SE528404C2 - Sensorarrangemang - Google Patents
SensorarrangemangInfo
- Publication number
- SE528404C2 SE528404C2 SE0402566A SE0402566A SE528404C2 SE 528404 C2 SE528404 C2 SE 528404C2 SE 0402566 A SE0402566 A SE 0402566A SE 0402566 A SE0402566 A SE 0402566A SE 528404 C2 SE528404 C2 SE 528404C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- arrangement according
- sensors
- angle
- sensor
- sensitivity
- Prior art date
Links
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000010261 arctane Substances 0.000 claims 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 208000003251 Pruritus Diseases 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/02—Rotary gyroscopes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C21/00—Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00
- G01C21/10—Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00 by using measurements of speed or acceleration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C21/00—Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00
- G01C21/10—Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00 by using measurements of speed or acceleration
- G01C21/12—Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00 by using measurements of speed or acceleration executed aboard the object being navigated; Dead reckoning
- G01C21/16—Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00 by using measurements of speed or acceleration executed aboard the object being navigated; Dead reckoning by integrating acceleration or speed, i.e. inertial navigation
- G01C21/166—Mechanical, construction or arrangement details of inertial navigation systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
25 30 35 528 404 Dessutom utgör föreliggande uppflnnlng en för förenkling i förhållande US 4,179,818 och en förbättring av traditionell IMU uppbyggnad.
Av dessa skäl är ett redundant sensorarrangemang tillhandahåilet för symmetrisk respons i ett ortogonalt x-, y- och z-koordinatsystem. Arrangemang innefattar fyra enaxliga sensorer i fom1 av gyroskop eller accelerometer, varvid varje sensor har en kánslighetsaxel och varje känslighetsaxei är riktad i en riktning, varvid en symmetrisk mättnoggrannhet erhålles i alla riktningar genom att en lutningsvinkel (o) mellan ett xy-plan och varje nämnd sensor kånelighetsaxlar liggeri ett intervall av 25°-50°, företrädesvis cza 35°, d.v.s. arctan(I/~/2_) =35.3°.
Kortfattat beskrivning av ritningar I det följande kommer uppfinningen att beskrivas på ett icke begränsande sätt med hänvisning till bifogade ritningar, i vilka: Fig. 1 visar schematiskt ett första utförande av montering av accelerometrar eller gyroskop, Fig. 2 visar schematlskt ett andra utförande av montering av accelerometrar eller gyroskop, Fig. 3-5 visar schematiskt och i perspektiv ett föredraget utförande ett sensorarrangemang enligt uppflnningen, och Fig. 6 visar schematlskt ännu ett utförande av montering av sensorer, enligt uppflnnlngen.
Detaljerad beskrivning av utförlngsexemplen Principen för sensoremas montering visas i Fig. 1, vilken visar schematiskt ett första utförande av ett sensorarrangemang 10 med på ett substrat 11 monterade fyra sensorer 1-4 i from av accelerometrar eller gyroskop. Således är sensorema anordnade som sldoma av en rektangel. Pilama illustrerar sensoremas känslighetsaxlar, varav känslighetsaxlama för sensorerna 1 och 2 är riktade in mot sensorerna i en vinkel o medan känslighetsaxlarna för sensorema 3 och 4 är riktade ut från sensorerna l en vinkel ß. 10 15 20 25 528 404 Med fyra sensorer konfigurerade enligt Flg. 1 erhålles x-, y- och z-slgnalema som: *dm °° law " zflm-»l Yaga °° 3ami ' 41min Azdm oc 3% - lim + 4I-WI -Zásfl 0=1md +2ñm +3dm +4mfl I ekvationen avser numren 1-4, accelerometrar eller gyron 1-4.
Den sista ekvationen Innehåller statuslnformation om mätsystemets, t.ex. brusnivån för tillfället. Den kommer även att avvika från noll om "common-mode" störningar påverkar systemet, eller om en sensor börjar uppföra sig säreget.
Ett inte fullt lika optimalt sätt att montera sensorer men tlllverkningsteknlskt enklare är att låta alla sensorema peka åt samma håll, såsom visas i Flg. 2. Sensorarrangemanget 20 med på substratet 21 monterade fyra sensorer 1'-4' l from av accelerometrar eller gyroskop. Även här är sensorerna anordnade som sidorna av en rektangel. Pllarna illustrerar sensorernas känsilghetsaxlar, varav känslighetsaxlama för alla sensorer är riktade ut från sensorerna i en vinkel ß'. Även här illustrerar pilarna sensorernas känslighetsaxlar.
Med fyra sensorer konfigurerade enligt Flg. 2 så erhålls x-, y- och z-signalerna som: x'signal °c Tsignal ' rsignal Y's|gna| °° 3'_-.igna| '4's1gnai ZIsIgnaI a; 3'slgnal+1'signai + 4'slnal+zlsignal 0 = _ llslgnal-zlsignai + 3'signal +4IsIgnai För att få symmetrisk mätnoggrannhet i alla riktningar så skall lutnlngsvlnkeln a. mellan xy-planet och sensorernas känsiighetsaxlar ligga l intervallet, 25°-50°, företrädesvis c:a 35°, d.v.s. arctanO/x/ï) =35.3°. Detta kan åstadkommas på flera sätt t.ex.: 1) Att sensorerna direkt tillverkas och kapslas eller monteras med rätt känsllghetsrlktning, 10 15 20 25 30 35 528 404 2) Att sensorema tillverkas med rätt känsllghetsriktnlngar på ett och samma chip.
Ett sådant chip kan innehålla två eller fyra sensorelement. 3) Att sensorerna monteras l specialtillverkade socklar som är vinklade a (eller ß d.v.s. 40°-6S°, företrädesvis cza 5S° (=90°- arctanO/x/ï) Om SGHSOTHS känsllghersaxel ligger vertikalt). Montering kan ske på båda sidor av substratet för att erhålla olika riktning på z-känsllgheterna. 4) Att sensorerna monteras på en struktur med lutande bärplan, såsom en pyramld, eller på ett flexsubstrat som fästs vid kliar eller väsentligen pyramidformade struktur, eller 5) Genom montering på en mekanisk fixtur.
Vid monterlngen kan man lägga vikt vid att termisk expansion av bäraren skall påverka alla sensorelement på samma sätt för att hela nyttan med differentiella signaler skall erhållas.
Figurema 3 - 5 vlsar ett exempel på ett utförande baserat på en struktur med i vinkel ställda bärorgan, d.v.s. väsentligen pyramidformade substrat (kretskort) där en 3-axlig accelerometer (enligt patent 359203648-2 (WO 94112886 )) monterats på toppen av en avhuggen väsentligen pyramidformade strukturen och fyra stycken enaxliga gyron monterats på sidoma av pyramidfomlade strukturen (gyron t.ex. enligt patent SE9800194-4). Us6467349 Fig. 3 vlsar en sprängsklss på ett modulärt system av sensorarrangemanget 30, i vilket monteras sensorkorten 35a-35c på pyramidsidorna, som innehåller en-axllga gyrona 32 tillsammans med den mest sensornåra elektroniken 36 (såsom analogdelar i ASIC). sensorkorten kan också innehålla 1-axllga accelerometrar om tidigare nämnda 3-axliga accelerometer 34 inte monteras på toppkortet 38 (eller på en basplatta). Både gyrona och eventuella en-axliga accelerometrar har företrädesvis känsllghetsaxeln parallellt med kortens plan och riktad uppåt eller neråt för att optimal konfiguration skall erhållas med en ungefärlig 35° vinkel mot basen. Systemet kan vara uppbyggt av lösa sidor såsom på skissen men också som en keramisk väsentligen pyramldformad i ett stycke.
På ett kort 38 l basen av pyramiden placeras resterande av den sensornära elektroniken 39 (dlgitaldelar), t.ex. en FPGA (Field Programmable Gate Arrays), som styr sensormodulens utleverans av modulerade och temperatur kompenserade signaler eller rå sensor data beroende på eventuell eflierföljande slgnalbehandling. 10 15 20 25 528 404 Utförandet tillåter att kunna koppla på olika moduler efter behov, t.ex. olika kraflzfuila DSP-moduler (Digital Signal Processing) beroende på hur avancerade signaibehandlingskoncept som ska utnyttjas. Moduler för kommunikation och kraftförsörjning osv., kan också kopplas in.
Fig. 4 illustrerar sammansatta kretskorten enligt utförlngsexemplet visat I Fig. 3. Den pyramidformade sensormodulen innehåller en 3-axlig accelerorneter (med 4 oberoende massor) på toppen med elektronik och ett gyro med tillhörande elektronik på varje sida.
Fig. 5 visar ett sammansatt system 50 enligt Fig. 3 i ett (genomskinligt) höije 150. I figuren syns även DSP-delen 58 samt kabel band för kommunikation med kommunlkatlonsenheten 56. Kommunikation med omvärlden kan ske via en port (ej visad) eller trådlöst.
Dessutom kan sensorerna monteras i ”rätt” vinklar med hjälp av platta substrat tillsammans med kilar eller t.ex. genom att utnyttja anisotropetsning av klsel som också ger "rätt" vinkel. Det senare utförandet visas i Flg. 6. Substratet 61 år försett med en fördjupning 611 med lutande väggar. Ena änden av ett gyroskop 62 är anordnad anliggande mot en av lutande väggama. Vinkein mellan gyroskopets känsllghetsaxel 66 och gyroskopet är då a.
I ett utförande är uppfinningen realiserad som en IMU.
Uppfinningen är inte begränsad till de visade utföringsexemplen, utan kan varieras på olika sätt utan att avlägsnas från de bifogade kravens skyddsomfång, och anordningen och metoden kan implementeras på olika sätt beroende av applikation, funktionella enheter, behov, krav och så vidare.
Claims (1)
1. 0 15 20 25 30 35 528 404 KRAV . Ett redundant sensorarrangemang för symmetrisk respons i ett ortogonalt x-, y- och z- koordinatsystem. kännetecknat därav, att nämnda arrangemang innefattar fyra enaxliga sensorer i form av gyroskop eller accelerometer, varvid varje sensor har en känslighetsaxel och varje känslighetsaxel är riktad i en riktning, varvid en symmetrisk mättnoggrannhet erhålles i alla riktningar genom att en lutningsvinkel (u) mellan ett xy-plan och varje nämnd sensor känslighetsaxlar liggeri ett intervall av 25°-50°, företrädesvis cza 35°, d.v.s. arctanO/Jš) =35.3°. . Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att sensorema tillverkas och kapslas ochleller monteras med känslighetsriktning i motsvarande lutningsvinkeln (a). . Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att sensorema är tillverkade med rätt känslighetsriktriingar pà ett och samma chip, vilket innehåller två eller fyra sensorelement. . Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att sensorema är monterade i specialtillverkade socklar som är vinklade motsvarande nämnda lutningsvinkel (u). . Arrangemang enligt krav1 eller 2, kännetecknat därav, att sensorema är monterade på en struktur med lutande bärplan. . Arrangemang enligt krav 1 eller 2, kännetecknat därav, att sensorema är monterade pà ett flexsubstrat som fästes vid kilar. . Arrangemang enligt krav 1 eller 2, 10 15 20 25 30 35 528 404 "f kännetecknat därav, att sensorema är monterade pà en mekanisk fixtur. 8. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att nämnda vinkel (u) är i intervallet 40°-65°, företrädesvis cza 55°, d.v.s. 90°- arctanfl/Jï) om sensoms känslighersaxel ligger vertikalt. 9. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att fyra bärande struktur monteras lutande och väsentligen sida vid sida, utgörande sidoma hos en väsentligen pyramidforrnig struktur, varvid varje bärande struktur innefattar ett enaxligt gyroskop (32). 10. Arrangemang enligt krav 9, vari nämnda fyra accelerometrar utfonnas som en 3-axlig ~ accelerometrar (34) med fyra massor anordnad pà en bärande struktur, utgörande en topp eller botten plan till nämnda lutande strukturer. 11. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att fyra bärande struktur monteras lutande och väsentligen sida vid sida, utgörande sidoma hos en väsentligen pyramidfonnig struktur, varvid varie bärande struktur innehåller en enaxlig accelerometer. 12. Arrangemang enligt krav 9 eller 11, kännetecknat därav, att gyrona och eventuella enaxlig accelerometer har företrädesvis känslighetsaxeln parallellt med bärande strukturens plan och riktad uppåt eller neråt m.h.t. planet för att optimal konfiguration skall erhållas med en ungefärlig lutningsvinkel (a) mot basen. 13. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, att sensorema monteras i räta vinklar med hjälp av platta substrat tillsammans med kilar. 14. Arrangemang enligt krav 1, kännetecknat därav, 528 404 8 att nämnda bärande struktur är ett substrat (61) försett med en fördjupning (611) med lutande väggar, varvid ena änden av ett gyroskop (62) är anordnad anliggande mot en av de lutande vaggama, varvid vinkeln mellan gyroskopets känslighetsaxel (66) och gyroskopet motsvarar lutningsvinkeln (u).
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0402566A SE528404C2 (sv) | 2004-10-20 | 2004-10-20 | Sensorarrangemang |
PCT/SE2005/001570 WO2006043890A1 (en) | 2004-10-20 | 2005-10-20 | Sensor device |
EP05796298A EP1802941A4 (en) | 2004-10-20 | 2005-10-20 | SENSOR DEVICE |
US11/849,681 US7814791B2 (en) | 2004-10-20 | 2007-09-04 | Sensor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE0402566A SE528404C2 (sv) | 2004-10-20 | 2004-10-20 | Sensorarrangemang |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE0402566D0 SE0402566D0 (sv) | 2004-10-20 |
SE0402566L SE0402566L (sv) | 2006-04-21 |
SE528404C2 true SE528404C2 (sv) | 2006-11-07 |
Family
ID=33448689
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE0402566A SE528404C2 (sv) | 2004-10-20 | 2004-10-20 | Sensorarrangemang |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7814791B2 (sv) |
EP (1) | EP1802941A4 (sv) |
SE (1) | SE528404C2 (sv) |
WO (1) | WO2006043890A1 (sv) |
Families Citing this family (63)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8141424B2 (en) | 2008-09-12 | 2012-03-27 | Invensense, Inc. | Low inertia frame for detecting coriolis acceleration |
US8952832B2 (en) | 2008-01-18 | 2015-02-10 | Invensense, Inc. | Interfacing application programs and motion sensors of a device |
US7934423B2 (en) | 2007-12-10 | 2011-05-03 | Invensense, Inc. | Vertically integrated 3-axis MEMS angular accelerometer with integrated electronics |
US8508039B1 (en) | 2008-05-08 | 2013-08-13 | Invensense, Inc. | Wafer scale chip scale packaging of vertically integrated MEMS sensors with electronics |
US8250921B2 (en) * | 2007-07-06 | 2012-08-28 | Invensense, Inc. | Integrated motion processing unit (MPU) with MEMS inertial sensing and embedded digital electronics |
US8462109B2 (en) | 2007-01-05 | 2013-06-11 | Invensense, Inc. | Controlling and accessing content using motion processing on mobile devices |
US20090029754A1 (en) * | 2007-07-23 | 2009-01-29 | Cybersports, Inc | Tracking and Interactive Simulation of Real Sports Equipment |
US8042396B2 (en) | 2007-09-11 | 2011-10-25 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical sensor with improved mechanical decoupling of sensing and driving modes |
US8037754B2 (en) * | 2008-06-12 | 2011-10-18 | Rosemount Aerospace Inc. | Integrated inertial measurement system and methods of constructing the same |
US7912664B2 (en) * | 2008-09-11 | 2011-03-22 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Self calibrating gyroscope system |
IT1391973B1 (it) | 2008-11-26 | 2012-02-02 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico mono o biassiale con aumentata sensibilita' al rilevamento di velocita' angolari |
ITTO20090489A1 (it) | 2008-11-26 | 2010-12-27 | St Microelectronics Srl | Circuito di lettura per un giroscopio mems multi-asse avente direzioni di rilevamento inclinate rispetto agli assi di riferimento, e corrispondente giroscopio mems multi-asse |
IT1391972B1 (it) * | 2008-11-26 | 2012-02-02 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico con movimento di azionamento rotatorio e migliorate caratteristiche elettriche |
IT1392741B1 (it) | 2008-12-23 | 2012-03-16 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico con migliorata reiezione di disturbi di accelerazione |
US8797279B2 (en) | 2010-05-25 | 2014-08-05 | MCube Inc. | Analog touchscreen methods and apparatus |
US8928602B1 (en) | 2009-03-03 | 2015-01-06 | MCube Inc. | Methods and apparatus for object tracking on a hand-held device |
IT1394007B1 (it) | 2009-05-11 | 2012-05-17 | St Microelectronics Rousset | Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione |
US8788676B2 (en) * | 2009-05-22 | 2014-07-22 | Motorola Mobility Llc | Method and system for controlling data transmission to or from a mobile device |
US8542186B2 (en) | 2009-05-22 | 2013-09-24 | Motorola Mobility Llc | Mobile device with user interaction capability and method of operating same |
US8344325B2 (en) * | 2009-05-22 | 2013-01-01 | Motorola Mobility Llc | Electronic device with sensing assembly and method for detecting basic gestures |
US8619029B2 (en) | 2009-05-22 | 2013-12-31 | Motorola Mobility Llc | Electronic device with sensing assembly and method for interpreting consecutive gestures |
US8391719B2 (en) | 2009-05-22 | 2013-03-05 | Motorola Mobility Llc | Method and system for conducting communication between mobile devices |
US8477473B1 (en) | 2010-08-19 | 2013-07-02 | MCube Inc. | Transducer structure and method for MEMS devices |
US8421082B1 (en) | 2010-01-19 | 2013-04-16 | Mcube, Inc. | Integrated CMOS and MEMS with air dielectric method and system |
US8553389B1 (en) | 2010-08-19 | 2013-10-08 | MCube Inc. | Anchor design and method for MEMS transducer apparatuses |
US8823007B2 (en) | 2009-10-28 | 2014-09-02 | MCube Inc. | Integrated system on chip using multiple MEMS and CMOS devices |
US8710597B1 (en) | 2010-04-21 | 2014-04-29 | MCube Inc. | Method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS structures |
US8476129B1 (en) | 2010-05-24 | 2013-07-02 | MCube Inc. | Method and structure of sensors and MEMS devices using vertical mounting with interconnections |
JP5318720B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2013-10-16 | 富士通テン株式会社 | 電子制御装置 |
US9709509B1 (en) | 2009-11-13 | 2017-07-18 | MCube Inc. | System configured for integrated communication, MEMS, Processor, and applications using a foundry compatible semiconductor process |
US9636550B2 (en) | 2009-11-19 | 2017-05-02 | Wilson Sporting Goods Co. | Football sensing |
US10668333B2 (en) | 2009-11-19 | 2020-06-02 | Wilson Sporting Goods Co. | Football sensing |
US10821329B2 (en) | 2009-11-19 | 2020-11-03 | Wilson Sporting Goods Co. | Football sensing |
US10751579B2 (en) | 2009-11-19 | 2020-08-25 | Wilson Sporting Goods Co. | Football sensing |
ITTO20091042A1 (it) | 2009-12-24 | 2011-06-25 | St Microelectronics Srl | Giroscopio integrato microelettromeccanico con migliorata struttura di azionamento |
US8936959B1 (en) | 2010-02-27 | 2015-01-20 | MCube Inc. | Integrated rf MEMS, control systems and methods |
US8794065B1 (en) * | 2010-02-27 | 2014-08-05 | MCube Inc. | Integrated inertial sensing apparatus using MEMS and quartz configured on crystallographic planes |
US8367522B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-02-05 | MCube Inc. | Method and structure of integrated micro electro-mechanical systems and electronic devices using edge bond pads |
US8963845B2 (en) | 2010-05-05 | 2015-02-24 | Google Technology Holdings LLC | Mobile device with temperature sensing capability and method of operating same |
US9706948B2 (en) * | 2010-05-06 | 2017-07-18 | Sachin Bhandari | Inertial sensor based surgical navigation system for knee replacement surgery |
US8751056B2 (en) | 2010-05-25 | 2014-06-10 | Motorola Mobility Llc | User computer device with temperature sensing capabilities and method of operating same |
US9103732B2 (en) | 2010-05-25 | 2015-08-11 | Google Technology Holdings LLC | User computer device with temperature sensing capabilities and method of operating same |
US8928696B1 (en) | 2010-05-25 | 2015-01-06 | MCube Inc. | Methods and apparatus for operating hysteresis on a hand held device |
US8652961B1 (en) | 2010-06-18 | 2014-02-18 | MCube Inc. | Methods and structure for adapting MEMS structures to form electrical interconnections for integrated circuits |
US8869616B1 (en) | 2010-06-18 | 2014-10-28 | MCube Inc. | Method and structure of an inertial sensor using tilt conversion |
US8993362B1 (en) | 2010-07-23 | 2015-03-31 | MCube Inc. | Oxide retainer method for MEMS devices |
CN102121829B (zh) | 2010-08-09 | 2013-06-12 | 汪滔 | 一种微型惯性测量系统 |
US8723986B1 (en) | 2010-11-04 | 2014-05-13 | MCube Inc. | Methods and apparatus for initiating image capture on a hand-held device |
US8969101B1 (en) | 2011-08-17 | 2015-03-03 | MCube Inc. | Three axis magnetic sensor device and method using flex cables |
ITTO20110806A1 (it) | 2011-09-12 | 2013-03-13 | St Microelectronics Srl | Dispositivo microelettromeccanico integrante un giroscopio e un accelerometro |
US20130068017A1 (en) * | 2011-09-20 | 2013-03-21 | Noel Perkins | Apparatus and method for analyzing the motion of a body |
US9140717B2 (en) | 2011-09-20 | 2015-09-22 | The Regents Of The University Of Michigan | Apparatus and method for identifying and analyzing the free flight dynamics of a body |
FR2991044B1 (fr) * | 2012-05-24 | 2014-05-09 | Sagem Defense Securite | Centrale inertielle a gyroscopes vibrants montes sur un carrousel et procede de mesure angulaire |
US9032794B2 (en) | 2012-08-09 | 2015-05-19 | The Regents Of The University Of Michigan | Pitcher training apparatus and method using a ball with an embedded inertial measurement unit |
JP2014048090A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Seiko Epson Corp | 電子モジュール、電子機器、及び移動体 |
US9213889B2 (en) | 2013-03-28 | 2015-12-15 | The Regents Of The University Of Michigan | Athlete speed prediction method using data from attached inertial measurement unit |
US9404747B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-08-02 | Stmicroelectroncs S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift |
CN103697909B (zh) * | 2013-12-13 | 2016-06-01 | 上海交通大学 | 导轨滑块型圆盘式微机械固体波动陀螺封装装置及方法 |
EP3060882A4 (en) | 2014-04-25 | 2017-01-25 | SZ DJI Technology Co., Ltd. | Inertial sensing device |
US20150362523A1 (en) * | 2014-06-13 | 2015-12-17 | Analog Devices, Inc. | Low Profile Multi-Axis Sensing System |
US10472098B2 (en) * | 2016-10-25 | 2019-11-12 | Honeywell International Inc. | Mass efficient reaction wheel assembly systems including multi-faceted bracket structures |
CN106767801B (zh) * | 2016-12-01 | 2019-08-09 | 北京航天时代光电科技有限公司 | 一种高可靠单轴冗余光纤陀螺惯测系统 |
WO2019143838A1 (en) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | Cubic Corporation | Cuboid inertial measurement unit |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4179818A (en) * | 1976-10-07 | 1979-12-25 | Litton Systems, Inc. | Tetrahedral redundant inertial reference unit |
US4125017A (en) * | 1977-07-29 | 1978-11-14 | Mcdonnell Douglas Corporation | Redundant inertial measurement system |
US4190364A (en) * | 1977-09-07 | 1980-02-26 | The Singer Company | Ring laser gyroscope |
US4280188A (en) * | 1978-10-11 | 1981-07-21 | Grumman Aerospace Corporation | Survivable redundant vector sensors for systems with differing maximum output requirements |
DE3634023A1 (de) * | 1986-10-07 | 1988-04-21 | Bodenseewerk Geraetetech | Integriertes, redundantes referenzsystem fuer die flugregelung und zur erzeugung von kurs- und lageinformationen |
US4841773A (en) * | 1987-05-01 | 1989-06-27 | Litton Systems, Inc. | Miniature inertial measurement unit |
GB8718004D0 (en) * | 1987-07-29 | 1987-12-16 | Marconi Co Ltd | Accelerometer |
JPH03501526A (ja) * | 1988-05-27 | 1991-04-04 | ハネウエル・インコーポレーテツド | スキユー軸慣性センサ組立体 |
US5203208A (en) * | 1991-04-29 | 1993-04-20 | The Charles Stark Draper Laboratory | Symmetrical micromechanical gyroscope |
GB9507930D0 (en) * | 1995-04-19 | 1995-06-14 | Smiths Industries Plc | Inertial sensor assemblies |
US6085590A (en) * | 1998-07-31 | 2000-07-11 | Litton Systems, Inc. | Multisensor with parametric rotor drive |
SE512716C2 (sv) * | 1999-01-18 | 2000-05-02 | Saab Ab | Metod och anordning för att beräkna reservattityd och reservkurs för ett flygplan |
US6925413B2 (en) * | 2001-12-14 | 2005-08-02 | Robert Bosch Gmbh | Method and system for detecting a spatial movement state of moving objects |
US7253079B2 (en) * | 2002-05-09 | 2007-08-07 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Coplanar mounting member for a MEM sensor |
FR2904870B1 (fr) * | 2006-08-09 | 2008-10-03 | Sagem Defense Securite | Procede d'alignement d'une centrale inertielle a capteur vibrant axisymetrique et centrale inertielle correspondante |
US7640786B2 (en) * | 2007-03-28 | 2010-01-05 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Self-calibrating accelerometer |
US8186219B2 (en) * | 2007-08-23 | 2012-05-29 | Sagem Defense Securite | Method of determining a speed of rotation of an axially symmetrical vibrating sensor, and a corresponding inertial device |
-
2004
- 2004-10-20 SE SE0402566A patent/SE528404C2/sv unknown
-
2005
- 2005-10-20 EP EP05796298A patent/EP1802941A4/en not_active Withdrawn
- 2005-10-20 WO PCT/SE2005/001570 patent/WO2006043890A1/en active Application Filing
-
2007
- 2007-09-04 US US11/849,681 patent/US7814791B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE0402566D0 (sv) | 2004-10-20 |
US20090013783A1 (en) | 2009-01-15 |
EP1802941A4 (en) | 2009-12-23 |
US7814791B2 (en) | 2010-10-19 |
WO2006043890A1 (en) | 2006-04-27 |
SE0402566L (sv) | 2006-04-21 |
EP1802941A1 (en) | 2007-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE528404C2 (sv) | Sensorarrangemang | |
US7253079B2 (en) | Coplanar mounting member for a MEM sensor | |
TW468035B (en) | Micro inertial measurement unit | |
CN100462683C (zh) | 一种隐式结构微型惯性测量单元 | |
US7401517B2 (en) | Dual-axis yaw rate sensing unit having a tuning fork gyroscope arrangement | |
CN103776448B (zh) | 一种姿态航向参考系统 | |
JP4751085B2 (ja) | センサの組立方法 | |
EP1880422B1 (en) | A device comprising a sensor module | |
WO2006088863A3 (en) | Single/multiple axes six degrees of freedom (6 dof) inertial motion capture system with initial orientation determination capability | |
CN105180918B (zh) | 三轴光纤陀螺及系统一体化结构 | |
CN104677355B (zh) | 基于多传感器融合的虚拟陀螺及方法 | |
CN107966144B (zh) | 一种基于mems传感器的惯性测量组合的装配体结构 | |
JP2012505367A (ja) | 1つのパッケージに統合され傾斜の補償がなされるコンパス | |
JP2000121369A (ja) | 加速度計内蔵の光ファイバジャイロセンサユニット | |
US20140013843A1 (en) | Inertial Sensor Mounting System | |
KR100777404B1 (ko) | 두 개의 가속도 센서를 이용한 각속도 측정방법 및 장치 | |
CN212082397U (zh) | 一种激光陀螺测试装置 | |
JP2006112856A (ja) | センサ素子基板、センサ素子基板の製造方法、センサ | |
US6611170B2 (en) | Angular rate amplifier with noise shield technology | |
CN1796932A (zh) | 微型磁红外姿态测量系统 | |
CN218865117U (zh) | 一种微机电惯性导航系统惯性器件排布设计结构 | |
JP2004361237A (ja) | 傾斜計 | |
US20230022244A1 (en) | Distributed Sensor Inertial Measurement Unit | |
JPH109889A (ja) | 慣性センサ装置 | |
JP2004361236A (ja) | ジャイロスコープ |