SE460565B - Svepanordning foer ett optiskt instrument - Google Patents

Svepanordning foer ett optiskt instrument

Info

Publication number
SE460565B
SE460565B SE8605575A SE8605575A SE460565B SE 460565 B SE460565 B SE 460565B SE 8605575 A SE8605575 A SE 8605575A SE 8605575 A SE8605575 A SE 8605575A SE 460565 B SE460565 B SE 460565B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
mirror
axis
rotation
mirrors
optical instrument
Prior art date
Application number
SE8605575A
Other languages
English (en)
Other versions
SE8605575D0 (sv
SE8605575L (sv
Inventor
K Carlsson
Original Assignee
Sarastro Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sarastro Ab filed Critical Sarastro Ab
Priority to SE8605575A priority Critical patent/SE460565B/sv
Publication of SE8605575D0 publication Critical patent/SE8605575D0/sv
Priority to EP87850368A priority patent/EP0273887A3/en
Priority to DD31112887A priority patent/DD266654A5/de
Priority to JP32559987A priority patent/JPS63169612A/ja
Publication of SE8605575L publication Critical patent/SE8605575L/sv
Publication of SE460565B publication Critical patent/SE460565B/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/101Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)

Description

460 565 2 För anordningen utnyttjas alltså två speglar, vars rörelser kan drivas medelst standardkomponenter. Den ena spegeln är belägen E i pupillens plan och den andra ett stycke bort men dock så nä- ra som det mekaniska utförandet tillåter. Den andra spegeln bi- . 5»- bringas en sådan rörelse som i stor utsträckning kompenserar för spegelns "felaktiga" läge. Inverkan av spegelns i princip Felaktiga läge kan minimeras genom lämpligt val av rotations- axel för spegeln. Den angivna lösningen har visat sig vara lätt och billig att bygga upp, kräver litet utrymme samt ger inga optiska avbildningsfel.
Uppfinningen skall närmare beskrivas i anslutning till bifogade ritning, som schematiskt visar en för mikroskop lämplig svepan- ordning enligt uppfinningen.
FÜREDRAGEN UTFÜRINGSFDRN Den på ritningen visade anordningen omfattar en första spegel 11, placerad vid ett mikroskops pupill, d.v.s. ovanför okula~ ret, och anordnad att röra sig omkring en axel 13 i huvudsak vinkelrät mot instrumentets optiska symmetriaxel 15, samt en andra spegel 12, placerad för avgivning av utsänd ljusstråle direkt till den första spegeln 11 resp. För mottagning av re- Flekterad eller emítterad ljusstràle direkt Från den första spegeln 11 och anordnad att röra sig omkring en axel 14 i hu- vudsak vinkelrät mot den Första spegelns 11 vridningsaxel 13.
De oàda speglarna med sina vridningsaxlar är_sà placerade re- lativt varandra att avståndet R mellan den andra (återstående) spegelns 12 vridningsaxel 14 och den optiska symmetriaxeln 15 är i huvudsak lika med genomsnittliga centrumavståndet mellan de två speglarna. Vidare skall vridningsaxlarna i huvudsak skära varandra, varmed menas att de faktiskt skär varandra eller i varje fall passerar nära Förbi varandra, En anordning enligt uppfinningen kan utnyttjas För belysning av ett objekt i en eller Flera punkter pà objektets yta, och/ eller för detektering av från en eller flera punkter på objek- tets yta reflekterat eller emitterat ljus. Val av punkt 460 565 f' 5 (punkter) på objektet sker genom programenlig vridning (rotering) av resp. spegel omkring tillhörande axel. Den första spegeln 11 (snabbt roterande) kan vridas medelst en likströmsmotor, varvid kontinuerlig rotation erhålles, och vinkelläget fastställes med en roterande avkodare. Alternativt kan spegeln 11 vridas medelst en galvanometrisk vridspole, varvid oscillerande rörelse erhål- les.
Den andra spegeln 12 (långsamt roterande) vrides lämpligen med en steg-motor eller galvanometrísk vridspole.
Praktiska försök har visat att den första spegeln 11 lämpligen bringas att oscillera eller rotera med en frekvens av storleks- ordningen 1 - 1000 Hz, företrädesvis inom området 25 - 50 Hz, medan den andra spegeln 12 lämpligen bringas att oscillera med en frekvens av storleksordningen 0,01 - 10 Hz, företrädesvis in- om området 0,1 - 0,3 Hz.
För att erhålla maximal belysning av ett objekt utnyttjas lämp- ligen en laserstråle med samma diameter som míkroskopets pupill, vilken stråle - oberoende av de oscillerande speglarnas lägen - med god approximation riktas mot pupillen. Detta är schematiskt visat på ritningen. Från en laserkälla 18 utgår en laserstråle mot spegeln 12, reflekteras av denna mot spegeln 11, som reflek- terar strålen vidare genom mikroskopets optik mot ett objekt.
Av objektet reflekterad stràle går sedan samma väg tillbaka mot en halvgenomskinlig spegel 16 och reflekteras av denna till en detektor 17 för utvärdering.
Man kan också tänkas sig att från objektets yta emitteras ljus- strålning genom míkroskopet mot spegeln 11, spegeln 12 och se- den direkt till en detektor, i vilket fall någon laserkälla 18 ej erfordras.
För säkerhets skull poängteras, att í det föregående omnämnda axlarna 13 och 14 kan vara "virtuel1a", d.v.s, i realiteten motsvaras av mekaniskt/elektriskt arrangemang som ger speglarna angivna rörelseförlopp.

Claims (2)

460 565 4 PÅTEPJTKRÅV
1. Svepanordning för ett optiskt instrument, omfattande två soeglar (11,12), varvid en (ll) av nämnda två speglar är placerad vid ínstrumentets ingàngs- resp. utgângspupill och är anord~ nad att röra sig omkring en axel (13) i huvudsak vinkelrät mot instrumentets symmetriaxel, och varvid den återstående spegeln (12) av nämnda tvâ speglar (11,12) är anordnad att röra sig om- kring en axel (14) i huvudsak vinkelrät mot den Först nämnda spegelns (11) vrídningsaxel (13), k ä n n e t e c k n a d d ä r a v , att avståndet (R) mellan den återstående spegelns (12) vridnings- axel (1ü) och den optiska symmetriaxeln (15) är i huvudsak lika med genomsnittliga centrumavståndet mellan de två speglarna, och att de två vridningsaxlarna (13,14) i huvudsak skär varandra.
2. Svenanordníng enligt oatentkravet 1, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v , att den först nämnda spegeln (11) är anordnad att oscillera eller rotera med relativt hög Frekvens av storleksordningen 1 ~'1Û00 Hz, företrädesvis 25 - 50 Hz, och att den återstående spegeln (12) är anordnad att oscíllera med relativt låg frekvens av storleksordningen 0,01 - 10 Hz, företrädesvis 0,1 - 0,3 Hz. 'IA
SE8605575A 1986-12-29 1986-12-29 Svepanordning foer ett optiskt instrument SE460565B (sv)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE8605575A SE460565B (sv) 1986-12-29 1986-12-29 Svepanordning foer ett optiskt instrument
EP87850368A EP0273887A3 (en) 1986-12-29 1987-11-26 An arrangement in optical instruments
DD31112887A DD266654A5 (de) 1986-12-29 1987-12-23 Optische abtastvorrichtung
JP32559987A JPS63169612A (ja) 1986-12-29 1987-12-24 光学的走査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE8605575A SE460565B (sv) 1986-12-29 1986-12-29 Svepanordning foer ett optiskt instrument

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE8605575D0 SE8605575D0 (sv) 1986-12-29
SE8605575L SE8605575L (sv) 1988-06-30
SE460565B true SE460565B (sv) 1989-10-23

Family

ID=20366762

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE8605575A SE460565B (sv) 1986-12-29 1986-12-29 Svepanordning foer ett optiskt instrument

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0273887A3 (sv)
JP (1) JPS63169612A (sv)
DD (1) DD266654A5 (sv)
SE (1) SE460565B (sv)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8817672D0 (en) * 1988-07-25 1988-09-01 Sira Ltd Optical apparatus
EP0361100B1 (de) * 1988-08-30 1994-12-28 Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. Vorrichtung zur zweidimensionalen Abtastung einer Oberfläche
FR2643472A1 (fr) * 1989-02-20 1990-08-24 Rouille Philippe Systeme de generation et de projection laser en ecriture et graphisme
DE4103298A1 (de) * 1991-02-04 1992-08-13 Heidelberg Engineering Optisch Vorrichtung zur abbildung eines objektes

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3460880A (en) * 1964-12-18 1969-08-12 Beckman Instruments Inc Point illumination and scanning mechanism for microscopes
JPS55131728A (en) * 1979-03-30 1980-10-13 Agency Of Ind Science & Technol Optical scanning device
US4387952A (en) * 1981-03-27 1983-06-14 Spectra-Physics, Inc. Single axis beam scanner

Also Published As

Publication number Publication date
EP0273887A2 (en) 1988-07-06
EP0273887A3 (en) 1990-08-08
SE8605575D0 (sv) 1986-12-29
JPS63169612A (ja) 1988-07-13
DD266654A5 (de) 1989-04-05
SE8605575L (sv) 1988-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1039263B1 (en) Surveying system
JP6869900B2 (ja) ビームディレクタ
EP0319237A2 (en) Light-scanning reader
US4104615A (en) Flashing signal light
CN108332159A (zh) 光学单元
JPH1038571A (ja) 回転レーザ装置
JP2008051802A (ja) 光断層撮影装置用の回転装置および回転装置付きの光断層撮影装置
SE460565B (sv) Svepanordning foer ett optiskt instrument
JPH0415403B2 (sv)
US10048493B2 (en) Three-dimensional drive device
US4153926A (en) Cyclic illumination device
JP4870283B2 (ja) レーザ照準装置
JP2022103971A (ja) 光走査装置及び測距装置
US3449035A (en) Stroboscope mirror device
JPH11230747A (ja) レーザ照射装置
EP3140612B1 (en) Five axis optical inspection system
KR880004548A (ko) 반도체웨이퍼표면검사용 레이저빔의 주사장치 및 주사방법
JPH11325891A (ja) レーザーレベル装置
JPH07104899B2 (ja) 光走査装置
JP3769105B2 (ja) レーザ装置
JPS59191585A (ja) 管状部材加工機
JPS5547570A (en) Optical reading device
JPH05245679A (ja) 回転体のレーザ加工装置
JPS58102152A (ja) 超音波顕微鏡
FR2247702A1 (en) Surveying instrument indicating plane in space - has light source directed to rotating head with two prisms

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8605575-3

Effective date: 19910704

Format of ref document f/p: F