ett substrat 11 monterade fyra sensorer 1-4 i from av accelerometrar eller gyroskop. Således är sensorema anordnade som sldoma av en rektangel. Pilama illustrerar sensoremas känslighetsaxlar, varav känslighetsaxlama för sensorerna 1 och 2 är riktade in mot sensorerna i en vinkel o medan känslighetsaxlarna för sensorema 3 och 4 är riktade ut från sensorerna l en vinkel ß. 10 15 20 25 528 404 Med fyra sensorer konfigurerade enligt Flg. 1 erhålles x-, y- och z-slgnalema som: *dm °° law " zflm-»l Yaga °° 3ami ' 41min Azdm oc 3% - lim + 4I-WI -Zásfl 0=1md +2ñm +3dm +4mfl I ekvationen avser numren 1-4, accelerometrar eller gyron 1-4.
Den sista ekvationen Innehåller statuslnformation om mätsystemets, t.ex. brusnivån för tillfället. Den kommer även att avvika från noll om "common-mode" störningar påverkar systemet, eller om en sensor börjar uppföra sig säreget.
Ett inte fullt lika optimalt sätt att montera sensorer men tlllverkningsteknlskt enklare är att låta alla sensorema peka åt samma håll, såsom visas i Flg. 2. Sensorarrangemanget 20 med på substratet 21 monterade fyra sensorer 1'-4' l from av accelerometrar eller gyroskop. Även här är sensorerna anordnade som sidorna av en rektangel. Pllarna illustrerar sensorernas känsilghetsaxlar, varav känslighetsaxlama för alla sensorer är riktade ut från sensorerna i en vinkel ß'. Även här illustrerar pilarna sensorernas känslighetsaxlar.
Med fyra sensorer konfigurerade enligt Flg. 2 så erhålls x-, y- och z-signalerna som: x'signal °c Tsignal ' rsignal Y's|gna| °° 3'_-.igna| '4's1gnai ZIsIgnaI a; 3'slgnal+1'signai + 4'slnal+zlsignal 0 = _ llslgnal-zlsignai + 3'signal +4IsIgnai För att få symmetrisk mätnoggrannhet i alla riktningar så skall lutnlngsvlnkeln a. mellan xy-planet och sensorernas känsiighetsaxlar ligga l intervallet, 25°-50°, företrädesvis c:a 35°, d.v.s. arctanO/x/ï) =35.3°. Detta kan åstadkommas på flera sätt t.ex.: 1) Att sensorerna direkt tillverkas och kapslas eller monteras med rätt känsllghetsrlktning, 10 15 20 25 30 35 528 404 2) Att sensorema tillverkas med rätt känsllghetsriktnlngar på ett och samma chip.
Ett sådant chip kan innehålla två eller fyra sensorelement. 3) Att sensorerna monteras l specialtillverkade socklar som är vinklade a (eller ß d.v.s. 40°-6S°, företrädesvis cza 5S° (=90°- arctanO/x/ï) Om SGHSOTHS känsllghersaxel ligger vertikalt). Montering kan ske på båda sidor av substratet för att erhålla olika riktning på z-känsllgheterna. 4) Att sensorerna monteras på en struktur med lutande bärplan, såsom en pyramld, eller på ett flexsubstrat som fästs vid kliar eller väsentligen pyramidformade struktur, eller 5) Genom montering på en mekanisk fixtur.
Vid monterlngen kan man lägga vikt vid att termisk expansion av bäraren skall påverka alla sensorelement på samma sätt för att hela nyttan med differentiella signaler skall erhållas.
Figurema 3 - 5 vlsar ett exempel på ett utförande baserat på en struktur med i vinkel ställda bärorgan, d.v.s. väsentligen pyramidformade substrat (kretskort) där en 3-axlig accelerometer (enligt patent 359203648-2 (WO 94112886 )) monterats på toppen av en avhuggen väsentligen pyramidformade strukturen och fyra stycken enaxliga gyron monterats på sidoma av pyramidfomlade strukturen (gyron t.ex. enligt patent SE9800194-4). Us6467349 Fig. 3 vlsar en sprängsklss på ett modulärt system av sensorarrangemanget 30, i vilket monteras sensorkorten 35a-35c på pyramidsidorna, som innehåller en-axllga gyrona 32 tillsammans med den mest sensornåra elektroniken 36 (såsom analogdelar i ASIC). sensorkorten kan också innehålla 1-axllga accelerometrar om tidigare nämnda 3-axliga accelerometer 34 inte monteras på toppkortet 38 (eller på en basplatta). Både gyrona och eventuella en-axliga accelerometrar har företrädesvis känsllghetsaxeln parallellt med kortens plan och riktad uppåt eller neråt för att optimal konfiguration skall erhållas med en ungefärlig 35° vinkel mot basen. Systemet kan vara uppbyggt av lösa sidor såsom på skissen men också som en keramisk väsentligen pyramldformad i ett stycke.
På ett kort 38 l basen av pyramiden placeras resterande av den sensornära elektroniken 39 (dlgitaldelar), t.ex. en FPGA (Field Programmable Gate Arrays), som styr sensormodulens utleverans av modulerade och temperatur kompenserade signaler eller rå sensor data beroende på eventuell eflierföljande slgnalbehandling. 10 15 20 25 528 404 Utförandet tillåter att kunna koppla på olika moduler efter behov, t.ex. olika kraflzfuila DSP-moduler (Digital Signal Processing) beroende på hur avancerade signaibehandlingskoncept som ska utnyttjas. Moduler för kommunikation och kraftförsörjning osv., kan också kopplas in.
Fig. 4 illustrerar sammansatta kretskorten enligt utförlngsexemplet visat I Fig. 3. Den pyramidformade sensormodulen innehåller en 3-axlig accelerorneter (med 4 oberoende massor) på toppen med elektronik och ett gyro med tillhörande elektronik på varje sida.
Fig. 5 visar ett sammansatt system 50 enligt Fig. 3 i ett (genomskinligt) höije 150. I figuren syns även DSP-delen 58 samt kabel band för kommunikation med kommunlkatlonsenheten 56. Kommunikation med omvärlden kan ske via en port (ej visad) eller trådlöst.
Dessutom kan sensorerna monteras i ”rätt” vinklar med hjälp av platta substrat tillsammans med kilar eller t.ex. genom att utnyttja anisotropetsning av klsel som också ger "rätt" vinkel. Det senare utförandet visas i Flg. 6. Substratet 61 år försett med en fördjupning 611 med lutande väggar. Ena änden av ett gyroskop 62 är anordnad anliggande mot en av lutande väggama. Vinkein mellan gyroskopets känsllghetsaxel 66 och gyroskopet är då a.
I ett utförande är uppfinningen realiserad som en IMU.
Uppfinningen är inte begränsad till de visade utföringsexemplen, utan kan varieras på olika sätt utan att avlägsnas från de bifogade kravens skyddsomfång, och anordningen och metoden kan implementeras på olika sätt beroende av applikation, funktionella enheter, behov, krav och så vidare.

Claims (1)

1. 0 15 20 25 30 35 528 404 KRAV . Ett redundant sensorarrangemang för symmetrisk respons i ett ortogonalt x-, y- och z- koordinatsystem. kännetecknat därav, att nämnda arrangemang innefattar fyra enaxliga sensorer i form av gyroskop eller accelerometer, varvid varje sensor har en känslighetsaxel och varje känslighetsaxel är riktad i en riktning, varvid en symmetrisk mättnoggrannhet erhålles i alla riktningar genom att en lutningsvinkel (u) mellan ett xy-plan och varje nämnd sensor känslighetsaxlar liggeri ett intervall av 25°-50°, företrädesvis cza 35°, d.v.s. arctanO/Jš) =35.3°. . Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att sensorema tillverkas och kapslas ochleller monteras med känslighetsriktning i motsvarande lutningsvinkeln (a). . Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att sensorema är tillverkade med rätt känslighetsriktriingar pà ett och samma chip, vilket innehåller två eller fyra sensorelement. . Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att sensorema är monterade i specialtillverkade socklar som är vinklade motsvarande nämnda lutningsvinkel (u). . Arrangemang enligt krav1 eller 2, kännetecknat därav, att sensorema är monterade på en struktur med lutande bärplan. . Arrangemang enligt krav 1 eller 2, kännetecknat därav, att sensorema är monterade pà ett flexsubstrat som fästes vid kilar. . Arrangemang enligt krav 1 eller 2, 10 15 20 25 30 35 528 404 "f kännetecknat därav, att sensorema är monterade pà en mekanisk fixtur. 8. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att nämnda vinkel (u) är i intervallet 40°-65°, företrädesvis cza 55°, d.v.s. 90°- arctanfl/Jï) om sensoms känslighersaxel ligger vertikalt. 9. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att fyra bärande struktur monteras lutande och väsentligen sida vid sida, utgörande sidoma hos en väsentligen pyramidforrnig struktur, varvid varje bärande struktur innefattar ett enaxligt gyroskop (32). 10. Arrangemang enligt krav 9, vari nämnda fyra accelerometrar utfonnas som en 3-axlig ~ accelerometrar (34) med fyra massor anordnad pà en bärande struktur, utgörande en topp eller botten plan till nämnda lutande strukturer. 11. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att fyra bärande struktur monteras lutande och väsentligen sida vid sida, utgörande sidoma hos en väsentligen pyramidfonnig struktur, varvid varie bärande struktur innehåller en enaxlig accelerometer. 12. Arrangemang enligt krav 9 eller 11, kännetecknat därav, att gyrona och eventuella enaxlig accelerometer har företrädesvis känslighetsaxeln parallellt med bärande strukturens plan och riktad uppåt eller neråt m.h.t. planet för att optimal konfiguration skall erhållas med en ungefärlig lutningsvinkel (a) mot basen. 13. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att sensorema monteras i räta vinklar med hjälp av platta substrat tillsammans med kilar. 14. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, 528 404 8 att nämnda bärande struktur är ett substrat (61) försett med en fördjupning (611) med lutande väggar, varvid ena änden av ett gyroskop (62) är anordnad anliggande mot en av de lutande vaggama, varvid vinkeln mellan gyroskopets känslighetsaxel (66) och gyroskopet motsvarar lutningsvinkeln (u).
SE0402566A 2004-10-20 2004-10-20 Sensorarrangemang SE528404C2 (sv)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0402566A SE528404C2 (sv) 2004-10-20 2004-10-20 Sensorarrangemang
PCT/SE2005/001570 WO2006043890A1 (en) 2004-10-20 2005-10-20 Sensor device
EP05796298A EP1802941A4 (en) 2004-10-20 2005-10-20 SENSOR DEVICE
US11/849,681 US7814791B2 (en) 2004-10-20 2007-09-04 Sensor device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0402566A SE528404C2 (sv) 2004-10-20 2004-10-20 Sensorarrangemang

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE0402566D0 SE0402566D0 (sv) 2004-10-20
SE0402566L SE0402566L (sv) 2006-04-21
SE528404C2 true SE528404C2 (sv) 2006-11-07

Family

ID=33448689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0402566A SE528404C2 (sv) 2004-10-20 2004-10-20 Sensorarrangemang

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7814791B2 (sv)
EP (1) EP1802941A4 (sv)
SE (1) SE528404C2 (sv)
WO (1) WO2006043890A1 (sv)

Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8141424B2 (en) 2008-09-12 2012-03-27 Invensense, Inc. Low inertia frame for detecting coriolis acceleration
US8952832B2 (en) 2008-01-18 2015-02-10 Invensense, Inc. Interfacing application programs and motion sensors of a device
US7934423B2 (en) 2007-12-10 2011-05-03 Invensense, Inc. Vertically integrated 3-axis MEMS angular accelerometer with integrated electronics
US8508039B1 (en) 2008-05-08 2013-08-13 Invensense, Inc. Wafer scale chip scale packaging of vertically integrated MEMS sensors with electronics
US8250921B2 (en) * 2007-07-06 2012-08-28 Invensense, Inc. Integrated motion processing unit (MPU) with MEMS inertial sensing and embedded digital electronics
US8462109B2 (en) 2007-01-05 2013-06-11 Invensense, Inc. Controlling and accessing content using motion processing on mobile devices
US20090029754A1 (en) * 2007-07-23 2009-01-29 Cybersports, Inc Tracking and Interactive Simulation of Real Sports Equipment
US8042396B2 (en) 2007-09-11 2011-10-25 Stmicroelectronics S.R.L. Microelectromechanical sensor with improved mechanical decoupling of sensing and driving modes
US8037754B2 (en) * 2008-06-12 2011-10-18 Rosemount Aerospace Inc. Integrated inertial measurement system and methods of constructing the same
US7912664B2 (en) * 2008-09-11 2011-03-22 Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. Self calibrating gyroscope system
IT1391973B1 (it) 2008-11-26 2012-02-02 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico mono o biassiale con aumentata sensibilita' al rilevamento di velocita' angolari
ITTO20090489A1 (it) 2008-11-26 2010-12-27 St Microelectronics Srl Circuito di lettura per un giroscopio mems multi-asse avente direzioni di rilevamento inclinate rispetto agli assi di riferimento, e corrispondente giroscopio mems multi-asse
IT1391972B1 (it) * 2008-11-26 2012-02-02 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con movimento di azionamento rotatorio e migliorate caratteristiche elettriche
IT1392741B1 (it) 2008-12-23 2012-03-16 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con migliorata reiezione di disturbi di accelerazione
US8797279B2 (en) 2010-05-25 2014-08-05 MCube Inc. Analog touchscreen methods and apparatus
US8928602B1 (en) 2009-03-03 2015-01-06 MCube Inc. Methods and apparatus for object tracking on a hand-held device
IT1394007B1 (it) 2009-05-11 2012-05-17 St Microelectronics Rousset Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione
US8788676B2 (en) * 2009-05-22 2014-07-22 Motorola Mobility Llc Method and system for controlling data transmission to or from a mobile device
US8542186B2 (en) 2009-05-22 2013-09-24 Motorola Mobility Llc Mobile device with user interaction capability and method of operating same
US8344325B2 (en) * 2009-05-22 2013-01-01 Motorola Mobility Llc Electronic device with sensing assembly and method for detecting basic gestures
US8619029B2 (en) 2009-05-22 2013-12-31 Motorola Mobility Llc Electronic device with sensing assembly and method for interpreting consecutive gestures
US8391719B2 (en) 2009-05-22 2013-03-05 Motorola Mobility Llc Method and system for conducting communication between mobile devices
US8477473B1 (en) 2010-08-19 2013-07-02 MCube Inc. Transducer structure and method for MEMS devices
US8421082B1 (en) 2010-01-19 2013-04-16 Mcube, Inc. Integrated CMOS and MEMS with air dielectric method and system
US8553389B1 (en) 2010-08-19 2013-10-08 MCube Inc. Anchor design and method for MEMS transducer apparatuses
US8823007B2 (en) 2009-10-28 2014-09-02 MCube Inc. Integrated system on chip using multiple MEMS and CMOS devices
US8710597B1 (en) 2010-04-21 2014-04-29 MCube Inc. Method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS structures
US8476129B1 (en) 2010-05-24 2013-07-02 MCube Inc. Method and structure of sensors and MEMS devices using vertical mounting with interconnections
JP5318720B2 (ja) * 2009-09-30 2013-10-16 富士通テン株式会社 電子制御装置
US9709509B1 (en) 2009-11-13 2017-07-18 MCube Inc. System configured for integrated communication, MEMS, Processor, and applications using a foundry compatible semiconductor process
US9636550B2 (en) 2009-11-19 2017-05-02 Wilson Sporting Goods Co. Football sensing
US10668333B2 (en) 2009-11-19 2020-06-02 Wilson Sporting Goods Co. Football sensing
US10821329B2 (en) 2009-11-19 2020-11-03 Wilson Sporting Goods Co. Football sensing
US10751579B2 (en) 2009-11-19 2020-08-25 Wilson Sporting Goods Co. Football sensing
ITTO20091042A1 (it) 2009-12-24 2011-06-25 St Microelectronics Srl Giroscopio integrato microelettromeccanico con migliorata struttura di azionamento
US8936959B1 (en) 2010-02-27 2015-01-20 MCube Inc. Integrated rf MEMS, control systems and methods
US8794065B1 (en) * 2010-02-27 2014-08-05 MCube Inc. Integrated inertial sensing apparatus using MEMS and quartz configured on crystallographic planes
US8367522B1 (en) 2010-04-08 2013-02-05 MCube Inc. Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads
US8963845B2 (en) 2010-05-05 2015-02-24 Google Technology Holdings LLC Mobile device with temperature sensing capability and method of operating same
US9706948B2 (en) * 2010-05-06 2017-07-18 Sachin Bhandari Inertial sensor based surgical navigation system for knee replacement surgery
US8751056B2 (en) 2010-05-25 2014-06-10 Motorola Mobility Llc User computer device with temperature sensing capabilities and method of operating same
US9103732B2 (en) 2010-05-25 2015-08-11 Google Technology Holdings LLC User computer device with temperature sensing capabilities and method of operating same
US8928696B1 (en) 2010-05-25 2015-01-06 MCube Inc. Methods and apparatus for operating hysteresis on a hand held device
US8652961B1 (en) 2010-06-18 2014-02-18 MCube Inc. Methods and structure for adapting MEMS structures to form electrical interconnections for integrated circuits
US8869616B1 (en) 2010-06-18 2014-10-28 MCube Inc. Method and structure of an inertial sensor using tilt conversion
US8993362B1 (en) 2010-07-23 2015-03-31 MCube Inc. Oxide retainer method for MEMS devices
CN102121829B (zh) 2010-08-09 2013-06-12 汪滔 一种微型惯性测量系统
US8723986B1 (en) 2010-11-04 2014-05-13 MCube Inc. Methods and apparatus for initiating image capture on a hand-held device
US8969101B1 (en) 2011-08-17 2015-03-03 MCube Inc. Three axis magnetic sensor device and method using flex cables
ITTO20110806A1 (it) 2011-09-12 2013-03-13 St Microelectronics Srl Dispositivo microelettromeccanico integrante un giroscopio e un accelerometro
US20130068017A1 (en) * 2011-09-20 2013-03-21 Noel Perkins Apparatus and method for analyzing the motion of a body
US9140717B2 (en) 2011-09-20 2015-09-22 The Regents Of The University Of Michigan Apparatus and method for identifying and analyzing the free flight dynamics of a body
FR2991044B1 (fr) * 2012-05-24 2014-05-09 Sagem Defense Securite Centrale inertielle a gyroscopes vibrants montes sur un carrousel et procede de mesure angulaire
US9032794B2 (en) 2012-08-09 2015-05-19 The Regents Of The University Of Michigan Pitcher training apparatus and method using a ball with an embedded inertial measurement unit
JP2014048090A (ja) * 2012-08-30 2014-03-17 Seiko Epson Corp 電子モジュール、電子機器、及び移動体
US9213889B2 (en) 2013-03-28 2015-12-15 The Regents Of The University Of Michigan Athlete speed prediction method using data from attached inertial measurement unit
US9404747B2 (en) 2013-10-30 2016-08-02 Stmicroelectroncs S.R.L. Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift
CN103697909B (zh) * 2013-12-13 2016-06-01 上海交通大学 导轨滑块型圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法
EP3060882A4 (en) 2014-04-25 2017-01-25 SZ DJI Technology Co., Ltd. Inertial sensing device
US20150362523A1 (en) * 2014-06-13 2015-12-17 Analog Devices, Inc. Low Profile Multi-Axis Sensing System
US10472098B2 (en) * 2016-10-25 2019-11-12 Honeywell International Inc. Mass efficient reaction wheel assembly systems including multi-faceted bracket structures
CN106767801B (zh) * 2016-12-01 2019-08-09 北京航天时代光电科技有限公司 一种高可靠单轴冗余光纤陀螺惯测系统
WO2019143838A1 (en) * 2018-01-17 2019-07-25 Cubic Corporation Cuboid inertial measurement unit

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4179818A (en) * 1976-10-07 1979-12-25 Litton Systems, Inc. Tetrahedral redundant inertial reference unit
US4125017A (en) * 1977-07-29 1978-11-14 Mcdonnell Douglas Corporation Redundant inertial measurement system
US4190364A (en) * 1977-09-07 1980-02-26 The Singer Company Ring laser gyroscope
US4280188A (en) * 1978-10-11 1981-07-21 Grumman Aerospace Corporation Survivable redundant vector sensors for systems with differing maximum output requirements
DE3634023A1 (de) * 1986-10-07 1988-04-21 Bodenseewerk Geraetetech Integriertes, redundantes referenzsystem fuer die flugregelung und zur erzeugung von kurs- und lageinformationen
US4841773A (en) * 1987-05-01 1989-06-27 Litton Systems, Inc. Miniature inertial measurement unit
GB8718004D0 (en) * 1987-07-29 1987-12-16 Marconi Co Ltd Accelerometer
JPH03501526A (ja) * 1988-05-27 1991-04-04 ハネウエル・インコーポレーテツド スキユー軸慣性センサ組立体
US5203208A (en) * 1991-04-29 1993-04-20 The Charles Stark Draper Laboratory Symmetrical micromechanical gyroscope
GB9507930D0 (en) * 1995-04-19 1995-06-14 Smiths Industries Plc Inertial sensor assemblies
US6085590A (en) * 1998-07-31 2000-07-11 Litton Systems, Inc. Multisensor with parametric rotor drive
SE512716C2 (sv) * 1999-01-18 2000-05-02 Saab Ab Metod och anordning för att beräkna reservattityd och reservkurs för ett flygplan
US6925413B2 (en) * 2001-12-14 2005-08-02 Robert Bosch Gmbh Method and system for detecting a spatial movement state of moving objects
US7253079B2 (en) * 2002-05-09 2007-08-07 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Coplanar mounting member for a MEM sensor
FR2904870B1 (fr) * 2006-08-09 2008-10-03 Sagem Defense Securite Procede d'alignement d'une centrale inertielle a capteur vibrant axisymetrique et centrale inertielle correspondante
US7640786B2 (en) * 2007-03-28 2010-01-05 Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. Self-calibrating accelerometer
US8186219B2 (en) * 2007-08-23 2012-05-29 Sagem Defense Securite Method of determining a speed of rotation of an axially symmetrical vibrating sensor, and a corresponding inertial device

Also Published As

Publication number Publication date
SE0402566D0 (sv) 2004-10-20
US20090013783A1 (en) 2009-01-15
EP1802941A4 (en) 2009-12-23
US7814791B2 (en) 2010-10-19
WO2006043890A1 (en) 2006-04-27
SE0402566L (sv) 2006-04-21
EP1802941A1 (en) 2007-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE528404C2 (sv) Sensorarrangemang
US7253079B2 (en) Coplanar mounting member for a MEM sensor
TW468035B (en) Micro inertial measurement unit
CN100462683C (zh) 一种隐式结构微型惯性测量单元
US7401517B2 (en) Dual-axis yaw rate sensing unit having a tuning fork gyroscope arrangement
CN103776448B (zh) 一种姿态航向参考系统
JP4751085B2 (ja) センサの組立方法
EP1880422B1 (en) A device comprising a sensor module
WO2006088863A3 (en) Single/multiple axes six degrees of freedom (6 dof) inertial motion capture system with initial orientation determination capability
CN105180918B (zh) 三轴光纤陀螺及系统一体化结构
CN104677355B (zh) 基于多传感器融合的虚拟陀螺及方法
CN107966144B (zh) 一种基于mems传感器的惯性测量组合的装配体结构
JP2012505367A (ja) 1つのパッケージに統合され傾斜の補償がなされるコンパス
JP2000121369A (ja) 加速度計内蔵の光ファイバジャイロセンサユニット
US20140013843A1 (en) Inertial Sensor Mounting System
KR100777404B1 (ko) 두 개의 가속도 센서를 이용한 각속도 측정방법 및 장치
CN212082397U (zh) 一种激光陀螺测试装置
JP2006112856A (ja) センサ素子基板、センサ素子基板の製造方法、センサ
US6611170B2 (en) Angular rate amplifier with noise shield technology
CN1796932A (zh) 微型磁红外姿态测量系统
CN218865117U (zh) 一种微机电惯性导航系统惯性器件排布设计结构
JP2004361237A (ja) 傾斜計
US20230022244A1 (en) Distributed Sensor Inertial Measurement Unit
JPH109889A (ja) 慣性センサ装置
JP2004361236A (ja) ジャイロスコープ