SE460565B - Svepanordning foer ett optiskt instrument - Google Patents
Svepanordning foer ett optiskt instrumentInfo
- Publication number
- SE460565B SE460565B SE8605575A SE8605575A SE460565B SE 460565 B SE460565 B SE 460565B SE 8605575 A SE8605575 A SE 8605575A SE 8605575 A SE8605575 A SE 8605575A SE 460565 B SE460565 B SE 460565B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- mirror
- axis
- rotation
- mirrors
- optical instrument
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Description
460 565 2 För anordningen utnyttjas alltså två speglar, vars rörelser kan drivas medelst standardkomponenter. Den ena spegeln är belägen E i pupillens plan och den andra ett stycke bort men dock så nä- ra som det mekaniska utförandet tillåter. Den andra spegeln bi- . 5»- bringas en sådan rörelse som i stor utsträckning kompenserar för spegelns "felaktiga" läge. Inverkan av spegelns i princip Felaktiga läge kan minimeras genom lämpligt val av rotations- axel för spegeln. Den angivna lösningen har visat sig vara lätt och billig att bygga upp, kräver litet utrymme samt ger inga optiska avbildningsfel.
Uppfinningen skall närmare beskrivas i anslutning till bifogade ritning, som schematiskt visar en för mikroskop lämplig svepan- ordning enligt uppfinningen.
FÜREDRAGEN UTFÜRINGSFDRN Den på ritningen visade anordningen omfattar en första spegel 11, placerad vid ett mikroskops pupill, d.v.s. ovanför okula~ ret, och anordnad att röra sig omkring en axel 13 i huvudsak vinkelrät mot instrumentets optiska symmetriaxel 15, samt en andra spegel 12, placerad för avgivning av utsänd ljusstråle direkt till den första spegeln 11 resp. För mottagning av re- Flekterad eller emítterad ljusstràle direkt Från den första spegeln 11 och anordnad att röra sig omkring en axel 14 i hu- vudsak vinkelrät mot den Första spegelns 11 vridningsaxel 13.
De oàda speglarna med sina vridningsaxlar är_sà placerade re- lativt varandra att avståndet R mellan den andra (återstående) spegelns 12 vridningsaxel 14 och den optiska symmetriaxeln 15 är i huvudsak lika med genomsnittliga centrumavståndet mellan de två speglarna. Vidare skall vridningsaxlarna i huvudsak skära varandra, varmed menas att de faktiskt skär varandra eller i varje fall passerar nära Förbi varandra, En anordning enligt uppfinningen kan utnyttjas För belysning av ett objekt i en eller Flera punkter pà objektets yta, och/ eller för detektering av från en eller flera punkter på objek- tets yta reflekterat eller emitterat ljus. Val av punkt 460 565 f' 5 (punkter) på objektet sker genom programenlig vridning (rotering) av resp. spegel omkring tillhörande axel. Den första spegeln 11 (snabbt roterande) kan vridas medelst en likströmsmotor, varvid kontinuerlig rotation erhålles, och vinkelläget fastställes med en roterande avkodare. Alternativt kan spegeln 11 vridas medelst en galvanometrisk vridspole, varvid oscillerande rörelse erhål- les.
Den andra spegeln 12 (långsamt roterande) vrides lämpligen med en steg-motor eller galvanometrísk vridspole.
Praktiska försök har visat att den första spegeln 11 lämpligen bringas att oscillera eller rotera med en frekvens av storleks- ordningen 1 - 1000 Hz, företrädesvis inom området 25 - 50 Hz, medan den andra spegeln 12 lämpligen bringas att oscillera med en frekvens av storleksordningen 0,01 - 10 Hz, företrädesvis in- om området 0,1 - 0,3 Hz.
För att erhålla maximal belysning av ett objekt utnyttjas lämp- ligen en laserstråle med samma diameter som míkroskopets pupill, vilken stråle - oberoende av de oscillerande speglarnas lägen - med god approximation riktas mot pupillen. Detta är schematiskt visat på ritningen. Från en laserkälla 18 utgår en laserstråle mot spegeln 12, reflekteras av denna mot spegeln 11, som reflek- terar strålen vidare genom mikroskopets optik mot ett objekt.
Av objektet reflekterad stràle går sedan samma väg tillbaka mot en halvgenomskinlig spegel 16 och reflekteras av denna till en detektor 17 för utvärdering.
Man kan också tänkas sig att från objektets yta emitteras ljus- strålning genom míkroskopet mot spegeln 11, spegeln 12 och se- den direkt till en detektor, i vilket fall någon laserkälla 18 ej erfordras.
För säkerhets skull poängteras, att í det föregående omnämnda axlarna 13 och 14 kan vara "virtuel1a", d.v.s, i realiteten motsvaras av mekaniskt/elektriskt arrangemang som ger speglarna angivna rörelseförlopp.
Claims (2)
1. Svepanordning för ett optiskt instrument, omfattande två soeglar (11,12), varvid en (ll) av nämnda två speglar är placerad vid ínstrumentets ingàngs- resp. utgângspupill och är anord~ nad att röra sig omkring en axel (13) i huvudsak vinkelrät mot instrumentets symmetriaxel, och varvid den återstående spegeln (12) av nämnda tvâ speglar (11,12) är anordnad att röra sig om- kring en axel (14) i huvudsak vinkelrät mot den Först nämnda spegelns (11) vrídningsaxel (13), k ä n n e t e c k n a d d ä r a v , att avståndet (R) mellan den återstående spegelns (12) vridnings- axel (1ü) och den optiska symmetriaxeln (15) är i huvudsak lika med genomsnittliga centrumavståndet mellan de två speglarna, och att de två vridningsaxlarna (13,14) i huvudsak skär varandra.
2. Svenanordníng enligt oatentkravet 1, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v , att den först nämnda spegeln (11) är anordnad att oscillera eller rotera med relativt hög Frekvens av storleksordningen 1 ~'1Û00 Hz, företrädesvis 25 - 50 Hz, och att den återstående spegeln (12) är anordnad att oscíllera med relativt låg frekvens av storleksordningen 0,01 - 10 Hz, företrädesvis 0,1 - 0,3 Hz. 'IA
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE8605575A SE460565B (sv) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Svepanordning foer ett optiskt instrument |
EP87850368A EP0273887A3 (en) | 1986-12-29 | 1987-11-26 | An arrangement in optical instruments |
DD31112887A DD266654A5 (de) | 1986-12-29 | 1987-12-23 | Optische abtastvorrichtung |
JP32559987A JPS63169612A (ja) | 1986-12-29 | 1987-12-24 | 光学的走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SE8605575A SE460565B (sv) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Svepanordning foer ett optiskt instrument |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE8605575D0 SE8605575D0 (sv) | 1986-12-29 |
SE8605575L SE8605575L (sv) | 1988-06-30 |
SE460565B true SE460565B (sv) | 1989-10-23 |
Family
ID=20366762
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE8605575A SE460565B (sv) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | Svepanordning foer ett optiskt instrument |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0273887A3 (sv) |
JP (1) | JPS63169612A (sv) |
DD (1) | DD266654A5 (sv) |
SE (1) | SE460565B (sv) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB8817672D0 (en) * | 1988-07-25 | 1988-09-01 | Sira Ltd | Optical apparatus |
EP0361100B1 (de) * | 1988-08-30 | 1994-12-28 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Förderung Der Angewandten Forschung E.V. | Vorrichtung zur zweidimensionalen Abtastung einer Oberfläche |
FR2643472A1 (fr) * | 1989-02-20 | 1990-08-24 | Rouille Philippe | Systeme de generation et de projection laser en ecriture et graphisme |
DE4103298A1 (de) * | 1991-02-04 | 1992-08-13 | Heidelberg Engineering Optisch | Vorrichtung zur abbildung eines objektes |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3460880A (en) * | 1964-12-18 | 1969-08-12 | Beckman Instruments Inc | Point illumination and scanning mechanism for microscopes |
JPS55131728A (en) * | 1979-03-30 | 1980-10-13 | Agency Of Ind Science & Technol | Optical scanning device |
US4387952A (en) * | 1981-03-27 | 1983-06-14 | Spectra-Physics, Inc. | Single axis beam scanner |
-
1986
- 1986-12-29 SE SE8605575A patent/SE460565B/sv not_active IP Right Cessation
-
1987
- 1987-11-26 EP EP87850368A patent/EP0273887A3/en not_active Withdrawn
- 1987-12-23 DD DD31112887A patent/DD266654A5/de not_active IP Right Cessation
- 1987-12-24 JP JP32559987A patent/JPS63169612A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0273887A2 (en) | 1988-07-06 |
EP0273887A3 (en) | 1990-08-08 |
SE8605575D0 (sv) | 1986-12-29 |
JPS63169612A (ja) | 1988-07-13 |
DD266654A5 (de) | 1989-04-05 |
SE8605575L (sv) | 1988-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1039263B1 (en) | Surveying system | |
JP6869900B2 (ja) | ビームディレクタ | |
EP0319237A2 (en) | Light-scanning reader | |
US4104615A (en) | Flashing signal light | |
CN108332159A (zh) | 光学单元 | |
JPH1038571A (ja) | 回転レーザ装置 | |
JP2008051802A (ja) | 光断層撮影装置用の回転装置および回転装置付きの光断層撮影装置 | |
SE460565B (sv) | Svepanordning foer ett optiskt instrument | |
JPH0415403B2 (sv) | ||
US10048493B2 (en) | Three-dimensional drive device | |
US4153926A (en) | Cyclic illumination device | |
JP4870283B2 (ja) | レーザ照準装置 | |
JP2022103971A (ja) | 光走査装置及び測距装置 | |
US3449035A (en) | Stroboscope mirror device | |
JPH11230747A (ja) | レーザ照射装置 | |
EP3140612B1 (en) | Five axis optical inspection system | |
KR880004548A (ko) | 반도체웨이퍼표면검사용 레이저빔의 주사장치 및 주사방법 | |
JPH11325891A (ja) | レーザーレベル装置 | |
JPH07104899B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP3769105B2 (ja) | レーザ装置 | |
JPS59191585A (ja) | 管状部材加工機 | |
JPS5547570A (en) | Optical reading device | |
JPH05245679A (ja) | 回転体のレーザ加工装置 | |
JPS58102152A (ja) | 超音波顕微鏡 | |
FR2247702A1 (en) | Surveying instrument indicating plane in space - has light source directed to rotating head with two prisms |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8605575-3 Effective date: 19910704 Format of ref document f/p: F |