SE456971B - Ultraljudsinstrument - Google Patents
UltraljudsinstrumentInfo
- Publication number
- SE456971B SE456971B SE8701117A SE8701117A SE456971B SE 456971 B SE456971 B SE 456971B SE 8701117 A SE8701117 A SE 8701117A SE 8701117 A SE8701117 A SE 8701117A SE 456971 B SE456971 B SE 456971B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- vessel
- sensor
- ultrasonic
- ultrasound
- liquid
- Prior art date
Links
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims abstract 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 7
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000737 Duralumin Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003851 biochemical process Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 238000004113 cell culture Methods 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 229920006335 epoxy glue Polymers 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 230000035876 healing Effects 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 235000012771 pancakes Nutrition 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B3/00—Methods or apparatus specially adapted for transmitting mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Surgical Instruments (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
15 20 25 30 35 456 971 2, Deras uppkomst hänger samman med sättet att_ utforma ultra- ljudsgivaren (vanligen innehållande en eller flerapiezoelektriska kristaller) och dess anslutning mot kärlet.Undertonerna är således inte orsakade av det elektriska kraftsystemet i sig, utan har ett akustiskt ursprung.
Idag finns två konstruktioner på marknaden. Den vanligaste är cylindersymmetrisk och ärfäst vid kärlets undersida. Ett konformat framstycke limmas mot kärlet med konens bas (typisk diameter 45 mm) som anliggningsyta. Den andra ändan av konen (typisk diameter 35 mm) ansluts mot en eller ett par piezo- elektriska kristaller. Konens höjd är omkring 18 mm.I ett utförande finns två piezokristaller med- diameter 35 mmoch tjocklek 6 mm staplade på varandra. På piezokristallernasbaksida finns en kort cylinder (bakstycke), diametern 35 mmoch tjocklek 10 mm. Denna givare hålls ihop av en bult som gár längst givarens centrumaxel. Elektroder förser piezokristallernamed spänning. den totala tjockleken är 40 mm, och givaren har en arbetsfrekvens på 40 lkHw, motsvarande en svängningsresonans i givaren. I denna utformning betecknas framstycket som positivtkonat. Denna givare förmår transmittera högst ca 50 watt ultraljud till badet, enligt tillverkaren. Den troliga orsakentill denna begränsning är att ultraljudet måste transmitteras genom en begränsad yta (diameter 45 mm) till badet, varför intensiteten blir hög. När denna intensitet blir för hög bildas en gkavitationskudde i vätskan utanför givaren, som effektivt begränsar effektöverföringen Theodor F Hueter & Richard H Bolt,Sonics, Wiley, New York, 1955, sidan 232). Om man behöver mer ultraljudseffekt i badet, man anbringa flera givare. måste Den andra typen av givare betecknas som en pannkaka innehållande en piezoelektrisk kristall i form av en platta som anbringas mot kärlet med dess plansida som anliggningsyta. En sådan givare har en diameter av storleksordningen 40 mm. Sådana givare är mycket enkla, men har en reletivt låg verkningsgrad, varför de används främst i applikationer där den önskade ultraljudseffekten är låg.
Den akustiska böjvågslängden i dessa kärl är omkring 10 mm för 10 15 20 25 30 35 456 971 frekvenser omkring 40 kflw. Anliggningsytorna hos givarna ovan är därför flera böjvågsländer stora, och ungefär lika stora som en ljudvågslängd i vatten vid dessa frekvenser. Detta gör att det ultraljud som alstras i givarna stràlas ut mot fluidumet genom just denna yta, så att ultraljudets intensitet är ungefär ultraljudseffekten dividerad med anliggningsytan. Vidare innebar detta att en "skuggvinkel" bildas, så att endast den del av badets volym som finns inom en beräkningsbar vinkel fràn norma1en(vanligen mellan 45 och 60 grader) bestràlas direkt med ultraljud. För att få ett starkt ultraljudsfält i fluidemet màsteintensiteten utanför givaren fluidumet vara hög.
Det är just denna höga ultraljudsintensitet som ger upphov till undertoner och hörbart ljud. Höga ultraljudsintensiteter bör man undvika, dels därför att de innebär en begränsning på den effekt som kan transmitteras till badet, och dels därför att de ger upphov till undertoner och hörbartljud. Det senare har studerats ingående av Werner Lauterborn mfl (se exempelvis Physic Today, January 1986, sid S-4, och referenser däri). Givaren enligt uppfinningen är så konstruerad att denna höga intensitet inte föreligger och undertonerna uteblir. Detta har ástadkommits genom att tillverka en givare som närmast motsvarar den första av de tvâ givarna ovan, men med ett negativt konat framstycke, enligt figur 1. Resultatet är att ultraljudet stràlas in i fluidumet från kärlets alla begränsningsytor, varvid intensiteten hàlles låg medan den totala effekten förblir hög, eller t o m kan höjas.
Effektbegränsningen per givare uteblir, Ultraljudsbadet enligt uppfinningen är tyst. liksom skuggvinkeln.
Nya rön visar att högre ultraljudsfrekvenser (över ca 50 kHz) kan vara effektivare för exempelvis rengöring av molekyler smuts från metallytor an lägre ultraljudsfrekvenser (under ca 50 kHz) (D H McQueen, Ultrasonios 24, 273 (1986)). Ultraljudsgivaren enligt uppfinningen är så konstruerad att den kan användas vid flera olika arbetsfrekvenser, exempelvis ca 45 kHz, ca 100 kHz, och ca 170 kHz, till och med samtidigt. Detta har gjorts i ett bestämt syfte: att kunna arbeta med låga och höga ultraljudsfrekvenser samtidigt. Det visade sig att kombinationen av làga och, höga d45e 971 7 10 15 20 25 30 35 ultraljudsfrekvenser samtidigt ger en snabbare och därmed effektivare rengöring än en enda frekvens, förutsatt att den totala ultraljudseffekten i de bägge fallen är väsentligen den densamma. Detta är ett viktigt kännetecken hos uppfinningen.
Uppfinningens ändamål och viktigaste kännetäcken Ändamålet med föreliggande uppfinning är att åstakomma en apparat som kan alstra en tyst ultraljudsgivare som kan transmittera höga ultraljudseffekter till fluider och som kan användas vid flera olika frekvenser, antingen en och en eller i kombination.
Ultraljudseffekten i ett fluidum i ett kärl förblir hög samtidigt som ultraljudsintensiteten vid kärlets begränsningsytor hålles relativt låg. Detta leder till att undertoner uteblir och till att ulraljudsbestrålningen av ett föremål i fluidumet sker från många olika håll samtidigt. Apparaten kännetecknas av att diametern resp. diagonalen på ultraljudsgivarens anliggningsyta (1) mot kärlet är mindre än eller lika med böjvågslängden i kärlets material och ljudvågslängden i vätskan.
Beskrivning av ritningarna Uppfinningen kommer i det följande att närmare beskrivas med hänvisning till några bifogade ritningar visande ett utförings- exempel samt resultat av vetenskapliga försök med prototyput- rustningar.
Figur 1 visar en variant av en givare enligt uppfinningen. Den består i huvudsak av ett framstycke 3 med en negativt konat utformning 2 mot givarens anliggningsyta 1 mot kärlet, en piezoelektrisk kristall 5 och en elektrod 4, och ett bakstycke 6.
Figur 2 visar matresultat framtagna med ett prototypinstrument enligt uppfinningen. Mätresultaten visar att ultraljudsinstru- mentet enligt uppfinningen gör metallytor rena snabbare än dagens kommersiella instrument.
Beskrivningjv utföringsexempel av 10 15 20 25 30 35 456 971 En givare enligt uppfinningen visas i ett utförande i figur l.
De mätresultat som visas i figur 2 har erhållits med en givare väsentligen konstruerad enligt vad som visas i figur l. Denna givare hade en anliggningsyta l med diameter 7 mm. Framstycket 3 tillverkades i duraluminium, som har för metaller relativt låg akustisk impedans. Framstyckets totala längd var 25 mm, och den negativt konade delen 2 hade en längd av ll mm. Koningen bör uppvisa en kontinuerlig övergång mellan den stora diametern (25 mm) och den mindre (7 mm). Givarens bakstycke 6 är tillverkad i stål, som har en för metaller relativt hög akustisk impedans.
Den är 24,9 mm lång. Således bör framstycket tillverkas i material med låg akustisk impedans, och bakstycket i hög akustisk impedans. Mellan framstycket och bakstycket anbringas en piezoelektrisk kristall 5 (tjocklek 2 mm) och en elektrod 4. I de givare som användes i experimenten fanns också en tunn keramik- för att elektriskt isolera framstycket av säkerhetsskäl. Elektrisk ström med önskad frekvens kopplas till givaren i figur 1 medelst elektroden och bakstycket. I experimentet användes en givare med två på varandra staplade piezoelektriska kristaller med ytteligare två elek- troder. Givaren enligt figur 1 har visats sig ha en något högre verkningsgrad än givaren i exprimenten. skiva mellan elektroden och framstycket, Hela givaren är ihoplimmad med värmehärdad epoxylim, till skillnad mot de flesta kommersiella givare som hålls ihop medelst en central bult. Det har visat sig att limmet fungerar bra och underlättar tillverkningen. Givarens anliggningsyta 1 limmas mot stålkärlet (väggtjocklek ca 0,4 mm) med detta lim. I detta utförande är givarens tre lägsta svängningsresonanser ca 45 kHz, ca 100 kHz, och ca 170 kHz. En och samma givare kan användas för vilken som helst av dessa frekvenser, och den kan leverera drygt 100 watt akustisk effekt till ett vattenbad i det anbringade kärlet.
Givetvis kan givaren ges andra dimensioner, beroende på vilka frekvenser man önskar generera och vilka effekter man vill kunna Givaren behöver heller inte vara ihoplimmad, hantera . utan kan 10 15 20 25 30 35 456 971 bultas ihop. Vidare kan man byta ut de olika materialen (duralu- minium och stål) mot andra material om så är önskvärt i viss tillämpning. Man behöver inte använda piezoelektriskt material som omvandlarelement, utan magnetostroktiva material och andra material kan användas. Det viktiga är att givarens anliggningsyta 1 är mindre än eller av samma storleksordning som böjvågslängden i kärlet eller ljudvåglängden i det fluidum som skall exciteras med ultraljudet.
En 0,6mm tjock keramikskiva har placerats mellan framstycket och elektroden för att isolera framstycket och kärlet elektriskt från det elektriska systemet. Man kan givetvis använda andra material än just keramik, och andra tjocklekar. Det kan också vara fördelaktigt att utnyttja keramikskivan (eller motsvarande) i ett mekaniskt stödsystem för givaren som helhet. Som bekant, bör man undvika mekaniska kontakter till ultraljudsgivare som kan störa resonansbilden eller suga bort ultraljudet på ett icke önskvärt sätt. Ett sätt att åstakomma en mekanisk kontakt som inte är behäftad med dessa nackdelar är att anbringa det mekaniska, stödet i eller nära en hastighetsnod i givaren.
Keramikskivan är belägen nära en sådan nod, och kan därför användas som stödpunkt utan att störa givarens funktion i övrigt.
I figur 2 visas mätresultat erhållna med givare väsentligen enligt givaren i figur 1. Här visas hur fort ett fingeravtryck från en titanyta bearbetas med ultraljud (ca 40 watt i 0,9 liter vatten vid 25°C, eller ekvivalenta effekter i större bad). Längst vertikalaxeln visas hur många procent av fingeravtrycken har försvunnit (uppmätt elektroniskt medelst Galvani-potentialen, se exempelvis D H McQueen, "Electrochemical evaluation of ultrasonic cleaning: the Galvani potential", Ultrasonics gg, 49 (1986), och längst horisontalaxeln visas tiden. Den längsta kurvan, utan symboler, har erhållits i ett kommersiellt instrument som arbetar med en frekvens på 47 kflw och som alstrar starka hörbara toner.
De övriga kurvorna har erhållits med tysta ultraljudsinstrument enligt uppfinningen. Kurvan. märkt "+" gäller 45 kHz; kurvan märkt med rutor gäller 100 kHz: kurvan märkt med trianglar gäller 170 kHz. Den högsta kurvan, märkt med "x", gäller en kombination 10 15 20 25 30 35 456 971 av 45 kHz ultraljud (halva effekten) och 170 kHz ultraljud (halva effekten), med total ultraljudseffekt lika med den ultraljudsef- fekt som användes för de tre andra matningarna enligt uppfinnin- gen. Liknande kurvor har erhållits för industriell polerpasta i stället för fingeravtryck. Förloppet går fortare när man använder högre temperaturer och bättre lösningsmedel.
Det är klart att det kommersiella instrumentet uppvisar den sämsta rengöringsförmågan. Detta kan bero på att ultraljudet strålas in i badet från en begränsad yta definierad av givarens anliggningsyta, varvid en skuggvinkel uppstår. Föremålet för rengöringen bestrålas huvudsakligen från en enda riktning. De övriga kurvorna, för instrument enligt uppfinningen, visar stigande rengöringseffektivetet. När frekvensen höjs får man snabbare rengöring, i enlighet med den teori som framlades av 273 (1986)). Den högsta kurvan visar något nytt. Man skulle kunna tänka sig att en samtidig kombi- nation av låga och höga ultraljudsfrekvenser skulle ge resultat som motsvarar ett medelvärde av dessa två frekvenser var för sig.
Sá är inte fallet, utan man får ett oväntat och positivt resultat. Orsaken till detta oväntade positiva resultat är okänd.Den kan upprepas med industriell polerpasta på titanytor.
Givaren enligt uppfinningen är synnerligen väl lämpad för att utnyttja detta positiva resultat, då den kan användas vid två eller flera frekvenser samtidigt. Givetvis är det lämpligt att frekvenserna skall vara olika, exempelvis skall den ena frekven- sen vara minst femtio procent högre en den andra. Detta utesluter i och för sig inte att man väljer 20 kHz och 30 kHz, men det framgår av figur att det vore bättre att arbeta med den ena frekvensen vara minst femtio procent högre än den andra. Detta utesluter i och för sig inte att man väljer 20 kHz och 30 kHz, men det framgår av figur 2 att det vore bättre att arbeta med den ena frekvenser mellan ca 30 kHz och ca 50 kHz, frekvensen över ca 100 kHz.
McQueen (Ultrasonics gå, och den andra Man skall inte glömma att högre och att högre frekvenser kan bättre tränga in i trånga utrynunen i tillexempel fin mekanik än vad lägre frekvenser kan göra. frekvenser kan vara mer effektiva vid rengöring, 10 15 456 971 Uppfinningen är givetvis inte begränsad till de ovan angivna exemplen utan kan varieras inom ramen för de principerna som har berörts. Vidare är uppfinningens tillämpning inte begränsad till rengöring av fasta föremål i vätske bad, typ finmekanik, elektriska och elektroniska kompotenter (kretskort, keramik- substrat, kiselskivor, integrerade kretsar, etc), optiska komponenter (linser, filter, fiberoptik, etc), mm, även om ultraljud har visat sig vara utmärkt bra för rengöring. av ytmonterade kretskort (se Jan Wimpemyr & Carl Gunnar Bergendahl, “tvättning av ytmonterade kretskort", IVF Resultat 85612, september 1985 (Sveriges Mekanförbund). Uppfinningen kan med fördel tillämpas inom processindustrier, exempelvis vid elektro- kemiska processer typ elektroplátering, biokemiska processer typ cellodling, katalytiska processer typ avloppsrening, separerings- processer typ ultrafiltrering kromatografi, utläkningsprocesser, mm. Vidare är det frekvensomfàng som avses här inte begränsad vare sig nertill eller upptill. Givarens effekt kan utökas till flera hundra watt eller minskas till ett fåtal watt, exempelvis genom att ändra givarens diameter. 14./
Claims (3)
1. l. Apparat för att bringa en i ett kärl befintlig vätska i rörelse medelst ultraljud för rengöring och/eller penetrering av ett i vätskan åtminstone partiellt nedsänkt föremål, och innefattande minst en ultraljudsgivare (1-6) anordnad i fast kontakt med kärlet, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att diametern resp. diagonalen pá ultraljudsgivarens anliggnings- yta (l) mot kärlet är mindre än eller lika med böjvàgslängden i kärlets material och ljudvàgslängden i vätskan.
2. Apparat enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att ultraljudsgivaren är anordnad att avge en kombination av höga och låga frekvenser, antingen överlagrade från samma givare eller olika frekvenser från olika givare.
3. Apparat enligt patentkravet 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a d d ä r a v, att givarens med kärlet förbundna framstyoke (3) vid ena ändpartiet är utformad som en stympad kon eller liknande med konkav mantelyta (2), att konans toppyta (1) är anliggningsyta mot kärlet, vilket är fast förbundet med anliggningsytan via ett förband, lämpligen ett limförband.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE8701117A SE456971B (sv) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | Ultraljudsinstrument |
| PCT/SE1988/000141 WO1988006927A1 (en) | 1987-03-18 | 1988-03-18 | Ultrasonic instrument |
| DE8888902977T DE3876093D1 (de) | 1987-03-18 | 1988-03-18 | Ultraschallinstrument. |
| EP88902977A EP0351416B1 (en) | 1987-03-18 | 1988-03-18 | Ultrasonic instrument |
| AT88902977T ATE82530T1 (de) | 1987-03-18 | 1988-03-18 | Ultraschallinstrument. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE8701117A SE456971B (sv) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | Ultraljudsinstrument |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE8701117D0 SE8701117D0 (sv) | 1987-03-18 |
| SE8701117L SE8701117L (sv) | 1988-09-19 |
| SE456971B true SE456971B (sv) | 1988-11-21 |
Family
ID=20367904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE8701117A SE456971B (sv) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | Ultraljudsinstrument |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0351416B1 (sv) |
| AT (1) | ATE82530T1 (sv) |
| DE (1) | DE3876093D1 (sv) |
| SE (1) | SE456971B (sv) |
| WO (1) | WO1988006927A1 (sv) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4136897C1 (sv) * | 1991-11-09 | 1992-09-03 | Martin Walter Ultraschalltechnik Gmbh, 7541 Straubenhardt, De | |
| DE60126857T2 (de) * | 2000-04-28 | 2007-10-31 | Kao Corp. | Horn für eine Vorrichtung zur Ultraschallreinigung |
| US6853794B2 (en) * | 2002-07-02 | 2005-02-08 | Lightel Technologies Inc. | Apparatus for cleaning optical fiber connectors and fiber optic parts |
| GB2425974A (en) | 2005-05-09 | 2006-11-15 | Orion Diagnostica Oy | Sonication of a medium |
| AU2013204792B2 (en) * | 2012-10-08 | 2014-09-18 | Liquitab Systems Limited | Apparatus method and system for disintegration of a solid |
| FR3057667B1 (fr) * | 2016-10-13 | 2018-11-30 | Centre National De La Recherche Scientifique | Transducteur piezoelectrique, procede de fabrication s'y rapportant, et dispositif de spectroscopie par resonance ultrasonore |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4074152A (en) * | 1974-09-30 | 1978-02-14 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Ultrasonic wave generator |
| FR2580198B1 (fr) * | 1985-04-16 | 1988-09-09 | Omega Formation | Dispositif de nettoyage de pieces mecaniques par ultrasons |
-
1987
- 1987-03-18 SE SE8701117A patent/SE456971B/sv not_active IP Right Cessation
-
1988
- 1988-03-18 AT AT88902977T patent/ATE82530T1/de not_active IP Right Cessation
- 1988-03-18 WO PCT/SE1988/000141 patent/WO1988006927A1/en not_active Ceased
- 1988-03-18 DE DE8888902977T patent/DE3876093D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-03-18 EP EP88902977A patent/EP0351416B1/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE8701117L (sv) | 1988-09-19 |
| SE8701117D0 (sv) | 1987-03-18 |
| DE3876093D1 (de) | 1992-12-24 |
| ATE82530T1 (de) | 1992-12-15 |
| EP0351416B1 (en) | 1992-11-19 |
| EP0351416A1 (en) | 1990-01-24 |
| WO1988006927A1 (en) | 1988-09-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4602184A (en) | Apparatus for applying high frequency ultrasonic energy to cleaning and etching solutions | |
| US9610617B2 (en) | Megasonic multifrequency apparatus with matched transducer | |
| US20070283979A1 (en) | Ultrasonic Processing Method and Apparatus with Multiple Frequency Transducers | |
| US5748566A (en) | Ultrasonic transducer | |
| EP1449268B1 (en) | Radial power megasonic transducer | |
| US12066362B2 (en) | Ultrasound system for shearing cellular material | |
| SE456971B (sv) | Ultraljudsinstrument | |
| JPH0763677B2 (ja) | 超音波ホ−ン装置 | |
| US20020153806A1 (en) | Megasonic transducer with focused energy resonator | |
| Fuchs et al. | Ultrasonic cleaning | |
| WO1990014170A1 (en) | Ultrasonic probe | |
| JP2002126668A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| RU2248850C1 (ru) | Ультразвуковое устройство | |
| JP2007152539A (ja) | 超音波加工装置 | |
| KR100986586B1 (ko) | 초음파 진동자 | |
| JPH07283183A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JPS62286231A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2723188B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JPS5821559A (ja) | 超音波トランスデユ−サ | |
| CN121402305A (zh) | 一种基于Airy beam电极结构的平面主动聚焦压电超声换能器 | |
| SU1392495A1 (ru) | Ультразвуковой пьезоэлектрический преобразователь | |
| JPH0128492Y2 (sv) | ||
| JP2005296813A (ja) | 超音波洗浄器 | |
| JPH04256473A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| CS249312B1 (cs) | Ultrazvukový přimovyzařující měnič pro vyzařování do kapalného prostředí |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8701117-7 Effective date: 19931008 Format of ref document f/p: F |